JPS62259232A - 記録面走査方法および光学書込装置 - Google Patents

記録面走査方法および光学書込装置

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JPS62259232A
JPS62259232A JP62095477A JP9547787A JPS62259232A JP S62259232 A JPS62259232 A JP S62259232A JP 62095477 A JP62095477 A JP 62095477A JP 9547787 A JP9547787 A JP 9547787A JP S62259232 A JPS62259232 A JP S62259232A
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motion
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helix
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は回転ディスク状記録担体上の目標点に向ける変
調された放射ビームにより所定の同心的な或いはらせん
の通路に沿って前記の記録担体の放射感応記録面を走査
し、前記の目標点を第１駆動装置により前記の記録面上
で所定の運動に応じて径方向に移動させる記録面走査方
法に関するものである。
また本発明は放射感応記録面を有するディスク状記録担
体を回転させる駆動手段と、放射ビームを記録面上の目
標点に向ける光学系と、目標点を制御装置による制御の
下で第１偏移範囲内で径方向に移動させる第１駆動装置
とを具える光学書込装置にも関するものである。
このような方法および装置はオランダ国特許出願第７２
１２０４５号明細書（特公昭５６−５２３６１号公報）
に記載されており既知である。このオランダ国明細書に
は、光学的に読取りうる記録担体のコピーを造る為のマ
スクディスクを製造す・る方法および装置が記載されて
いる。この方法によれば、ホトレジスｔ−ｉにより形成
された記録面が設けられたディスク状記録担体が駆動手
段により回転せしめられる。駆動手段により回転せしめ
られた記録担体は光学系によりホトレジスト層に向けら
れたレーザビームにより走査せしめられる。この駆動手
段は、ホトレジスト上でのレーザビームの照射点（目標
点）がディスク状記録担体の半径の大きさ程度の偏移範
囲内で径方向に移動するように駆動手段を移動せしめう
る摺動部材上に配置されている。記録担体は回転し、レ
ーザビームの照射点は径方向に偏移する為に、ホトレジ
スト層はらせん通路に沿って走査され、またレーザビー
ムは記録すべき情報によって決定されるオン・オフパタ
ーンに応じて変調されている。ホトレジストを現像し、
記録担体を光腐食処理した後、らせんトラックに沿って
配置した情報構造を存するマスクディスクが得られる。
このマスクディスクはコピーを造るのに用いろる。
上述し一既知の方法および装置は、多重らせんに沿って
配置した情報構造が設けられた光学的に読取りうる記録
担体、例えばらせんの溝が形成されその間にらせん情報
トラックが配置されている記録担体に対するマスクディ
スクの製造にそれほど適していないという欠点を有する
。既知の方法および装置では、このような多重らせんに
沿って配置した情報構造は、まず最初側らせんの一方（
例えば溝によって規定された副らせん）に沿って記録面
を走査し、次に情報トラックによって規定され他方の副
らせんに沿って記録面を走査することによってのみ得ら
れるものであり、これには径方向の移動を反転させるこ
とを必要とする。ノ＜ツクラッシュ等により駆動装置の
方向反転時に生じるヒステリシスの為に、既に走査され
た第１副らせんの巻回間での第２走査の開始点の正確な
位置決めが不可能となる。このことは、特に第１副らせ
んに対する第２副らせんの位置精度に穫めて厳しい条件
（±２０−１０−’ｍ）が課せられているマスクの製造
において重大な問題となる。
更に、同心的なトラックに沿って配置した情報構造を有
する記録担体に対するマスクディスクを製造する既知の
装置および方法には、径方向の位置決め中ある同心通路
から他の同心通路に切換える際に生じる摺動部材の速度
の不可避の変化の為に不所望な振動が生じるという欠点
がある。これらの不所望な変動は、記録を開始しうる前
に振動を充分に減衰させる為に他の同心通路に切換えた
後にある余分な待時間をとる必要があるようにする。
本発明の目的は、上述した欠点を最小にした前述した種
類の方法および装置を提供せんとするにある。
本発明は、回転ディスク状記録担体上の目標点に向ける
変調された放射ビームにより所定の同心的な或いはらせ
んの通路に沿って前記の記録担体の放射感応記録面を走
査し、前記の目標点を第１駆動装置により前記の記録面
上で所定の運動に応じて径方向に移動させる記録面走査
方法において、第２駆動装置を用いて目標点の複合運動
を得、この複合運動が前記の第１駆動装置および第２駆
動装置によりそれぞれ生ぜしめられる第１および第２の
径方向運動成分より成っており、前記の第１および第２
駆動装置を、第１運動成分が方向反転しない所定の運動
であり第２運動成分が所定の往復運動であるように制御
し、記録面への放射ビームの露光を少なくとも前記の往
復運動の戻り運動中に中断させることを特ｊ’ｂ、とす
る。
また本発明は、放射感応記録面を有するディスク状記録
担体を回転させる駆動手段と、放射ビームを記録面上の
目標点に向ける光学系と、目標点を制御装置による制御
の下で第１偏移範囲内で径方向に移動させる第１駆動装
置とを具える光学書込装置において、この光学書込装置
が、目標点を前記の制御装置による制御の下で前記の第
１偏移範囲よりも小さな第２偏移範囲内で記録面上で径
方向に移動させる第２駆動装置を具え、前記の制御装置
は第１および第２駆動装置により生ぜしめられる第１お
よび第２径方向運動成分をそれぞれ第１および第２の所
定の運動状態に応じて制御するように構成されており、
記録面への放射ビームの露光を少なくとも前記の往復運
動の戻り運動中に中断させるようになっていることを特
徴とする。
本発明は特に、非反転運動成分とある制限された偏移範
囲に亘る往復運動成分とより成る目標点の運動の場合に
、同心通路或いは多重らせんに沿う走査が可能であると
いう事実の認識を基に成したものである。
多重らせん（例えば二重らせん）に沿う走査は、一方の
副らせんの一部と他方の副らせんの一部とを交互に走査
し、一方の副らせんのうちの制限した個数の巻回を走査
した後他方の副らせんの走査が中断されていた点に目標
点が戻るように目標点の位置を制御することにより可能
となる。
同心通路に沿う走査は、目標点の径方向位置が一定に維
持されるように第１運動成分を第２運動成分によって補
償することにより可能となる。第２運動成分の方向は、
１つの完全な通路の走査後火の通路に必要とする径方向
位置に達するまで反転され、その後前記の次の通路を走
査しうる。
本発明は更に、上述した本発明の手段によれば、大きな
偏移範囲を考慮した場合に特定の公差内に保持するのが
困難な第１駆動装置におけるヒステリシスが精度に悪影
響を及ぼさない為に正確な運動が得られるという事実の
認識を基に成したものである。更に、非反転運動は不所
望な振動を殆ど生せしめない。この場合、多重らせんに
沿って走査する場合に不可避な目標点の方向の反転は駆
動装置によって小さな偏移範囲で得られる。小さな偏移
範囲を有する駆動装置の場合には、ヒステリシスを比較
的簡単に所要の公差内に保つことができる。更に、往復
運動によって生ぜしめられる不所望な振動が小さくなる
。
記録面を同心通路に沿って走査する方法では、第１運動
成分をほぼ一定の速度を有する運動とし、第２運動成分
によりこの第２運動成分の順方向部骨中第１運動成分を
補償して目標点の径方向位置を一定に維持するようにし
、各順方向部分の持続時間が少なくともディスク状記録
担体の１回転に対応するようにすることを特徴とする。
第１駆動装置は一定速度の運動を生？しめる必要がある
だけである為、この第１駆動装置はいかなる不所望な振
動をも殆ど生せしめず、従って目標点の運動における不
所望な振動は、殆ど、限定された偏移範囲を有する第２
駆動装置によって決定される比較的低い振幅の不所望な
振動に制限されるだけである。
ｎ個の副らせん（ｎは整数）を有するｎ重らせんに沿っ
て記録面を走査する方法においては、ｎ回の順次の往復
運動に相当する１サイクル中で前記の往復運動の順次の
順方向部分中にそれぞれ記録面を次の副らせんの整数ｑ
（１を含む）に相当する巻回に沿って走査し、この目的
の為に、順方向部分中の第１および第２運動の速度を、
複合運動の速度が記録担体の角速度にほぼ比例するよう
に選択し、且つ前記の目的の為に、戻り部分中の運動成
分の速度を、目標点が次の副らせんに沿う走査が中断さ
れた点に転移されるように選択することを特徴とする。
このようにするごとにより、順次の各順方向運動中１つ
の副せらせんのｑ個の巻回が走査されるようになる。そ
の結果の不正確度は主として限定された偏移範囲を有す
る第２駆動装置の比較的小さな不正確度で決まる。
光学書込装置の一実施例においては、第２駆動装置が、
記録面に向ける放射ビームを偏向させる音響−光学駆動
装置であることを特徴とする。
音響−光学変調器には機械的な素子がない為、極めて正
確でしかも殆ど振動のない往復運動が得られる。
図面につき本発明を説明する。
第１図は本発明による光学書込装置１を示す。
この書込装置１は駆動手段３により回転せしめられるタ
ーンテーブル２を有する。このターンテーブル上には、
光感応層５、例えばホトレジスト層が設けられたディス
ク状担体４を載せることができる。
レーザ６は光ビーム７を放出し、この光ビーム７が光感
応層５上に照射される。この光ビーム７は最初に偏向装
置ｆＩＯを通過する。この偏向装置１０は、光ビームを
小さな範囲内で掻めて正確に偏向せしめうる種類のもの
とする。この偏向装置は音響−光学変調器とするのが適
している。しかし、他の偏向装置、例えば小さな角度に
亘って回動しうるミラーを用いることもできる。偏向範
囲の限界を第１図に破線で示す。偏向装置１０によって
偏向された光ビーム７はミラー１１、レンズ１２、光ビ
ーム７を変調する変調装置１３、ミラー１４およびレン
ズ１５を経て光学ヘッド１６に向けられる。光学ヘッド
１６はミラー１７と、光ビームを光感応層５上に集束さ
せる対物レンズ１８とを有する。この光学ヘッドは位置
決め装置１９により回転中の担体４に対して径方向に移
動しうる。
上述した光学系により光ビーム７が光感応層５上の目標
点２０に向けられている。この目標点２０の位置は偏向
装置１０により生ぜしめられる光ビーム７の偏向量と、
担体４に対する書込ヘッド１６の径方向位置とによって
決定される。光学ヘッド１６の図示の位置では目標点２
０を偏向装置１０により、Ｂ、で示す範囲内で移動せし
めうる０図示の偏向の場合、光学ヘッド１６を移動させ
ることにより目標点を８２で示す範囲に亘って移動せし
めることができる。光学書込装置には更に、変調装置１
３に対する変調信号を生せしめる変調信号発生器２２が
設けられている。光学書込装置１には更に、制御装置２
１が設けられており、この制御装置は目標点２０の移動
を制御する為に偏向装置１０と、位置決め装置１９と、
駆動手段３とに結合され、更に前記の変調信号を光感応
層５の表面に亘る目標点２０の移動と同期させる為に変
調信号発生器２２に結合されている。
この光学書込装置では、光感応層（ホトレジスト層）５
を多重らせんに沿って光ビーム７により走査でき、従っ
て多重らせんに沿って情報を記録しうる。
第２図は目標点２０により描きうる通路の一例を示す、
ディスク状担体４を回転させる回転中心を３０で示す、
また目標点２０が径方向に進みうる通路を３１で示す。
回転中心３０を原点として記録担体４上に位置する半径
３２と通路３１との間の角度をψで示す。副らせんＡお
よびＢが相俟って二重らせんを構成し、この二重らせん
に沿って、記録すべき情報を配置する必要がある。記録
担体４の第１回転（０＜ψく２π）中、目標点は位置３
４から、担体４の回転速度に比例する速度で矢印３３で
示す径方向に移動する為、目標点２０は担体４上のらせ
ん路を追従する。第２ａ図には対応する径方向の偏移ｉ
ｓｒをψの関数として示しである。１回転後目標点は位
置３５に到達し、その後火の第２回転（２πくψ〈４π
）中に目標点２０をトラックピッチＴｐの半分に相当す
′　る距離だけ戻す為、この第２回転の終了時に目標′
点２０は位置３６に到達する。続いて次の回転（４πく
ψく６π）中に目標点２０を再び角速度に比例する速度
で矢印３３で示す方向に移動させ、担体４の光感応層５
を副らせんＢの第１巻回に沿って走査する。
目標点２０が副らせんＢの第１巻回の終端３７に到達す
ると、目標点を次の１回転（６πくψく８π）中位置３
５に到達するまで径方向に戻し、副らせんへの第２巻回
に沿う走査を行う。このようにして、ホトレジスト層５
を副らせんへの巻回および副らせんＢの巻回に沿って交
互に走査でき、光ビーム７は、ホトレジスト層が副らせ
んＡおよび副らせんＢに沿って走査されるそれぞれの期
間ＴＡおよびＴｌｌ中では、記録すべき情報に従って変
調されている。第２図に破線で示すように目標点が一方
の副らせんから他方の副らせんに移動する期間中は、光
ビーム７が変調装置１３によって遮断され、記録が行わ
れないようにする。目標点を一方の副らせんから他方の
副らせんに移動させる為には、その終了点が次の走査の
所望の開始点に一敗するいかなる通路も可能であること
明かである。径方向の偏移ＮＳ１は部分的には、位置決
め装置１９によって生ぜしめられる偏移成分Ｓ５と偏向
装置１０によって生ゼしめられる偏移成分Ｓ、とによっ
て決定される。これらの偏移成分Ｓ。
およびＳ、をも第２ａ図にψの関数としてプロットしで
ある。第２ａ図から明かなように、目標点２０は、偏移
成分Ｓｋの変化により決定される方向が反転されない運
動成分と、偏移成分Ｓ、の変化により決定される往復運
動成分とより成る径方向運動を行う。
位置決め装置１９によって生ゼしめられる運動成分の方
向は反転されない為、この位置決め装置１９におけるヒ
ステリシスにより目標点２０の位置決め精度に悪影響を
及ぼさない。二重らせんを走査する際に不可避な目標点
２０の径方向運動の方向反転は走査装置１０により生ぜ
しめられる往復運動成分により得られる。偏向装置１０
による偏向範囲Ｂ１は光学へンドの偏移範囲Ｂ２に比べ
て小さい為、ヒステリシスによって生ぜしめられる不正
確度を偏向装置１０に対する所要公差内に容量に保持す
ることができ、従って目標点２０の正確な位置決めを達
成しうる。音響−光学偏向装置を用いると、機械的な要
素がない為に掻めて正確な位置決めが可能である。
更に、音舌−光学偏向装置を使用することにより目標点
２０の極めて迅速な径方向偏移を得ることができ、従っ
て一方の副らせんの１巻回を走査した後に、他方の副ら
せんの走査が中断されていた点に殆ど直ちに走査を戻す
ことができる。目標点によって描かれる通路と、これに
関連するＳｒ。
ＳｌおよびＳ、の変化とを第３図と第３ａ図とにそれぞ
れ示す。
一方の副らせんの走査から他方の副らせんの走査への切
換え時に目標点が追従する通路を第３図に破線で示す。
目標点の径方向偏移は無限に短い時間で行うことができ
ない為、副らせんの巻回は完全に連続的とはならない。
しかし、これらの誤差は殆どの使用に問題とならない程
度に小さい。
第９ａおよび９ｂ図は本発明方法の変形例を示し、本例
では２つの副らせんのうちの各側らせんの巻回が他方の
副らせんの２つの順次の巻回間の距離の２分の１の位置
に正＆ｉに位置せず、例えばこの距離の１／４の位置に
位置する。
前述したところでは、二重側らせんに沿う走査を説明し
た。しかし、二重よりも多い副らせんに沿う走査も同様
に行うことができること当業者にとって明かである。
上述した走査方法では、目標点２０の径方向位置は、一
方の副らせんの部分と他方の副らせんの部分とを交互に
走査し、目標点が一方の副らせんの一部分の走査後に他
方の副らせんの走査が中断されている点に復帰するよう
に制御されている。
本例では、副らせんの交互に走査される部分の長さが１
巻回の長さに相当する。一方の副らせんの走査が中断さ
れた際に他方の副らせんの走査が中断していた点で走査
が継続するようにすれば、原理的にいかなる任意の長さ
も許容しうろこと明かである。
更に、Ｓ３およびＳ、を種々の方法で変えうること明か
である。この場合、目標点の偏移が所望通りに進行し、
Ｓｋによって決定される運動成分の方向が反転されない
ようにすることのみが重要である。この場合、目標点２
０の正確な径方向運動が常に保証される。
第４図は、光惑応層５が同心トラックに沿って走査され
る際の目標点による追従通路を示す。第４ａ図はＳ、、
Ｓ、およびＳｋの関連の変化をψの関数として示す。
同心路Ｃ，Ｄ、Ｅ、Ｆ、ＧおよびＨが走査される際、偏
移成分Ｓ、は偏移成分Ｓａにより完全に補償される為、
Ｓ、は同心トラックが走査される際に一定に維持される
。担体４の完全な各回転後、目標点２０は偏向装置１０
によりトラックピッチＴｐに相当する距離だけ移動され
る。８つが所定の変化をする場合、光学ヘッドはほぼ一
定の速度で移動し、この光学ヘッドの移動に殆ど振動が
ないようになる。目標点の径方向運動の速度変化は殆ど
振動のない音響−光学偏向装置によって得られる為、１
つの同心トラックから他の同心トランクへの目標点の極
めて迅速で殆ど振動のない運動が得られ、偏移後の待ち
時間がない為に記録処理を迅速に開始することができる
。
上述した同心路に沿うホトレジスト層走査方法では、Ｓ
、およびＳ、ば、これらの速度が担体４の回転速度に比
例するように変化する。Ｓ、およびＳｋは種々の方法で
変化させることができること明かである。この場合、目
標点の偏移が所望通りに進行し、Ｓｋによって決定され
る運動が非反転で均一な運動であることのみが重要であ
る。このようにして目標点の正４Ｍで殆ど振動のない運
動が常に保証される。
第５図は制御装置２１のブロック線図を示す。
この制御装置２１は、中央処理装置４０（ＣＩ）Ｕ）と
、読取専用メモリ４１　　（ＲＯＭ）と、ランダムアク
セスメモリ４２（ＲＡＭ）とを有するプログラマブル計
算装置を具えている。メモリ４１および４２は通常のよ
うに母線４３を経て中央処理装置４０に接続されている
。中央処理装置４０は、変調信号発生器２２を制御する
制御装置４４と、偏向装置１０を制御する制御装置４５
と、位置決め装置１９を制御する制御装置４６と、駆動
装置３を制御する制御装置４７も母線４３を経て結合さ
れている。
第６図は、制御装置４７を詳細に示す。この制御装置４
７は、一定周波数のクロックパルスを発生ずる発振器５
０を有し、これらのクロ・ンクバルスはプログラマブル
型の分周器５１に供給される。
この分周器の除数は中央処理装置４０により母線４３を
介して調整しうる。分周器５１の出力は位相検出回路５
２の一方の入力端に供給される。この位相検出回路の他
方の入力端には、パルス発生器５３の出力信号が供給さ
れ、このパルス発生器はターンテーブル２を駆動するモ
ータ５４の軸上に装着されており、モータ５４の回転速
度に比例する周波数のパルス信号■、を発生するように
構成されている。位相検出回路５２の入力端における信
号間の位相差を表わすこの位相検出回路５２の出力信号
は制御回路５５に供給され、この制御回路５５は位相差
に応じて制御信号を発生し、この制御信号がモータを附
勢する為の電力増幅器５６に供給される。
位相検出回路５２と、制御回路５５と、増幅器５６と、
モータ５４と、パルス発生器５３とは相俟って、プログ
ラマブル分周器５１の出力信号の周波数に比例するよう
にターンテーブル２の回転速度を制御する通常の型の位
相ロックループを構成する。パルス発生器５３の出力信
号■２は中央処理装置４０の入力端に供給される。
第７図は位置決め装置１９を制御する制御装置４６の一
例を示す。制御装置４６は、中央処理装置４１により、
母線４３に接続されたレジスタ６０内にデジタル符号の
形態でローディングしうる所望値に従って光学ヘッド１
６の位置を制御する制御システムの一部分を構成する。
この制御システムは減速機構６２を介して光学ヘッド１
６を移動させるモータ６１を有する。このモータ６１の
軸にはパルス発生器６３が結合されている。どのパルス
発生器６３は、モータ６１の回転方向に依存して互いに
９０’或いは２７０°移和しており、モータ６１の回転
速度に比例する周波数を有する２つのパルス状信号■、
およびｖｔを発生する形態のものとする。これらの信号
■、および■２は回路６４に供給され、この回路６４は
、モータが一方向に回転する場合に■。のパルスが発生
されモータが反対方向に回転する場合に■７のパルスが
発生されるように信号■１および■２からこれら信号ｖ
０およびｖｌを取出す。
信号ｖ０および■７はアップ・ダウンカウンタ６５のカ
ウント・アップ入力端およびカウント・ダウン入力端に
それぞれ供給される。光学ヘッド１６の位置の目安であ
るカウンタ６５の計数値は差（減算）回路６６により、
レジスタ６０内に符号化形態で記憶された所望位置と比
較される。差回路の出力信号はデジタル−アナログ変換
器６７に供給される。このデジタル−アナログ変換器６
７の出力信号は制御回路６８の入力端に供給される。こ
の制御回路６日は、光学ヘッドの位置がレジスタ６０内
に記憶された所望値に応じたものとなるようなモータ７
１に対する附勢信号をアナログ−デジタル変換器６７の
出力信号から取出す。
第８図は、偏向装置ｌＯを制御する制御装置４５の一例
を示す。この制御装置４５はレジスタ８０を有し、この
レジスタ８０内には中央処理装置４０により母線４３を
介してデジタル符号をローディングしうる。このデジタ
ル符号はデジタル−アナログ変換器８１によりアナログ
信号に変換され、このアナログ信号が通常の型の電圧制
御発振器８２に対する制御信号として作用する。この発
振器８２の出力信号が通常の型の音響−光学偏向装置１
０の制御入力端に供給され、この偏向装置を通過する光
ビーム７がこの制御入力端における信号の周波数によっ
て決定される角度θだけ偏向される。
上述した制御装置により、記録担体の角速度、偏向装置
１０によって生ぜしめられる目標点２０の径方向偏移量
Ｓ１および位置決め装置１９により生ぜしめられる目標
点の径方向偏移！ｉ１ｓ　ｉ＝がホトレジスト層５の走
査に際しての所定のパターンに応じて制御される。この
目的の為に、制御装置２１が読取専用メモリ４１に記憶
されたプログラムによって制御される。このプログラム
が実行されると、中央処理装置４０が、供給される信号
■、のパルス数を計数することにより角度間隔ψを決定
する。計数されるパルス数がいかに変化しようとも、中
央処理装置４０は、偏向装置１０によって生ぜしめられ
る偏移■Ｓ１および位置決め装置１９によって生ぜしめ
られる偏移Ｎ　ｓ　ｋが例えば第２ａ、３ａおよび４ａ
図に示すように特定の角度間隔ψに対応する所望値と対
応するようにレジスタ６０および８１の内容を適合させ
る。これらの所望値はメモリ４１或いは４２の一方に例
えばルック・アップテーブルの形態で記憶せしめうる。
しかし、（第２ａ、３ａおよび４ａ図におけるように）
、偏移量Ｓ、およびＳ５と角度間隔ψとの間に簡単な関
係がある場合には、所望値を中央処理装置４０により節
単に計算しうる。また中央処理装置４０は変調信号と光
感応層５１上の目標点の運動との同期をも制御する。こ
の同期は本発明の範囲外である為、その詳細な説明を省
略する。
前述した制御装置２１はプログラマブル計算装置を以っ
て構成される。しかし、制御装置は“ハード・ワイヤー
ド（ｔ＋ａｒｄ−ｗｉｒｅｄ　）　”回路を以って構成
することもできること明かである。
上述した実施例では音響−光学偏向装置を用いているが
、電気−光学偏向装置を同様に用いることができること
明かである。
【図面の簡単な説明】
第１図は、本発明による光学書込装置の一例を示す線図
、 第２．３．４および９ｂ図は、本発明の詳細な説明する
為に目標点が描く種々の通路を示す説明図、 第２ａ、３ａ、４ａおよび９ａ図は、第１および第２駆
動手段により生ぜしめられる運動成分と、これらの運動
成分より成る目標点運動とを記録担体の角度偏移量の関
数として示す説明図、第５図は、光学書込装置の制御装
置の一例を示すブロック線図、 第６，７および８図は、第５図の制御装置の一部を示す
詳細図である。 ｌ・・・光学書込装置　　２・・・ターンテーブル３・
・・駆動手段 ４・・・ディスク状担体（記録担体） ５・・・光感応層　　　　６・・・レーザ７・・・光ビ
ーム　　　　１０・・・偏向装置１１．１４．１７・・
・ミラー １２．１５・・・レンズ １３・・・変調装置 １６・・・光学ヘッド（書込ヘッド） １８・・・対物レンズ　　１９・・・位置決め装置２０
・・・目標点　　　　２１・・・制御装置２２・・・変
調信号発生器 ３０・・・回転中心　　　４０・・・中央処理装置４１
・・・読取専用メモリ ４２・・・ランダムアクセスメモリ ４４．４５，４６．４７・・・制御装置５０・・・発振
器　　　　５１・・・分周器５２・・・位相検出回路 ５３．６３・・・パルス発生器 ５４．６１・・・モータ ５５．６８・・・制御回路 ５６・・・電力増幅器　　６０．８０・・・レジスタ６
２・・・減速機構 ６５・・・アップ・ダウンカウンタ ６６・・・差回路 ６７．８１・・・デジタル−アナログ変換器８２・・・
電圧制御発振器 Ｆｌｙ）、５ Ｆ１６．６

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １、回転ディスク状記録担体上の目標点に向ける変調さ
    れた放射ビームにより所定の同心的な或いはらせんの通
    路に沿って前記の記録担体の放射感応記録面を走査し、
    前記の目標点を第１駆動装置により前記の記録面上で所
    定の運動に応じて径方向に移動させる記録面走査方法に
    おいて、第２駆動装置を用いて目標点の複合運動を得、
    この複合運動が前記の第１駆動装置および第２駆動装置
    によりそれぞれ生ぜしめられる第１および第２の径方向
    運動成分より成っており、前記の第１および第２駆動装
    置を、第１連動成分が方向反転しない所定の運動であり
    第２運動成分が所定の往復連動であるように制御し、記
    録面への放射ビームの露光を少なくとも前記の往復運動
    の戻り運動中に中断させることを特徴とする記録面走査
    方法。 ２、同心的な通路に沿って記録面を走査する特許請求の
    範囲第１項に記載の記録面走査方法において、第１運動
    成分をほぼ一定の速度を有する運動とし、第２運動成分
    によりこの第２運動成分の順方向部分中第１運動成分を
    補償して目標点の径方向位置を一定に維持するようにし
    、各順方向部分の持続時間が少なくともディスク状記録
    担体の１回転に対応するようにすることを特徴とする記
    録面走査方法。 ３、ｎ個の副らせんを有するｎ重らせんに沿って記録面
    を走査する特許請求の範囲第１項に記載の記録面走査方
    法において、ｎ回の順次の往復運動に相当する１サイク
    ル中で前記の往復運動の順次の順方向部分中にそれぞれ
    記録面を次の副らせんの整数ｑ（１を含む）に相当する
    巻回に沿って走査し、この目的の為に、順方向部分中の
    第１および第２運動の速度を、複合運動の速度が記録担
    体の角速度にほぼ比例するように選択し、且つ前記の目
    的の為に、戻り部分中の運動成分の速度を、目標点が次
    の副らせんに沿う走査が中断された点に転移されるよう
    に選択することを特徴とする記録面走査方法。 ４、特許請求の範囲第３項に記載の記録面走査方法にお
    いて、第２往復連動成分の１周期の期間をほぼｐ回転に
    相当させ、このｐをｑよりも大きな或いはｑに等しい整
    数とし、第２運動成分の順方向部分中の第１および第２
    運動成分の速度を、複合運動の速度が少なくともｑ回転
    に相当する非中断期間中の記録担体の角速度にほぼ比例
    するように選択し、目標点を往復連動成分の１回の全期
    間中ｎ重らせんのピッチのほぼ１／ｎ倍に相当する距離
    に亘って径方向に移動させることを特徴とする記録面走
    査方法。 ５、特許請求の範囲第４項に記載の記録面装置方法にお
    いて、第１運動成分を第２運動成分の順方向部分中ほぼ
    零とすることを特徴とする記録面走査方法。 ６、特許請求の範囲第４項に記載の記録面走査方法にお
    いて、第１運動成分の速度を記録担体の角速度にほぼ比
    例させることを特徴とする記録面走査方法。 ７、特許請求の範囲第４項または第５項に記載の記録面
    走査方法において、ｐをｑに等しくすることを特徴とす
    る記録面走査方法。 ８、特許請求の範囲第４項または第５項に記載の記録面
    走査方法において、ｎを２とすることを特徴とする記録
    面走査方法。 ９、放射感応記録面を有するディスク状記録担体を回転
    させる駆動手段と、放射ビームを記録面上の目標点に向
    ける光学系と、目標点を制御装置による制御の下で第１
    偏移範囲内で径方向に移動させる第１駆動装置とを具え
    る光学書込装置において、この光学書込装置が、目標点
    を前記の制御装置による制御の下で前記の第１偏移範囲
    よりも小さな第２偏移範囲内で記録面上で径方向に移動
    させる第２駆動装置を具え、前記の制御装置は第１およ
    び第２駆動装置により生ぜしめられる第１および第２径
    方向運動成分をそれぞれ第１および第２の所定の運動状
    態に応じて制御するように構成されていることを特徴と
    する光学書込装置。 １０、特許請求の範囲第９項に記載の光学書込装置にお
    いて、前記の第２駆動装置を、記録面に向ける放射ビー
    ムを偏向させる音響−光学偏向装置としたことを特徴と
    する光学書込装置。 １１、特許請求の範囲第９項に記載の光学書込装置にお
    いて、前記の第２駆動装置を電気−光学偏向装置とした
    ことを特徴とする光学書込装置。
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