JPS62273039A - 三フツ化窒素を分解する方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ′　３、発明の詳細な説明 〔産業上の利用分野〕 本発明は排ガス中に含まれる三フッ化窒素を分解する方
法に関するものである。

〔従来の技術および問題点〕

三フッ化窒素は常温では安定であり、水、アルカリ水溶
液、希硫酸、銀、水銀、ガラス、鋼などと反応しないが
温度を上昇させると酸化性が増し、種々の物質をフッ素
化する性質を有する。

そのため、フッ素、フッ化ハロゲン等のフッ素化剤の輸
送や取り扱いが困難な場所ではフッ素化剤の代用として
用いられ、或いは三フッ化窒素独特の化学的性質を利用
してロケット燃料、金属溶接、高出力レーザー等に用い
られている。

さらに最近ではドライエツチング剤や半導体ＣｖＤ　（
化学蒸着）装置のクリーニング剤としての需要が高まっ
ている。′ これら用途拡大に伴い排出される三フッ化窒素の毒性が
問題になって来る。そのため排出されるガス中に含まれ
る三フッ化窒素を除去或いは分解することにより無害化
する必要がある。

しかし、三フッ化窒素は常温では安定な化合物であり、
高温ではフッ素と同様な化学的挙動を示すために制御が
むずかしく未だ効果的方法が開発されていないのが実情
である。

本発明は斯かる問題点に鑑み案出されたもので、本発明
の目的は排ガス中に含まれる三フッ化窒素を分解し、無
害化することにある。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明者等は三フッ化窒素をより安定で無害な物質に分
解する方法について鋭意検討の結果、三フッ化窒素を含
むガスと、還元性接触、アルミナ及びシリカの内の少な
くとも１種を主成分とする物質とを高温下で接触させる
と三フッ化窒素が分解することを見出し、本発明を完成
するに至った。

本発明に用いる還元性触媒としてはニッケル、鉄、コバ
ルト又は白金、ロジウム、パラジウム等の貴金属が挙げ
られ、通常ケイソウ土又はアルミナ等に含浸させて使用
する。又アルミナもしくはシリカを主成分とする物質と
してはシリカゲル、アルミナゲル、シリカアルミナゲル
及びゼオライト等を挙げることができる。

接触させる温度は処理するガス中の三フッ化窒素の濃度
、ガス流量によって変わるが２００・℃以上とすること
が好ましい。

〔実施例〕

以下実施例により本発明の詳細な説明する。

実施例１ 内径２５ｍｍ長さ１ｍのニッケル製パイプにＮｉ含浸硅
ソウ土（日揮化学社製Ｎ−１１１）を充填し、外部から
３００℃に加熱した。

ＮＦｊ　　１％、ＩＩ　ｅ　９９％からなるガスを毎分
２００　ｍｌの速度で上記パイプに流した。５時間経過
後の排出ガスをガスクロマトグラフィーで分析した結果
、Ｎ、以、外の成分は検出されながった。

実施例２ 硅ソウ土の代わりに活性アルミナを用いた還元性物１！
ｔ（日揮化学社製Ｘ１０４）を使用した他は実施例１と
同様な操作を行った。

排ガス中にＮ２以外の成分は検出されなかった。

実施例３ 硅ソウ土の代わりに０．５％ｐｔアルミナ成型品（日揮
化学社製Ｎ１００Ｏ）を使用した他は実施例１と同様な
操作を行った。

排ガス中にＮ２以外の成分は検出されなかった。

実施例４ 内径２５ｍ［長さＩＩＩ＋のニッケル製パイプにアルミ
ナ（住友化学製活性アルミナＫＨＤ−４６）を充填し、
外部から５００℃に加熱した。

ＮＦ、　　１％、Ｎ２９９％から成るガスを毎分２００
　ａｌｌの速度で上記パイプに流した。５時間経過後の
排出ガスをガスクロマトグラフィーで分析した結果、Ｎ
２以外の成分は検出されなかった。

実施例５ アルミナの代わりにゼオライト（富士デビソン製ゼオラ
イト５Ａ）を使用した他は実施例４と同様な操作を行っ
た。

排ガス中にＮ２以外の成分は検出されなかった。

〔発明の効果〕

以上実施例に示した如（、ガス中の三フッ化窒素は実質
的に全量分解しており、本発明の顕著な効果は明白であ
る。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １　三フッ化窒素を含むガスと、還元性触媒、アルミナ
   及びシリカの内の少なくとも１種を主成分とする物質と
   を接触させることを特徴とする三フッ化窒素を分解する
   方法。 ２　還元性触媒がケイソウ土又はアルミナに含浸させた
   ニッケル、鉄、コバルト及び貴金属の内の１種以上であ
   る特許請求の範囲第１項記載の方法。 ３　接触の温度が２００℃以上である特許請求の範囲第
   １項記載の方法。