JPS62272101A - 測長装置 - Google Patents
測長装置Info
- Publication number
- JPS62272101A JPS62272101A JP29566285A JP29566285A JPS62272101A JP S62272101 A JPS62272101 A JP S62272101A JP 29566285 A JP29566285 A JP 29566285A JP 29566285 A JP29566285 A JP 29566285A JP S62272101 A JPS62272101 A JP S62272101A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- scale
- measurement
- scales
- length measuring
- area
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 32
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 abstract description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 abstract 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 abstract 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 abstract 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 241000668842 Lepidosaphes gloverii Species 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 1
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000002023 wood Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Length-Measuring Instruments Using Mechanical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
３ 発明の詳細な説明
（利用分野）
この発明は高精度で微細な桁、例えば１明、（》。
Ｉ Ｊｕｌをｒｌｌ．位として測長する装置に係るもの
であって、距離が１ｍ以上であっても簡単に測定可能と
するものである。
であって、距離が１ｍ以上であっても簡単に測定可能と
するものである。
（従来技術）
高精度で微細単位である距離を有する２点間の測長を行
なうためには、その距離以上の良さを有する高精度のス
ケールを必要とする。ところが艮いスケールはその全役
において安定した信号を作ることは極めて困難であって
、艮くなるとスケール製造の際の合格率が低下し、従っ
て非常に高価なものとなる。そして最大艮で約１ 、
６ ｍ位といわれている。一力短いスケールは比較的安
価に作ることができるが、これを高精度に継ぎ合わせる
ことは大変な手数であって、例えば１μｍ単位で１；タ
トみ取るためには継ぎ目の誤差は１ １１１＋１の読み
に関係しない程度にしなければならない。そして如何に
高精度に継ぎ合わせたとしても、継ぎ目部分で信号レベ
ルが下がりミスカウントを起こす危険があり、従って余
り長い測長は小米ないとされている。
なうためには、その距離以上の良さを有する高精度のス
ケールを必要とする。ところが艮いスケールはその全役
において安定した信号を作ることは極めて困難であって
、艮くなるとスケール製造の際の合格率が低下し、従っ
て非常に高価なものとなる。そして最大艮で約１ 、
６ ｍ位といわれている。一力短いスケールは比較的安
価に作ることができるが、これを高精度に継ぎ合わせる
ことは大変な手数であって、例えば１μｍ単位で１；タ
トみ取るためには継ぎ目の誤差は１ １１１＋１の読み
に関係しない程度にしなければならない。そして如何に
高精度に継ぎ合わせたとしても、継ぎ目部分で信号レベ
ルが下がりミスカウントを起こす危険があり、従って余
り長い測長は小米ないとされている。
また長尺を精密に測定するノｊ法としてレーザ゛Ｆ、実
計によるものが周知であるが、これは高精度であるが、
その使用状態の厳密な条件の管理・維持が大変面倒で、
常用測長装置として一般に使用するには不適当である。
計によるものが周知であるが、これは高精度であるが、
その使用状態の厳密な条件の管理・維持が大変面倒で、
常用測長装置として一般に使用するには不適当である。
（問題の解決方法）
本発明においては測定の全幅を高精度の測定を要するあ
る長さを持った測定領域と、非測定の中間領域とに分け
、測定領域を適宜配置すると共に、測定領域においては
高分解能アブソリュートスケールで測定し、中間領域は
前記アブソリュートスケールが例えば全長１００ＩＩＩ
Ｉ１１のものであれば１００１１１１１１、 ２００
ｍｍ、３００ ｍｍ ＝と、１００＋＋ｕａ毎のバーコ
ードスケールを貼り合わせ１００ｍ＋ｏ桁以上の桁を測
定し、高精度測定を要する領域のみに高分解能アブソリ
ュートスケールを併設し、高精度微細桁の測定を行なう
。すなわち第１図においてＡ、Ｃ，Ｅは測定領域、Ｂ、
Ｄをその中間の非測定領域とする。そして測定のＮ家の
測定点をこのＡ、Ｃ，Ｅの領域内に位置させて例えばａ
−ｃ、 ａ〜ｅ、ｃ＝ｅの鉗離を測定する。これによっ
て面倒なスケールの継ぎ合わせを必要としない構成がと
れる。
る長さを持った測定領域と、非測定の中間領域とに分け
、測定領域を適宜配置すると共に、測定領域においては
高分解能アブソリュートスケールで測定し、中間領域は
前記アブソリュートスケールが例えば全長１００ＩＩＩ
Ｉ１１のものであれば１００１１１１１１、 ２００
ｍｍ、３００ ｍｍ ＝と、１００＋＋ｕａ毎のバーコ
ードスケールを貼り合わせ１００ｍ＋ｏ桁以上の桁を測
定し、高精度測定を要する領域のみに高分解能アブソリ
ュートスケールを併設し、高精度微細桁の測定を行なう
。すなわち第１図においてＡ、Ｃ，Ｅは測定領域、Ｂ、
Ｄをその中間の非測定領域とする。そして測定のＮ家の
測定点をこのＡ、Ｃ，Ｅの領域内に位置させて例えばａ
−ｃ、 ａ〜ｅ、ｃ＝ｅの鉗離を測定する。これによっ
て面倒なスケールの継ぎ合わせを必要としない構成がと
れる。
（実施例）
本発明の出願人は先に特願昭６０−３１２９６号をもっ
て「絶対位置測定用スケール」の発明を出願したが、本
発明は先願のこの発明を利用するもので測定領域におい
てはこの７ブソリユートスケールを使用し非測定領域に
おいてはバーコードスケールを設置することにより艮変
位の読み取りを可能とした。例えば第２図において高精
度微細測定の測定領域イ、口、ハの場所には１００＋ａ
ｍの高分解能アブソリュートスケールを置き、これに二
〜チのバーコードスケールを併設し１００ｍｍ台の桁を
読み取るようにする。ここで測定領域の７ブソリユート
スケール、イ、口、ハの取付位置は正確を要し、市販の
レーザ干渉計（例えばＨＥＷＬＥＴＴ ＰＡＣＡＲＤ
社 ＭＯＤＥＬ ５５２８Ａ等が使用される。）をも
って基準とし、これに一致させる様に位置決めを行なう
。これに対して下のバーコードスケール、二〜チはカウ
ントの表示桁が１００ｍｍ以上であるので上のスケール
、イ、口、ハのスケール方向端面位置に合わせるのは目
視程度でよい。これは出願人が先に＊Ｍ昭［３０−２３
７２４をもって１゛デジタルスケール読取方法」の発明
を出願したがこれを持って位置読み取りを行なえばイ、
口、ハのスケールの端面部分の桁上げ、下げはスムーズ
に行なわれる。
て「絶対位置測定用スケール」の発明を出願したが、本
発明は先願のこの発明を利用するもので測定領域におい
てはこの７ブソリユートスケールを使用し非測定領域に
おいてはバーコードスケールを設置することにより艮変
位の読み取りを可能とした。例えば第２図において高精
度微細測定の測定領域イ、口、ハの場所には１００＋ａ
ｍの高分解能アブソリュートスケールを置き、これに二
〜チのバーコードスケールを併設し１００ｍｍ台の桁を
読み取るようにする。ここで測定領域の７ブソリユート
スケール、イ、口、ハの取付位置は正確を要し、市販の
レーザ干渉計（例えばＨＥＷＬＥＴＴ ＰＡＣＡＲＤ
社 ＭＯＤＥＬ ５５２８Ａ等が使用される。）をも
って基準とし、これに一致させる様に位置決めを行なう
。これに対して下のバーコードスケール、二〜チはカウ
ントの表示桁が１００ｍｍ以上であるので上のスケール
、イ、口、ハのスケール方向端面位置に合わせるのは目
視程度でよい。これは出願人が先に＊Ｍ昭［３０−２３
７２４をもって１゛デジタルスケール読取方法」の発明
を出願したがこれを持って位置読み取りを行なえばイ、
口、ハのスケールの端面部分の桁上げ、下げはスムーズ
に行なわれる。
以上の実施例においては測長装置の全幅にバーコードス
ケール、二〜チを連続して設けたが、測定領域にだけバ
ーコードスケール、二、チ、へを設け、非測定領域はこ
れを省略することができる。
ケール、二〜チを連続して設けたが、測定領域にだけバ
ーコードスケール、二、チ、へを設け、非測定領域はこ
れを省略することができる。
以上に説明したバーコードスケールは４線力式のものを
一例として示したが、これは２過信号の組み合わせによ
って位置を読み取っているもので他の方法で読み取って
もよい。例えば二〜チの領域を色分けし位置を読み取っ
てもよい。又バーコードスケールの材料は紙、ビニール
、ａＸ、木、等どんなものでも良い。尚、本発明による
長尺スケールはアブソリュートスケールであるのでレー
ザ干渉計をもって測定領域のスケールを固定するとき、
レーザ干渉計の基準となる測定値と本測長装置の検出値
との比較を行なえば本測長器の誤差曲線が得られる。そ
こでこの誤差から各位置における値を補正する事により
レーザ干渉計と同等の精度が得られ、レーザ干渉計と等
価な測長システムが得られる。
一例として示したが、これは２過信号の組み合わせによ
って位置を読み取っているもので他の方法で読み取って
もよい。例えば二〜チの領域を色分けし位置を読み取っ
てもよい。又バーコードスケールの材料は紙、ビニール
、ａＸ、木、等どんなものでも良い。尚、本発明による
長尺スケールはアブソリュートスケールであるのでレー
ザ干渉計をもって測定領域のスケールを固定するとき、
レーザ干渉計の基準となる測定値と本測長装置の検出値
との比較を行なえば本測長器の誤差曲線が得られる。そ
こでこの誤差から各位置における値を補正する事により
レーザ干渉計と同等の精度が得られ、レーザ干渉計と等
価な測長システムが得られる。
（効果）
本発明によりレーザ干渉計の設置が困難な環境の場所°
でもレーザ干渉計と同等の精度で測長が可能となる。そ
してスケールの継ぎ会わせ作業に比較してはるかに容易
にスケールの固定取付が可能であるため、長尺測定も可
能となった。なお測定領域と非測定領域の幅及びその配
置を適宜決定することにより、測長装置の全幅に近い測
定対象を取付位置をずらせる事によって自由に設定でき
、汎用として、長い測長装置を作ることが可１ｒｌｌと
なった。すなわち測長できない範囲のない測長装置を作
ることが小米だ。
でもレーザ干渉計と同等の精度で測長が可能となる。そ
してスケールの継ぎ会わせ作業に比較してはるかに容易
にスケールの固定取付が可能であるため、長尺測定も可
能となった。なお測定領域と非測定領域の幅及びその配
置を適宜決定することにより、測長装置の全幅に近い測
定対象を取付位置をずらせる事によって自由に設定でき
、汎用として、長い測長装置を作ることが可１ｒｌｌと
なった。すなわち測長できない範囲のない測長装置を作
ることが小米だ。
第１図は測定領域、非測定領域の説明図、第２図は実施
例におけるスケールの配置説明図。 １：７ブソリユートスケール ２：バーコードスケール
例におけるスケールの配置説明図。 １：７ブソリユートスケール ２：バーコードスケール
Claims (3)
- （１）測長装置において、高分割用の系ピッチに目盛ら
れたアブソリュートスケールとそのスケールの所在位置
を示す上の桁の数字を作るバーコードスケールとを並置
した高精度測定領域と、その領域の中間領域とから構成
される測長装置。 - （２）請求の範囲第１項の記載において測長装置の全幅
にわたって連続してバーコードスケールを設けてなる測
長装置。 - （３）請求の範囲第１項の記載において、バーコードス
ケールを測定領域にのみ設け、かつ当該バーコードスケ
ールの存在位置に係る数値をバーコードスケールの先頭
に設けてなる測長装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29566285A JPH0617761B2 (ja) | 1985-12-25 | 1985-12-25 | 測長装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29566285A JPH0617761B2 (ja) | 1985-12-25 | 1985-12-25 | 測長装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62272101A true JPS62272101A (ja) | 1987-11-26 |
| JPH0617761B2 JPH0617761B2 (ja) | 1994-03-09 |
Family
ID=17823550
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29566285A Expired - Lifetime JPH0617761B2 (ja) | 1985-12-25 | 1985-12-25 | 測長装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0617761B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002337037A (ja) * | 2001-05-11 | 2002-11-26 | Murata Mach Ltd | 移動体の位置検出制御装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102531420B1 (ko) * | 2021-03-25 | 2023-05-12 | 한국전자기술연구원 | 디스플레이 검사 장치 및 디스플레이 검사 방법 |
-
1985
- 1985-12-25 JP JP29566285A patent/JPH0617761B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002337037A (ja) * | 2001-05-11 | 2002-11-26 | Murata Mach Ltd | 移動体の位置検出制御装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0617761B2 (ja) | 1994-03-09 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4158919A (en) | Apparatus for measuring displacement in at least two orthogonal dimensions | |
| JPH02284216A (ja) | アナログプローブ較正方法と装置 | |
| US4693011A (en) | Apparatus for establishing angles of objects | |
| US5875557A (en) | Scale | |
| JPS58147611A (ja) | 測定量測定方法及び装置 | |
| JPH03167419A (ja) | 相対移動量測定装置 | |
| US4718173A (en) | Method and apparatus for measurement of straightness and flatness | |
| EP0305438A1 (en) | INTERFEROMETER COMBINED WITH A SCALE. | |
| JPS62272101A (ja) | 測長装置 | |
| JPH0213810A (ja) | リニアエンコーダ | |
| JPH0311665B2 (ja) | ||
| US6205673B1 (en) | Fractional-decimal vernier | |
| JPH0353114A (ja) | 位置検出装置 | |
| CN218627988U (zh) | 一种平行度测量的软尺 | |
| KR200223563Y1 (ko) | 간극측정장치 | |
| JPS6123762Y2 (ja) | ||
| JPH0129527Y2 (ja) | ||
| JPH0129526Y2 (ja) | ||
| Yamanouchi et al. | Automatic Calibration of Circular Magnetic Scales. | |
| EP0309094A1 (en) | Precision slides and position encoders therefor | |
| JPH0317206Y2 (ja) | ||
| Ali | A statistical comparison of precision of engineering theodolites | |
| JPS59100811A (ja) | 傾斜計による水平変位測定方法 | |
| SU1698629A1 (ru) | Устройство дл измерени длины движущихс длинномерных изделий | |
| JPH0620081Y2 (ja) | 間隔表示矢印付スケール |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |