JPS62267644A - 流体センサ - Google Patents
流体センサInfo
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- JPS62267644A JPS62267644A JP62106464A JP10646487A JPS62267644A JP S62267644 A JPS62267644 A JP S62267644A JP 62106464 A JP62106464 A JP 62106464A JP 10646487 A JP10646487 A JP 10646487A JP S62267644 A JPS62267644 A JP S62267644A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N7/00—Analysing materials by measuring the pressure or volume of a gas or vapour
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Measuring Volume Flow (AREA)
- Control Of Fluid Pressure (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
光皿り立置
本発明は、サンプルガスの酸素濃度をモニタするために
用いられる流体酸素センサに関する。
用いられる流体酸素センサに関する。
サンプルガスの酸素濃度は、基準ガス及びサンプルガス
を流体ブリッジを通して流しかつその2つのガスによっ
て生じたブリッジの2つのチャネル内の圧力差を測定す
ることによって決定することができる。そのような装置
は、Woodsの米国特許第4008601号に開示さ
れている。
を流体ブリッジを通して流しかつその2つのガスによっ
て生じたブリッジの2つのチャネル内の圧力差を測定す
ることによって決定することができる。そのような装置
は、Woodsの米国特許第4008601号に開示さ
れている。
更にWoods特許に開示されている如く、サンプ 、
ルガスの酸素濃度は、2つの非線形オリフィス抵抗及び
2つの線形毛管抵抗から成る流体ブリッジを用いてモニ
タすることができる。酸素を含むサンプルガスは毛管及
びオリフィスを構成するブリッジの一つのチャネルを介
して流れ、基準ガスは、同様の毛管及びオリフィスから
成る第2のチャネルを介して流れる。もし、2つのガス
がブリフジの入口及び出口において同じ圧力になってい
れば、毛管はオリフィスとの間の中間点における2つの
チャネル間の圧力差は、サンプル及び基準ガスの粘度及
び密度についての差の関数となる。もし、ブリッジ全体
にわたる圧力低下が周囲の圧力に比例するなら、ブリッ
ジの圧力差はサンプルガス中の酸素の分圧の関数となる
。
ルガスの酸素濃度は、2つの非線形オリフィス抵抗及び
2つの線形毛管抵抗から成る流体ブリッジを用いてモニ
タすることができる。酸素を含むサンプルガスは毛管及
びオリフィスを構成するブリッジの一つのチャネルを介
して流れ、基準ガスは、同様の毛管及びオリフィスから
成る第2のチャネルを介して流れる。もし、2つのガス
がブリフジの入口及び出口において同じ圧力になってい
れば、毛管はオリフィスとの間の中間点における2つの
チャネル間の圧力差は、サンプル及び基準ガスの粘度及
び密度についての差の関数となる。もし、ブリッジ全体
にわたる圧力低下が周囲の圧力に比例するなら、ブリッ
ジの圧力差はサンプルガス中の酸素の分圧の関数となる
。
従来技術による流体ブリッジの使用上課される主な問題
の一つは、ブリフジの入口及び出口のサンプルガス及び
基準ガスの圧力が等しいようにすることを確実化するこ
とである。Woods特許に開示されている同一の入口
圧力を与える慣習的方法は、入口を周囲圧力に対して通
気することである。
の一つは、ブリフジの入口及び出口のサンプルガス及び
基準ガスの圧力が等しいようにすることを確実化するこ
とである。Woods特許に開示されている同一の入口
圧力を与える慣習的方法は、入口を周囲圧力に対して通
気することである。
サンプル及び基準ガスをジェットポンプを用いてブリッ
ジから放出することによって、出口圧力等化が確実化さ
れる。酸素分圧を検出するためにはブリッジ圧力低下が
周囲圧力の関数でなければならないから、ジェ・/トポ
ンプへの供給圧力はスケジュール圧力調節器によって所
望の圧力曲線を与えるように制御しなければならない。
ジから放出することによって、出口圧力等化が確実化さ
れる。酸素分圧を検出するためにはブリッジ圧力低下が
周囲圧力の関数でなければならないから、ジェ・/トポ
ンプへの供給圧力はスケジュール圧力調節器によって所
望の圧力曲線を与えるように制御しなければならない。
前記従来技術の流体酸素センサは、種々の欠点を有する
。毛管及びオリフィス抵抗の両者が固定されているので
、システムの較正が各チャネルの人口又は出口内の調節
可能なニードル弁によって達成される。それらの弁は、
センサの感度を低下させる劣化ファクタを導入する。ブ
リッジからガスを放出させるために用いられるジェット
ポンプは、強制的に供給された空気を消費する。ジェッ
トポンプにより生じたブリッジにわたる圧力低下は、制
御するのが困難であり、高度及び温度変化によって変動
を起こす。入口圧力が可変の周囲圧力に制限されている
ので、高高度では制限された圧力差のために直線的な信
号の読み出しを得るのが困難である。最後に、周囲圧力
レベルを混乱させずにブリッジの入口の基準ガスをろ過
しかつサンプリングすることは、困難である。なぜなら
、ある期間の動作の後、各ラインのフィルタは詰まり、
それによって各フィルタにおいて圧力低下が不知の値に
まで増加するからである。
。毛管及びオリフィス抵抗の両者が固定されているので
、システムの較正が各チャネルの人口又は出口内の調節
可能なニードル弁によって達成される。それらの弁は、
センサの感度を低下させる劣化ファクタを導入する。ブ
リッジからガスを放出させるために用いられるジェット
ポンプは、強制的に供給された空気を消費する。ジェッ
トポンプにより生じたブリッジにわたる圧力低下は、制
御するのが困難であり、高度及び温度変化によって変動
を起こす。入口圧力が可変の周囲圧力に制限されている
ので、高高度では制限された圧力差のために直線的な信
号の読み出しを得るのが困難である。最後に、周囲圧力
レベルを混乱させずにブリッジの入口の基準ガスをろ過
しかつサンプリングすることは、困難である。なぜなら
、ある期間の動作の後、各ラインのフィルタは詰まり、
それによって各フィルタにおいて圧力低下が不知の値に
まで増加するからである。
−11の −び目・
本発明によると、流体ブリッジの入口は、正の圧力に維
持され、出口は周囲の圧力にされ、それによって従来技
術の欠点を除去する。圧力比調節器は、サンプルガスと
基準ガスとの両方について入口圧力をその高度の圧力に
比例した同じ正の値に維持する。各チャネル内では、正
確で高感度のブリッジシステムを得るために毛管はオリ
フィスと調和しなければならないので、各チャネル内の
それらの素子の少なくとも一つは、システム組立後シス
テムを微調整できるように調節可能である。
持され、出口は周囲の圧力にされ、それによって従来技
術の欠点を除去する。圧力比調節器は、サンプルガスと
基準ガスとの両方について入口圧力をその高度の圧力に
比例した同じ正の値に維持する。各チャネル内では、正
確で高感度のブリッジシステムを得るために毛管はオリ
フィスと調和しなければならないので、各チャネル内の
それらの素子の少なくとも一つは、システム組立後シス
テムを微調整できるように調節可能である。
従って、本発明の目的は、ブリッジの両入口が正の圧力
に維持され出口が周囲圧力にされているガスの分圧をモ
ニタするための流体ブリッジを与えることである。
に維持され出口が周囲圧力にされているガスの分圧をモ
ニタするための流体ブリッジを与えることである。
本発明の別の目的は、サンプルガス及び基準ガスの両方
の等化された正の入口圧力を維持する人口圧力比調節器
を含む流体ブリッジを提供することである。
の等化された正の入口圧力を維持する人口圧力比調節器
を含む流体ブリッジを提供することである。
本発明の更に別の目的は、調節可能な毛管及び出口素子
を含みそれによって組立後において最適の性能を発揮す
るように調節可能な流体ブリッジを提供することにある
。
を含みそれによって組立後において最適の性能を発揮す
るように調節可能な流体ブリッジを提供することにある
。
本発明の上記及びその他の目的は、以下の詳細な説明よ
り明らかとなる。尚、ここで、全記載を通じて使用され
ている引用数字は図面中の同様の又は対応する部分を示
す。
り明らかとなる。尚、ここで、全記載を通じて使用され
ている引用数字は図面中の同様の又は対応する部分を示
す。
災米較五■■皿
第1図は、単純化された流体ブリッジ回路を示す。ブリ
ッジ回路10は、並列チャネル内にある毛管抵抗12と
オリフィス抵抗13とから成る2つの直列結合から成る
。基準ガスは一方のチャネルを介して流れ、サンプルガ
スは他方のチャネルを介して流れる。各直列結合の入口
14は、周囲圧力Paとなり、ブリッジ回路の出口及び
ジェットポンプ16の入口は、Pa以下の圧力Pvに維
持される。ジェットポンプ16は圧力調節器17に結合
され、この調節器17は圧力Psのガス流をポンプに送
り、ブリッジ回路10からのガスを抽出する。
ッジ回路10は、並列チャネル内にある毛管抵抗12と
オリフィス抵抗13とから成る2つの直列結合から成る
。基準ガスは一方のチャネルを介して流れ、サンプルガ
スは他方のチャネルを介して流れる。各直列結合の入口
14は、周囲圧力Paとなり、ブリッジ回路の出口及び
ジェットポンプ16の入口は、Pa以下の圧力Pvに維
持される。ジェットポンプ16は圧力調節器17に結合
され、この調節器17は圧力Psのガス流をポンプに送
り、ブリッジ回路10からのガスを抽出する。
ジェットポンプ16の出口は、周囲の圧力Paにされる
。
。
動作中、毛管12とオリフィス13との間の中間点にお
いて測定された2つのチャネル間の圧力差ΔPoは、サ
ンプルガス及び基準ガスの粘度及び密度の差に依存する
。
いて測定された2つのチャネル間の圧力差ΔPoは、サ
ンプルガス及び基準ガスの粘度及び密度の差に依存する
。
ましい、 1のL
第2図及び第3図は、本発明による一実施例の流体セン
サ20を示す、基準ガス及びサンプルガスの両方は、圧
力がかけられることによって、正の圧力の入口21によ
って流体センサ20に入る。
サ20を示す、基準ガス及びサンプルガスの両方は、圧
力がかけられることによって、正の圧力の入口21によ
って流体センサ20に入る。
基準ガス及びサンプルガスを与圧する圧力源は、通常の
設計のものでよく、また本発明の一部を構成するもので
はない。しかしながら、正の圧力の入口21を使用する
ことにより、従来技術の流体センサとは異なった動作モ
ードを存する流体センサとなる。各正の圧力の入口21
はフィルタ素子23に結合され、この素子23は導入さ
れた基準ガス及びサンプルガスから全ての粒状物質をろ
過する。各フィルタ素子23は、入口圧力調節器24に
結合される。入口圧力調節器は、ばねを装荷したダイヤ
フラム27によって制御される弁素子26から成る。ダ
イヤフラム27は、制御路28によってダイヤフラムに
結合された下流制御圧力に応動する。制御圧力とばねの
力との組合せにより、弁26が導入されたガスをシステ
ムに入れるようにする。
設計のものでよく、また本発明の一部を構成するもので
はない。しかしながら、正の圧力の入口21を使用する
ことにより、従来技術の流体センサとは異なった動作モ
ードを存する流体センサとなる。各正の圧力の入口21
はフィルタ素子23に結合され、この素子23は導入さ
れた基準ガス及びサンプルガスから全ての粒状物質をろ
過する。各フィルタ素子23は、入口圧力調節器24に
結合される。入口圧力調節器は、ばねを装荷したダイヤ
フラム27によって制御される弁素子26から成る。ダ
イヤフラム27は、制御路28によってダイヤフラムに
結合された下流制御圧力に応動する。制御圧力とばねの
力との組合せにより、弁26が導入されたガスをシステ
ムに入れるようにする。
両人ロ圧力調節器24の出口29R及び29Sは、スプ
ール弁31に結合されている。スプール弁31はスプー
ル素子32を含む。素子32は、図示の位置において、
出口29R及び29Sからのガスをスプール弁31を介
して流体センサ20のいずれかの側に通過できるように
する。テスト時押圧するボタン33はスプール素子32
に結合されている。ボタン33を押圧すると、スプール
素子32が出口293からのガス流を阻止し、出口29
Rからのガスをスプール弁31の両出口34に通すのを
許容する。ボタン33は、リード37によってリモート
スイッチに結合されたソレノイド36によって間接的に
付勢してもよい。スプール弁31の出口34は、それぞ
れ、流れ制限器35を含む。各スプール弁出口34は、
調節可能な毛管40の入口43及び圧力比調節器60に
結合されている。
ール弁31に結合されている。スプール弁31はスプー
ル素子32を含む。素子32は、図示の位置において、
出口29R及び29Sからのガスをスプール弁31を介
して流体センサ20のいずれかの側に通過できるように
する。テスト時押圧するボタン33はスプール素子32
に結合されている。ボタン33を押圧すると、スプール
素子32が出口293からのガス流を阻止し、出口29
Rからのガスをスプール弁31の両出口34に通すのを
許容する。ボタン33は、リード37によってリモート
スイッチに結合されたソレノイド36によって間接的に
付勢してもよい。スプール弁31の出口34は、それぞ
れ、流れ制限器35を含む。各スプール弁出口34は、
調節可能な毛管40の入口43及び圧力比調節器60に
結合されている。
薄層状流れ毛管40及び該毛管40の下流の管状流れオ
リフィス50の寸法的精度は、センサの精度及び感度を
決定するためには、重要である。
リフィス50の寸法的精度は、センサの精度及び感度を
決定するためには、重要である。
毛管40における圧力低下は、ガスの粘度に敏感であり
、オリフィス50における圧力低下はガスの密度に対し
て敏感である。各チャネルにおいて、毛管及びオリフィ
スが相互に調和しなければならないので、各チャネル内
のそれらの素子の一方又は両方が調節可能である。
、オリフィス50における圧力低下はガスの密度に対し
て敏感である。各チャネルにおいて、毛管及びオリフィ
スが相互に調和しなければならないので、各チャネル内
のそれらの素子の一方又は両方が調節可能である。
毛管40は、細長い本体41から成る。本体41は、光
沢のある穴42と光沢のあるピン45を備え、穴42と
ピン45とは第4A図示の如く大向に滑って合致するよ
うな寸法になっている。
沢のある穴42と光沢のあるピン45を備え、穴42と
ピン45とは第4A図示の如く大向に滑って合致するよ
うな寸法になっている。
このように滑って合致するようになっていることにより
、較正中の変位を起こすであろう衝撃及び振動によって
も、穴42に対して相対的なピン45の移動を生じるこ
とがなくなる。ピン45の両面に平坦な面46が削られ
、それによって鋭い断面の円形セグメントを有する毛管
流路を提供する。穴42とピン45の端部にはテーパー
が形成されていて、毛管の人口43及び出口44におけ
る混乱によって生じる非線形抵抗を最小化する。
、較正中の変位を起こすであろう衝撃及び振動によって
も、穴42に対して相対的なピン45の移動を生じるこ
とがなくなる。ピン45の両面に平坦な面46が削られ
、それによって鋭い断面の円形セグメントを有する毛管
流路を提供する。穴42とピン45の端部にはテーパー
が形成されていて、毛管の人口43及び出口44におけ
る混乱によって生じる非線形抵抗を最小化する。
毛管の線形抵抗(圧力低下)は、ねじ47によって大向
でのピンの係合長を調節することにより変化される。ガ
スの適正な線形流れ抵抗は、それらの調節により、本発
明以外の場合に毛管素子上の寸法及び表面仕上げを同一
になるよう維持するために必要とされる高価な保護技術
を使用せずに、得ることができる。
でのピンの係合長を調節することにより変化される。ガ
スの適正な線形流れ抵抗は、それらの調節により、本発
明以外の場合に毛管素子上の寸法及び表面仕上げを同一
になるよう維持するために必要とされる高価な保護技術
を使用せずに、得ることができる。
各毛管穴42の下流端は、通路48によって差動圧力変
換器49に結合される。
換器49に結合される。
各調節可能な毛管40の出口44は、第5図及び第5A
図に最も良く示されている如く、調節可能なオリフィス
50に結合されている。調節可能なオリフィスは、ハウ
ジング55と、貫通する穴52を有するスプリングスチ
ールディスク51とから成る。ディスクは、ハウジング
内において肩部53上に配置され、中空ねじ54によっ
て肩部に向けて押しつけられている。0リング56は、
ディスク51とハウジング55との間にシールを与える
。
図に最も良く示されている如く、調節可能なオリフィス
50に結合されている。調節可能なオリフィスは、ハウ
ジング55と、貫通する穴52を有するスプリングスチ
ールディスク51とから成る。ディスクは、ハウジング
内において肩部53上に配置され、中空ねじ54によっ
て肩部に向けて押しつけられている。0リング56は、
ディスク51とハウジング55との間にシールを与える
。
ブリ・フジオリフィス穴52の寸法精度は、毛管40よ
りも重要である。計算によりわかったことは、補正され
ていないオリフィス寸法が正又は負に5/100000
0インチ変動することにより、ブリッジ出力が許容でき
ない程の誤差を生じる。
りも重要である。計算によりわかったことは、補正され
ていないオリフィス寸法が正又は負に5/100000
0インチ変動することにより、ブリッジ出力が許容でき
ない程の誤差を生じる。
従来技術においては、もし、固定されたオリフィス穴が
研摩具を用いて手作業で寸法が決められそれが大きすぎ
た場合には、ブリッジを分解してオリフィスを交換する
ことが必要とな・る。本発明によると、第5A図に示さ
れている如り、調節可能なスプリングスチールディスク
51は、中空ねじ54をしめつけることによって曲げる
ことができ、それによって穴52を通る流れの断面積を
減らすことができる。もし逆の調節が必要な場合には、
ディスク上の曲げ力をなくし、ディスクをフラ・ノドに
して流れの断面積を増せばよい。
研摩具を用いて手作業で寸法が決められそれが大きすぎ
た場合には、ブリッジを分解してオリフィスを交換する
ことが必要とな・る。本発明によると、第5A図に示さ
れている如り、調節可能なスプリングスチールディスク
51は、中空ねじ54をしめつけることによって曲げる
ことができ、それによって穴52を通る流れの断面積を
減らすことができる。もし逆の調節が必要な場合には、
ディスク上の曲げ力をなくし、ディスクをフラ・ノドに
して流れの断面積を増せばよい。
実用上、直列に結合された毛管及びオリフィスが毛管の
調節のみによって調和させることができることが発見さ
れた。従って、ある実施例において、調節可能な毛管と
固定的なオリフィスとを設けることが望ましい。
調節のみによって調和させることができることが発見さ
れた。従って、ある実施例において、調節可能な毛管と
固定的なオリフィスとを設けることが望ましい。
再び第2図及び第3図を参照すると、スプール弁31の
出口34は更に圧力比調節器60の2つの入口59に結
合されている。調節器60は、その高度に比例した基準
ガス及びサンプルガスの両方についての同一の正の入口
圧力を維持する。圧力比調節器60は、共通圧力室61
と、ダイヤフラム67によって支持されたボート素子6
3に結合された真空にひかれた鐘状カプセル62とから
成る。ボート63は、ばね64によって押しつけられ、
弁65はポート63を通り調節出口66に至る流れを制
御するように配置されている。圧力比調節出口66は、
調節可能なオリフィス50からの出口68に組合され、
絶対圧力調節器71の入ロア0に結合される。
出口34は更に圧力比調節器60の2つの入口59に結
合されている。調節器60は、その高度に比例した基準
ガス及びサンプルガスの両方についての同一の正の入口
圧力を維持する。圧力比調節器60は、共通圧力室61
と、ダイヤフラム67によって支持されたボート素子6
3に結合された真空にひかれた鐘状カプセル62とから
成る。ボート63は、ばね64によって押しつけられ、
弁65はポート63を通り調節出口66に至る流れを制
御するように配置されている。圧力比調節出口66は、
調節可能なオリフィス50からの出口68に組合され、
絶対圧力調節器71の入ロア0に結合される。
絶対圧力調節器7゛1は、通常調節器出口アロを介して
周囲の気圧に通気する調節器室72から成る。調節器室
72内の圧力はフィードバック路Z8によって人口圧力
調節器24内のダイヤフラム27に結合される。fJR
節器室72内の弁73はばね装荷アネロイド74によっ
て付勢されて、あらかじめ選択された高度にある周囲気
圧から調節器室72を閉鎖する。
周囲の気圧に通気する調節器室72から成る。調節器室
72内の圧力はフィードバック路Z8によって人口圧力
調節器24内のダイヤフラム27に結合される。fJR
節器室72内の弁73はばね装荷アネロイド74によっ
て付勢されて、あらかじめ選択された高度にある周囲気
圧から調節器室72を閉鎖する。
、しいニー のφ モード
上記動作モードにおいて、しばしば流体センサの一方の
チャネルのみについて言及されているが、特別な明示が
なければ、説明は両方にチャネルにあてはまるというこ
とは理解されるであろう。
チャネルのみについて言及されているが、特別な明示が
なければ、説明は両方にチャネルにあてはまるというこ
とは理解されるであろう。
好ましい実施例では、本発明は、パイロットに送られる
呼吸気中の酸素の分圧をモニタするのに用いられる。こ
こで、好ましい酸素分圧は220mm11gである。
呼吸気中の酸素の分圧をモニタするのに用いられる。こ
こで、好ましい酸素分圧は220mm11gである。
与圧されたガスは正の圧力の入口21を介して流体セン
サに入り、そしてすぐにフィルタ23によってろ過され
る。人口圧力調節器24は各チャネル内のガスの流速を
、流れ制限器35における圧力低下を制御することによ
って制御する。このことは、両チャネルの圧力比調節器
への入力が略々平衡することを確実化する。各入口圧力
調節器24はフィードバック圧力路28によって周囲の
圧力の関数として制inされる。
サに入り、そしてすぐにフィルタ23によってろ過され
る。人口圧力調節器24は各チャネル内のガスの流速を
、流れ制限器35における圧力低下を制御することによ
って制御する。このことは、両チャネルの圧力比調節器
への入力が略々平衡することを確実化する。各入口圧力
調節器24はフィードバック圧力路28によって周囲の
圧力の関数として制inされる。
流れ制限器35からの調節ガスは、調節可能な毛管40
の入力及び圧力比調節器60の入力に結合される。圧力
比調節器60に対する両人口59は同じ圧力室61に結
合されるので、圧力比調節器60は、ブリッジ素子40
及び50における両基準ガス及びサンプルガスの圧力が
等しくなることを確実化する。ダイヤフラム67の有効
面積がベローズカプセル62の有効面積よりも太き(な
っている。その結果、圧力室Gl内の圧力が増し、ポー
ト63を弁65から離れる方向に移動させ、ポート63
を開く。基準及びサンプルガスは、各々の調節可能な毛
管40の入口43に流れる。毛管40は基準ガス及びサ
ンプルガスの圧力低・下を生じる。これは、ガスの粘度
に依存する。
の入力及び圧力比調節器60の入力に結合される。圧力
比調節器60に対する両人口59は同じ圧力室61に結
合されるので、圧力比調節器60は、ブリッジ素子40
及び50における両基準ガス及びサンプルガスの圧力が
等しくなることを確実化する。ダイヤフラム67の有効
面積がベローズカプセル62の有効面積よりも太き(な
っている。その結果、圧力室Gl内の圧力が増し、ポー
ト63を弁65から離れる方向に移動させ、ポート63
を開く。基準及びサンプルガスは、各々の調節可能な毛
管40の入口43に流れる。毛管40は基準ガス及びサ
ンプルガスの圧力低・下を生じる。これは、ガスの粘度
に依存する。
調節可能な毛管40の下流側は、差動圧力変換器49に
結合される。差動圧力変換器49は、基準ガスとサンプ
ルガスとの間の圧力差を測定し、かつ増幅器75に電気
信号を与える。増幅器75は、信号を増幅して、それを
出力デバイスに印加する。出力デバイスはサンプルガス
の分圧の示度を与えるよう較正されている。基準ガス及
びサンプルガスは、次に、各々の調節可能なオリフィス
50を通過して絶対圧力調節器71の圧力室72に入る
。ガスは、周囲気圧にある絶対圧力調節器71の出口ア
ロから換気される。
結合される。差動圧力変換器49は、基準ガスとサンプ
ルガスとの間の圧力差を測定し、かつ増幅器75に電気
信号を与える。増幅器75は、信号を増幅して、それを
出力デバイスに印加する。出力デバイスはサンプルガス
の分圧の示度を与えるよう較正されている。基準ガス及
びサンプルガスは、次に、各々の調節可能なオリフィス
50を通過して絶対圧力調節器71の圧力室72に入る
。ガスは、周囲気圧にある絶対圧力調節器71の出口ア
ロから換気される。
弁31内のスプール素子32は、テスト時押圧機能を与
える。それによって故障状態がテスト用酸素モニタ上に
明示される。テスト時押圧ボタン33を付勢することに
より、約160mHHの海面レベルの酸素分圧を有する
空気が流体ブリッジのサンプルガス側に与えられる。少
なくとも180mallHの酸素分圧が望ましいものと
すると、差動圧力変換器49は、もしそれが正常に作動
していた場合に、低酸素分圧状態を検知して、テスト状
態において警報を付勢する。一旦テストが行なわれると
、テスト時押圧ボタンは解除され、基準ガス及びサンプ
ルガスの両方を流体センサを介して流れさせる。
える。それによって故障状態がテスト用酸素モニタ上に
明示される。テスト時押圧ボタン33を付勢することに
より、約160mHHの海面レベルの酸素分圧を有する
空気が流体ブリッジのサンプルガス側に与えられる。少
なくとも180mallHの酸素分圧が望ましいものと
すると、差動圧力変換器49は、もしそれが正常に作動
していた場合に、低酸素分圧状態を検知して、テスト状
態において警報を付勢する。一旦テストが行なわれると
、テスト時押圧ボタンは解除され、基準ガス及びサンプ
ルガスの両方を流体センサを介して流れさせる。
制御通路28は、入口圧力調節器24を圧力室72内の
圧力に関連させる。あらかじめ選択された高度以下では
、圧力室72は周囲に通気される。
圧力に関連させる。あらかじめ選択された高度以下では
、圧力室72は周囲に通気される。
あらかじめ選択された高度以上になると、アネロイド7
4は弁73に周囲への通気路を閉じさせ、室72内の圧
力をあらかじめ選択された高度の圧力に維持する。この
ようにして、あらかじめ選択された高度以上では、入口
調節器24はあらかじめ選択された圧力に関連させられ
る。このような特徴の目的は、酸素を94%はど含むサ
ンプルガスが適切な酸素分圧を与えない高高度において
警報発生を回避することである。
4は弁73に周囲への通気路を閉じさせ、室72内の圧
力をあらかじめ選択された高度の圧力に維持する。この
ようにして、あらかじめ選択された高度以上では、入口
調節器24はあらかじめ選択された圧力に関連させられ
る。このような特徴の目的は、酸素を94%はど含むサ
ンプルガスが適切な酸素分圧を与えない高高度において
警報発生を回避することである。
以上、本発明を実施例について説明したが、本実施例の
種々の変更及び改変は当業者には自明となり、そのよう
な変更及び改変は本願特許請求の範囲に記載された発明
の範囲内に含まれるものである。
種々の変更及び改変は当業者には自明となり、そのよう
な変更及び改変は本願特許請求の範囲に記載された発明
の範囲内に含まれるものである。
第1図は、従来技術による流体ブリッジを示す図であり
、 第2図は、本発明による流体ブリッジを示す図であり、 第3図は、第2図示の流体ブリッジを構成する素子を示
す図であり、 第4図及び第4A図は、第2図及び第3図示の流体ブリ
ッジに用いられる調節可能な毛管の詳細を示す図であり
、 第5図及び第5A図は、第2図及び第3図の流体ブリフ
ジに用いられる調節可能なオリフィスの詳細を示す図で
ある。 〔主要部分の符号の説明〕
、 第2図は、本発明による流体ブリッジを示す図であり、 第3図は、第2図示の流体ブリッジを構成する素子を示
す図であり、 第4図及び第4A図は、第2図及び第3図示の流体ブリ
ッジに用いられる調節可能な毛管の詳細を示す図であり
、 第5図及び第5A図は、第2図及び第3図の流体ブリフ
ジに用いられる調節可能なオリフィスの詳細を示す図で
ある。 〔主要部分の符号の説明〕
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、基準ガス用入口、 サンプルガス用入口、 基準ガス用毛管路、 サンプルガス用毛管路、 基準ガス用オリフィス路、 サンプルガス用オリフィス路、 流体センサ用出口、及び 両毛管路の出口に結合されて基準毛管路の出口とサンプ
ル毛管路の出口との間の圧力差を検出する手段を備えた
ガス中の酸素の分圧を決定する流体センサにおいて、 前記基準ガス用入口及びサンプルガス用入口は正の圧力
にあり、センサ用の出口は周囲と同じ圧力にあることを
特徴とする流体センサ。 2、前記両毛管路の両入口に与えられた基準ガスとサン
プルガスの圧力を等化する手段を更に備えたことを特徴
とする特許請求の範囲第1項に記載の流体センサ。 3、流体センサに与えられる基準ガス及びサンプルガス
の圧力を調節する入口圧力調節器を更に備えたことを特
徴とする特許請求の範囲第2項に記載の流体センサ。 4、前記両毛管路の長さが、毛管の線形抵抗をオリフィ
スの非線形抵抗に調和させるように調節可能であること
を特徴とする特許請求の範囲第2項に記載の流体センサ
。 5、前記毛管体の穴内に細長い針を配置し、該穴内の針
の位置は毛管長を変化させるように変更されることを特
徴とする特許請求の範囲第4項に記載の流体センサ。 6、前記オリフィス路の流れの特徴が、調節可能である
ことを特徴とする特許請求の範囲第2項に記載の流体セ
ンサ。 7、前記オリフィス路が、該オリフィスの流れの特徴を
変更するように曲がる該可撓性ディスクを通るオリフィ
スから成ることを特徴とする特許請求の範囲第6項に記
載の流体センサ。 8、前記基準ガスとサンプルガスとの圧力を等化する手
段を含む共通圧力室を圧力比調節器内に備えたことを特
徴とする特許請求の範囲第2項に記載の流体センサ。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US859382 | 1986-05-05 | ||
US06/859,382 US4709575A (en) | 1986-05-05 | 1986-05-05 | Fluidic oxygen sensor monitor |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62267644A true JPS62267644A (ja) | 1987-11-20 |
Family
ID=25330791
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62106464A Pending JPS62267644A (ja) | 1986-05-05 | 1987-05-01 | 流体センサ |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4709575A (ja) |
EP (1) | EP0244794A3 (ja) |
JP (1) | JPS62267644A (ja) |
CA (1) | CA1296547C (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3940141A1 (de) * | 1989-12-05 | 1991-06-06 | Rosemount Gmbh & Co | Verfahren zur direkten, messtechnischen darstellung einer differenzmessgroesse in ihrer korrekten physikalischen einheit |
FI89210C (fi) * | 1990-06-08 | 1993-08-25 | Instrumentarium Oy | Foerfarande foer identifiering av gaser |
US5780717A (en) * | 1997-04-23 | 1998-07-14 | Lockheed Martin Energy Research Corporation | In-line real time air monitor |
US7013916B1 (en) | 1997-11-14 | 2006-03-21 | Air Products And Chemicals, Inc. | Sub-atmospheric gas delivery method and apparatus |
EP1192426A1 (en) * | 1999-07-12 | 2002-04-03 | Unit Instruments, Inc. | Pressure insensitive gas control system |
US7150299B2 (en) | 2003-09-12 | 2006-12-19 | Air Products And Chemicals, Inc. | Assembly and method for containing, receiving and storing fluids and for dispensing gas from a fluid control and gas delivery assembly having an integrated fluid flow restrictor |
US20110232588A1 (en) * | 2010-03-26 | 2011-09-29 | Msp Corporation | Integrated system for vapor generation and thin film deposition |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4008601A (en) * | 1975-06-16 | 1977-02-22 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Fluidic partial pressure sensor |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2925327A (en) * | 1958-03-13 | 1960-02-16 | Katz Sidney | Continuous gas analyzer |
US3334513A (en) * | 1964-05-15 | 1967-08-08 | Whirlpool Co | Gas analyzer |
CA942968A (en) * | 1971-01-11 | 1974-03-05 | Royston A. Stubbs | Binary gas composition measurement and control apparatus |
US3771348A (en) * | 1972-02-28 | 1973-11-13 | Us Army | Analog flueric gas concentration sensor |
SU724985A1 (ru) * | 1976-05-20 | 1980-03-30 | Предприятие П/Я Р-6900 | Струйный газоанализатор |
US4100789A (en) * | 1977-07-28 | 1978-07-18 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Fluidic partial pressure sensor |
DE2932436C2 (de) * | 1979-08-10 | 1983-11-10 | Bayer Ag, 5090 Leverkusen | Massenstromabhängiger Gasanalysator mit Durchflußregelung im Unterdruckbetrieb |
EP0036285B1 (en) * | 1980-03-17 | 1985-01-23 | Normalair-Garrett (Holdings) Limited | Flueric partial pressure sensor |
-
1986
- 1986-05-05 US US06/859,382 patent/US4709575A/en not_active Expired - Lifetime
-
1987
- 1987-04-23 CA CA000535422A patent/CA1296547C/en not_active Expired - Fee Related
- 1987-05-01 JP JP62106464A patent/JPS62267644A/ja active Pending
- 1987-05-04 EP EP87106420A patent/EP0244794A3/en not_active Withdrawn
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4008601A (en) * | 1975-06-16 | 1977-02-22 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Fluidic partial pressure sensor |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0244794A2 (en) | 1987-11-11 |
CA1296547C (en) | 1992-03-03 |
US4709575A (en) | 1987-12-01 |
EP0244794A3 (en) | 1988-06-15 |
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