JPS62271211A - フエライト材の鏡面研摩方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ８、発明の詳細な説明 （イ）産業上の利用分野 本発明はＶＴＲ用の磁気ヘッドを製造する工程等におい
て磁気ヘッドのコア構成材となるフェライト材を鏡面研
摩する方法に関する。

（ロ）従来の技術 近年、磁気記録再生ヘッド材料としてフェライト材が広
く用いられるようになっている。これは７エライト材が
金属磁性材料に比べて電気抵抗が高いため渦電流損失が
少なく、高周波領域まで特性の優れた磁気ヘッドが得ら
れる。フェライトは硬度の面でも金属磁性材料より優れ
ており、長時間、磁気テープと接触させても、摩耗が少
なく、経時変化が少ないことからＶＴＲ用磁気ヘッドの
材料として使用されている。このフェライト材としては
一般にマンガン亜鉛フェライトの単結晶。

およびＨＩＰ材（熱間静水圧加圧材）が使用され、所望
形状、および寸法に切り出きれた後、この磁気ギャップ
となる面を鏡面となる状態まで研摩する。

このときの研摩されるギャップ面は磁気ヘッドの性能を
左右することから非常に厳しい平面度、および面粗度が
要求される。とりわけ、ＶＴＲ用の磁気ヘッドにおいて
は、そのギャップ幅はサブミクロンの精度が必要なこと
から平面度で０．０５７ｍ以下、面粗度で５０Ａ以下が
要求される。このようなフェライト材の平面度１面粗度
も重要なファクタであるが、フェライト単結晶材の場合
は表面の加工変質層の存在量も磁気ヘッドの特性を左右
する大きな要素である。

そのため加工変質１全できるだけ除去するために機械研
摩は荒仕上研摩から精密研摩まで数段階に工程を分けて
行なって、その後、超鏡面研摩仕上か、メカノケミカル
研摩、あるいは電解研摩（特公昭４９−２７０４１号公
報）などが一般に行なわれている。

←１　発明が解決しようとする問題点 従来の加工変質層を取り除く機械研摩による超ｍＷ仕上
げは結晶構造が立方体で粒子径０．１〜０、３　／’　
ｍのアルファ酸化第２鉄（αＦｅ、０．）を研摩材とし
て用いて行なうが、長時間研摩しないと加工変質層は取
り除くことができないと共Ｋ、フェライト材の研摩面に
傷がつき易いという欠点があるため比較的小さなウェハ
形状のものにしか使用できなかった。そのため、ウェハ
形状の大きいものでは研摩材と強酸水溶液との混合液を
用いたメカノケミカル研摩を用いて行なわれる。この方
法は研摩面の加工変質層を比較的容易に取り除くことは
できるが、強酸を使用するためラップ盤の平面度管理が
難しく、また機械等もサビの発生が起るため設備の管理
上、作業上の問題がある。

また、電解研摩法では研摩する面全体の電流密度を一定
にする必要がるること、研摩面に発生する泡を完全に取
り除くことは難しいことから平面度、面粗度を悪化させ
る問題がおる。

本発明は以上の問題を解決する。

に）問題点を解決するための手段 本発明は、斜方晶形のアルファオキシ水酸化鉄（αＦ　
ｅｏＯＨ）をその形骸粒子が変化しない温度（例えば２
５０℃〜７００℃）で焙焼して斜方晶形のアルファ酸化
第２鉄（αＦｅ００Ｈ）を得る。その形骸粒子は斜方晶
形で、長さが１μｍ以上、長幅が０．２）１ｍ以上の大
きさのものとする。このアルファ酸化第２鉄を研摩材と
してフェライト材を鏡面研摩する。

（ホ）作　　用 前記アルファ水酸化鉄は高い温度に加熱すると、その形
骸粒子の形状が変化したアルファ酸化第２鉄になるが、
２５０℃〜７００℃の温度に加熱し之場合には、形骸粒
子の形状と大きさが殆んど変化しないアルファ酸化第２
鉄が得られる。従って１粒子は斜方晶形のままである。

このアルファ酸化第２鉄（その粒子が長さ’Ｉ／Ｉｍ、
長幅０．２）１ｍ以上の大きさ）を使用して加工後のフ
ェライトウェハを鏡面研摩すると加工歪が充分に除去さ
れ、且つ面粗度の良好なフェライトウェハが得られる。

（へ）実　施　例 まず、本発明では針状あるいは短冊状をした所謂斜方晶
形の結晶構造ヲゼするアルファオキシ水酸化鉄（αＦｅ
００Ｈ）’＆結晶の形骸粒子が変化しない温度（２５０
℃〜７００℃）で焙焼してアルファ酸化第２鉄を作り、
これを水に加えてＰＨｊ＆６〜４の混合液とする。尚、
第２図に示すように前記形骸粒子（１）の大きさとして
長さ已）が１〜５）Ｌｍ、長幅Ｗがα６〜０．５μｍの
ものを用いた。斯る粒子を含む混合液？用いてフェライ
ト材の表面の研摩を行なった結果、フェライト材の加工
変質層がなく、しかもウェハの面粗度のよい加工面がで
きることを見い出した。尚、ここで長幅とは長い方の福
音いつものとする。

ｆ！１図に、上記研摩材を用いた場合と、他の種類の研
摩材を用いた場合の比較結果を示す。この第１図で試料
ＣとＤは粒子の大きさが異なっており、Ｄは上述した本
発明の大きさであるが、Ｃはそれ以下の大きさのもので
ある。因みに長さくＤが１μｍで上記範囲内に入るが長
幅Ｗが０．１μηノと小さなものを用いて行なった場合
には、面粗度、加工歪の除去とも不良であった。先にも
述べたようＫ、試料りのαＦｅ０ＯＨは所定の温度榮件
（２５０〜７００°Ｃ）での焙焼により形の変らない（
即ち斜方晶形のままの）αＦｅ、Ｑ３となるヂ、このよ
うに形成されたαＦｅ、０．と試料ＢのαＦｅ２Ｏ３と
は異なる。因みに後者は結晶構造が立方体形状をしてい
る。

（ト）発明の効果 本発明によｎば溝加工等によってフェライトウェハ表面
に形成された加工変質層（加工歪層）を充分に取り除く
ことができると共に、その表面の面粗度等が良好になる
という効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明を説明するための図であり、第２図は本
発明において使用する研摩材の粒子を示す斜視図である
。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）斜方晶形のアルファオキシ水酸化鉄をその形骸粒
   子が変化しない温度で焙焼してできたアルファ酸化第２
   鉄であって、その形骸粒子の長さが１μｍ以上、長幅が
   ０．２μｍ以上のアルファ酸化第２鉄を研摩材として用
   いることを特徴とするフェライト材の鏡面研摩方法。
2. （２）前記焙焼温度の範囲は２５０℃〜７００℃である
   ことを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載のフェラ
   イト材の鏡面研摩方法。