JPS62267947A - 光磁気記録媒体 - Google Patents
光磁気記録媒体Info
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- JPS62267947A JPS62267947A JP11076286A JP11076286A JPS62267947A JP S62267947 A JPS62267947 A JP S62267947A JP 11076286 A JP11076286 A JP 11076286A JP 11076286 A JP11076286 A JP 11076286A JP S62267947 A JPS62267947 A JP S62267947A
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- Pending
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- 230000007797 corrosion Effects 0.000 claims abstract description 24
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 claims abstract description 24
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims abstract description 15
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 abstract description 8
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 abstract description 7
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 abstract description 7
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 abstract description 6
- 239000000956 alloy Substances 0.000 abstract description 6
- 229910000808 amorphous metal alloy Inorganic materials 0.000 abstract description 6
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 abstract description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract description 6
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 6
- 239000000654 additive Substances 0.000 abstract description 4
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 abstract description 4
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 abstract description 4
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 abstract description 4
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 abstract description 4
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 abstract description 3
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 230000007704 transition Effects 0.000 abstract 2
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 abstract 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 54
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 4
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 229910052755 nonmetal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 229910052723 transition metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004017 vitrification Methods 0.000 description 2
- -1 JP-A-57-66549 Chemical class 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N iron Substances [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 1
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はレーザ光を用いて情報の記録・再生・消去を行
う光磁気記録に係り、特に高寿命に好適な光磁気ディス
クに関する。
う光磁気記録に係り、特に高寿命に好適な光磁気ディス
クに関する。
光磁気記録においては、膜面に垂直な方向に磁化容易軸
のある磁性薄膜（垂直磁化膜）が用いられ、最近特に実
用化記録膜として、例えば特開昭５８−７３７４６号公
報に示されるように、希土類−鉄族系非晶質膜が有望視
されている。しかし、これらの膜付酸化しやすい希土類
元素を含むため、耐食性・耐酸化性が悪く寿命が短い欠
点を有している。そこで記録膜の高寿命化を図る方法と
して酸化物・窒化物等の無機物誘電体膜（例えば特開昭
５７−６６５４９ 、特開昭５８−４５４８８）や金属
膜（例えば特開昭５７−７６９２０ 、特開昭５７−８
０６７６）を記録膜上に被着することにより、保護膜と
して耐食性、耐酸化性を向上させている。
のある磁性薄膜（垂直磁化膜）が用いられ、最近特に実
用化記録膜として、例えば特開昭５８−７３７４６号公
報に示されるように、希土類−鉄族系非晶質膜が有望視
されている。しかし、これらの膜付酸化しやすい希土類
元素を含むため、耐食性・耐酸化性が悪く寿命が短い欠
点を有している。そこで記録膜の高寿命化を図る方法と
して酸化物・窒化物等の無機物誘電体膜（例えば特開昭
５７−６６５４９ 、特開昭５８−４５４８８）や金属
膜（例えば特開昭５７−７６９２０ 、特開昭５７−８
０６７６）を記録膜上に被着することにより、保護膜と
して耐食性、耐酸化性を向上させている。
しかし無機物誘電体膜はピンホールが比較的多く、また
従来提案されているＡｎ、Ｔｉ、ステンレス等の金属膜
でも、腐食・酸化が起ることから、寿命向上の点ではま
だ不十分であった。
従来提案されているＡｎ、Ｔｉ、ステンレス等の金属膜
でも、腐食・酸化が起ることから、寿命向上の点ではま
だ不十分であった。
本発明の目的は耐食性、耐酸化性が優れた高寿命の光磁
気記録媒体を提供することにある。
気記録媒体を提供することにある。
本発明は高耐食性の非晶質合金を記録膜の保護膜として
用いるものである。
用いるものである。
高耐食性非晶質膜としては、（１）Ｂ、Ｃ。
Ｓｉ、Ｐをガラス化元素とし、Ｆａ、Ｎｉ、Ｇ。
等の遷移金属元素との組合せからなる金属−非金属系非
晶質合金にＴｉ、Ｚｒ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ。
晶質合金にＴｉ、Ｚｒ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ。
Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｃｕ若しくは白金元素を添加元素とし
て含む合金系を用いたもの、（２）金属のガラス化元素
であるＺ ｒ 、Ｔ ｉｇ ）（ｆ ＋ Ｎ ｂ ＋Ｔ
ａ等とＦｅ、Ｎｉ、Ｃｏ等の遷移金属元素との組合せか
らなる金属−金属系非晶質合金にＶ。
て含む合金系を用いたもの、（２）金属のガラス化元素
であるＺ ｒ 、Ｔ ｉｇ ）（ｆ ＋ Ｎ ｂ ＋Ｔ
ａ等とＦｅ、Ｎｉ、Ｃｏ等の遷移金属元素との組合せか
らなる金属−金属系非晶質合金にＶ。
Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｃｕまたは白金属元素を添加元素とし
て含むもの１等がある。中でも特に金属−非金属系では
Ｃｒ、Ｐを共に含む非晶質合金はステンレス鋼よりもは
るかに優れた高耐食性を示す。
て含むもの１等がある。中でも特に金属−非金属系では
Ｃｒ、Ｐを共に含む非晶質合金はステンレス鋼よりもは
るかに優れた高耐食性を示す。
（作用）
これらは、従来、超急冷非晶質Ｕ帯として（厚さ１０〜
２００μｍ）得られていたが、本発明者等は、これらの
非晶質合金をスパッタ法、蒸着法で薄膜化することによ
っても同様の効果が得られることを確認した。これらの
膜を希土類−鉄族系非晶質膜の光磁気記録膜上に形成し
て保護膜として用いることにより、著しく記録膜の酸化
・腐食を防ぎ、膜特性劣化を抑止し、より高寿命の光磁
気記録媒体が得られる。
２００μｍ）得られていたが、本発明者等は、これらの
非晶質合金をスパッタ法、蒸着法で薄膜化することによ
っても同様の効果が得られることを確認した。これらの
膜を希土類−鉄族系非晶質膜の光磁気記録膜上に形成し
て保護膜として用いることにより、著しく記録膜の酸化
・腐食を防ぎ、膜特性劣化を抑止し、より高寿命の光磁
気記録媒体が得られる。
以下１本発明の一実施例について説明する。
ガラス基板上に記録膜である非晶質垂直磁化膜を形成し
、この記録膜上に種々の保護膜を形成した。即ち１本発
明の保護膜の一例として高耐食性非晶質膜Ｆｅ７ａｃｒ
ｔｏＰ ｒｚａｃａを用い、その比較例の保護膜として
５ｉｎ（あるいは５ｉＯｚ）。
、この記録膜上に種々の保護膜を形成した。即ち１本発
明の保護膜の一例として高耐食性非晶質膜Ｆｅ７ａｃｒ
ｔｏＰ ｒｚａｃａを用い、その比較例の保護膜として
５ｉｎ（あるいは５ｉＯｚ）。
Ｔ３．、ＡＱを用い、それぞれマグネトロンスパッタ法
で記録膜であるＴ ｂｚｚＦ ｅｔｓＣＯ？膜（厚さ１
０００人）、保護膜（厚さ５００人）の順に被着して、
記録媒体を作成した。第１表にこれらを８０℃相対湿度
９５％の条件下で１日放置した後のカー回転角θにと保
磁力Ｈａの変化率（％）を示す。
で記録膜であるＴ ｂｚｚＦ ｅｔｓＣＯ？膜（厚さ１
０００人）、保護膜（厚さ５００人）の順に被着して、
記録媒体を作成した。第１表にこれらを８０℃相対湿度
９５％の条件下で１日放置した後のカー回転角θにと保
磁力Ｈａの変化率（％）を示す。
表中へ〇に、ΔＨｃはそれぞれカー回転角、保磁力の変
化量を、０Ｋ（０）、Ｈ（１！ （Ｑ）はそれぞれカー
回転角、保磁力の初期値を示す、第１表から明らかなよ
うに本発明の高耐食性非晶質膜の保護膜を用いた媒体は
特性劣化がより小さく、他の保護膜よりも記録膜の保護
効果がより優れていることがわかる。
化量を、０Ｋ（０）、Ｈ（１！ （Ｑ）はそれぞれカー
回転角、保磁力の初期値を示す、第１表から明らかなよ
うに本発明の高耐食性非晶質膜の保護膜を用いた媒体は
特性劣化がより小さく、他の保護膜よりも記録膜の保護
効果がより優れていることがわかる。
第 １ 表
第１図は（ａ）〜（ｈ）本発明の高耐食性非晶質膜を用
いた各種多層膜ディスクの断面図を示すものである。基
板（１）にはガラス、ＰＭＭＡ、エポキシ樹脂あるいは
ポリカーボネイトを用いた。
いた各種多層膜ディスクの断面図を示すものである。基
板（１）にはガラス、ＰＭＭＡ、エポキシ樹脂あるいは
ポリカーボネイトを用いた。
ＳｉＯ膜（２） （厚さ７００〜１０００人）。
ＴｂｚｅＦｅｅｚＣｏｔｚ膜（３） （厚さ１０００人
）、高耐食性非晶質膜Ｃｏフｏｃ ｒｘｏＰｚｏ、膜（
４）（厚さ５０〜１０００人）はそれぞれマグネトロン
スパッタ法で被潰し、光磁気記録媒体を作製した。第１
図（ａ）、（ｂ）、（ｅ）〜（ｈ）において、基板（１
）と記録膜（：３）との間に形成する高耐食性非晶質膜
（４）の厚さは光が通過出来る５０〜２００人の厚さに
した。
）、高耐食性非晶質膜Ｃｏフｏｃ ｒｘｏＰｚｏ、膜（
４）（厚さ５０〜１０００人）はそれぞれマグネトロン
スパッタ法で被潰し、光磁気記録媒体を作製した。第１
図（ａ）、（ｂ）、（ｅ）〜（ｈ）において、基板（１
）と記録膜（：３）との間に形成する高耐食性非晶質膜
（４）の厚さは光が通過出来る５０〜２００人の厚さに
した。
第１図には、高耐性非晶質膜（４）を希土類−鉄族系非
晶質垂直磁化膜（３）のいずれか一方の側に設けた場合
と、両側に設けた場合を示した。
晶質垂直磁化膜（３）のいずれか一方の側に設けた場合
と、両側に設けた場合を示した。
いずれか一方の側に高耐食性非晶質膜（４）を設ける場
合、（ａ）、（ｄ）に示すようにＳｉＯ膜を介在させて
形成してもよいし、（ｂ）、（ｃ）に示すように記録膜
上に直接形成しても良い１両側に高耐食性非晶質膜を設
ける場合においても、両側の高耐食性非晶質膜をそれぞ
れ記録膜上に直接形成したり（ｅ）、また両側をそれぞ
れＳ ｉ Ｏ膜を介在させて形成したり（ｈ）、一方を
記録膜上に直接形成し他方をＳｉＯ膜を介在させて形成
する等種々の多層構造をとり得る。
合、（ａ）、（ｄ）に示すようにＳｉＯ膜を介在させて
形成してもよいし、（ｂ）、（ｃ）に示すように記録膜
上に直接形成しても良い１両側に高耐食性非晶質膜を設
ける場合においても、両側の高耐食性非晶質膜をそれぞ
れ記録膜上に直接形成したり（ｅ）、また両側をそれぞ
れＳ ｉ Ｏ膜を介在させて形成したり（ｈ）、一方を
記録膜上に直接形成し他方をＳｉＯ膜を介在させて形成
する等種々の多層構造をとり得る。
高耐食性非晶質膜の例としては上述のＣｏＣｒＰ膜のイ
也、Ｎ １７ｏｃ ｒｚｏＰｘｓＢ＋ｓ＋ Ｎ １ｅｏ
ｃ ｒｚｏＰｚｏ＋Ｔ ｉ ｓｏＣｕａＩＳＰａｙ Ｔ
ｉ ａａＮ ｉ ａｔＰ３ｔＣｏｅｓｃ ｒｘａＺ
ｒｚｏ、 ＣｏｅｓＮ ｂｚｏＺ ｒ１６＋ＦｓｓｏＢ
１ｓＳｉ１ｏＣｒｉａ等でも同様の効果を奏することが
できた。
也、Ｎ １７ｏｃ ｒｚｏＰｘｓＢ＋ｓ＋ Ｎ １ｅｏ
ｃ ｒｚｏＰｚｏ＋Ｔ ｉ ｓｏＣｕａＩＳＰａｙ Ｔ
ｉ ａａＮ ｉ ａｔＰ３ｔＣｏｅｓｃ ｒｘａＺ
ｒｚｏ、 ＣｏｅｓＮ ｂｚｏＺ ｒ１６＋ＦｓｓｏＢ
１ｓＳｉ１ｏＣｒｉａ等でも同様の効果を奏することが
できた。
以上の説明から明らかなように、本発明の高酎食性非晶
質膜を保護膜に用いた光磁気記録媒体は、特性劣化が少
なく、高耐食性、高耐酸化性を示し、ディスク寿命を著
しく改善することがわかった。
質膜を保護膜に用いた光磁気記録媒体は、特性劣化が少
なく、高耐食性、高耐酸化性を示し、ディスク寿命を著
しく改善することがわかった。
第１図は高耐食性非晶質膜を保護膜として用いた各種多
層膜ディスクの構成断面図を示すｍ図である。 １・・・基板、２−５ｉ０，３”・ＴｂｚｅＦｅｓｚＣ
ｏｚｚ、４＝Ｃｏ７ｏＣｒｔｏＰ２ｏ＊
層膜ディスクの構成断面図を示すｍ図である。 １・・・基板、２−５ｉ０，３”・ＴｂｚｅＦｅｓｚＣ
ｏｚｚ、４＝Ｃｏ７ｏＣｒｔｏＰ２ｏ＊
Claims (1)
- １、光磁気記録膜と保護膜および／もしくは干渉膜と基
板とからなる光磁気ディスクにおいて、上記保護膜の一
部もしくは全部に高耐食性非晶質膜を用いたことを特徴
とする光磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11076286A JPS62267947A (ja) | 1986-05-16 | 1986-05-16 | 光磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11076286A JPS62267947A (ja) | 1986-05-16 | 1986-05-16 | 光磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62267947A true JPS62267947A (ja) | 1987-11-20 |
Family
ID=14543924
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11076286A Pending JPS62267947A (ja) | 1986-05-16 | 1986-05-16 | 光磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62267947A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5492773A (en) * | 1988-09-13 | 1996-02-20 | Teijin Limited | Magneto-optical recording medium |
-
1986
- 1986-05-16 JP JP11076286A patent/JPS62267947A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5492773A (en) * | 1988-09-13 | 1996-02-20 | Teijin Limited | Magneto-optical recording medium |
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