JPS62253762A - Zn合金の蒸着方法 - Google Patents
Zn合金の蒸着方法Info
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- JPS62253762A JPS62253762A JP9477486A JP9477486A JPS62253762A JP S62253762 A JPS62253762 A JP S62253762A JP 9477486 A JP9477486 A JP 9477486A JP 9477486 A JP9477486 A JP 9477486A JP S62253762 A JPS62253762 A JP S62253762A
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Landscapes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、Zn合金(Zn −Ni合金またはZn−F
e合金)の蒸着方法に関し、特に自動車用外板、建材等
間適用される鋼板へのZn −Ni合金またはZn −
Fe合金の蒸着方法に関する。
e合金)の蒸着方法に関し、特に自動車用外板、建材等
間適用される鋼板へのZn −Ni合金またはZn −
Fe合金の蒸着方法に関する。
従来からZn −Ni tたはZn −FeのZn合金
めっきは、純Znめっきに比較して腐食電位が貴である
ため犠牲防食性に優れ、しかも耐食性が良好なため、主
に電気めっき法で生産されている。
めっきは、純Znめっきに比較して腐食電位が貴である
ため犠牲防食性に優れ、しかも耐食性が良好なため、主
に電気めっき法で生産されている。
Zn合金を電気めっき法で電析することは古くから知ら
れているが、塩化物や硫酸塩の酸性浴シアン化合物やア
ンモニア化合物のアルカリ性浴等の公害性が強い電解浴
を使用しておシ、電解浴の維持管理、廃液処理等に多大
な経費を費している。
れているが、塩化物や硫酸塩の酸性浴シアン化合物やア
ンモニア化合物のアルカリ性浴等の公害性が強い電解浴
を使用しておシ、電解浴の維持管理、廃液処理等に多大
な経費を費している。
電気めっき法では上記のような問題があシ、これを改善
するために最近、真空蒸着法によるZn合金のめつき法
が注目されているが、工業的規模での生産は着手されて
いない。この真空蒸着法の問題は、ZnとNiあるいは
Feの蒸気圧特性に大きな差があり、蒸発制御が容易で
ない点にある。即ちZnは蒸気圧が高く、一方、Ni。
するために最近、真空蒸着法によるZn合金のめつき法
が注目されているが、工業的規模での生産は着手されて
いない。この真空蒸着法の問題は、ZnとNiあるいは
Feの蒸気圧特性に大きな差があり、蒸発制御が容易で
ない点にある。即ちZnは蒸気圧が高く、一方、Ni。
1eは蒸気圧が低い。従って、 Znは小容量の熱源で
容易に蒸発し、電子ビーム方式のような高エネルギー密
度の一般的な熱源では蒸発速度が安定せず、制御が困難
で、正常な蒸着ができない。一方のNi、 アeは小
エネルギー密度の熱源でけ蒸発量が極めて小さく、高エ
ネルギー密度の熱源が要求される。
容易に蒸発し、電子ビーム方式のような高エネルギー密
度の一般的な熱源では蒸発速度が安定せず、制御が困難
で、正常な蒸着ができない。一方のNi、 アeは小
エネルギー密度の熱源でけ蒸発量が極めて小さく、高エ
ネルギー密度の熱源が要求される。
本発明は、従来の電気めっき法のような公害物質を使用
するZn合金めっき法ではな(、ZnとNi iたはZ
nとFeを同時に蒸発させて基材表面にZn −Ni合
金またはZn−10合金を蒸着させるZn合金の蒸着方
法を提供することを目的とし、この蒸着方法において、
ZnおよびNiまたはyeの蒸発制御を容易に行うこと
ができるZn合金の蒸着方法を提供することを目的とす
る。
するZn合金めっき法ではな(、ZnとNi iたはZ
nとFeを同時に蒸発させて基材表面にZn −Ni合
金またはZn−10合金を蒸着させるZn合金の蒸着方
法を提供することを目的とし、この蒸着方法において、
ZnおよびNiまたはyeの蒸発制御を容易に行うこと
ができるZn合金の蒸着方法を提供することを目的とす
る。
そして、本発明は、上記目的を達成する手段として、Z
nを蒸発させる加熱源として低エネルギー密度の電気抵
抗加熱源または高周波誘導加熱源を用い、一方、Niま
たは1eを蒸発させる加熱源として高エネルギー密度の
電子銃加熱源またはレーザー光線加熱源を用いる点にあ
る0すなわち、本発明は、電気抵抗加熱源または高周波
誘導加熱源を用いてZnを蒸発させ、一方、電子銃加熱
源またはレーザー光線加熱源を用いてNiまたはFli
tを蒸発させ、 ZnとNiまたはZnとアeを同時に
蒸発させて基材表面VcZn −Ni合金またはZn
−Fe合金蒸発させることを特徴とするZn合金の蒸着
方法である。
nを蒸発させる加熱源として低エネルギー密度の電気抵
抗加熱源または高周波誘導加熱源を用い、一方、Niま
たは1eを蒸発させる加熱源として高エネルギー密度の
電子銃加熱源またはレーザー光線加熱源を用いる点にあ
る0すなわち、本発明は、電気抵抗加熱源または高周波
誘導加熱源を用いてZnを蒸発させ、一方、電子銃加熱
源またはレーザー光線加熱源を用いてNiまたはFli
tを蒸発させ、 ZnとNiまたはZnとアeを同時に
蒸発させて基材表面VcZn −Ni合金またはZn
−Fe合金蒸発させることを特徴とするZn合金の蒸着
方法である。
本発明を具体的に説明すると、本発明は、例えば冷延鋼
板のよう表薄板を750°C前後の水素雰囲気において
還元してこの薄板の表面を活性化した後、この活性化表
面に真空蒸着法でZnとNiあるいはZnとFeを同時
に蒸発させてZn−Ni合金あるいはZn −Fe合金
蒸着させる方法であって、上記真空蒸着において、 Z
nの蒸発は低エネルギー密度である電気抵抗加熱または
高周波誘導加熱源で行い、NiあるいはFeは高エネル
ギー密度である電子ビーム加熱またはレーザー光線で行
うことにある。本発明に採用した真空蒸着法によれば、
従来の電気めっき法の場合よシ公害物質を使用しなめた
め、これに要する経費の節減が可能である。また成膜速
度が大で生産性が高く、必要な電力も小さく、さらKは
、蒸発金属の特性に合わせた加熱用熱源を採用するもの
であるから、安定した蒸発制御が可能である。
板のよう表薄板を750°C前後の水素雰囲気において
還元してこの薄板の表面を活性化した後、この活性化表
面に真空蒸着法でZnとNiあるいはZnとFeを同時
に蒸発させてZn−Ni合金あるいはZn −Fe合金
蒸着させる方法であって、上記真空蒸着において、 Z
nの蒸発は低エネルギー密度である電気抵抗加熱または
高周波誘導加熱源で行い、NiあるいはFeは高エネル
ギー密度である電子ビーム加熱またはレーザー光線で行
うことにある。本発明に採用した真空蒸着法によれば、
従来の電気めっき法の場合よシ公害物質を使用しなめた
め、これに要する経費の節減が可能である。また成膜速
度が大で生産性が高く、必要な電力も小さく、さらKは
、蒸発金属の特性に合わせた加熱用熱源を採用するもの
であるから、安定した蒸発制御が可能である。
第1図は、本発明の実施例である蒸着手段を説明するた
めの図である。
めの図である。
真空槽70所定位置に冷延鋼板1を設置した真空槽7内
に導入し、真空槽内の圧力をα1皺−1に保つように圧
力ゲージ■で確認しながら水素流量を調整する。次に加
熱用ヒータ21Cよシ真空槽7内の冷延鋼板1を加熱し
、750°0で5分間保持し、冷延鋼板1表面に存在し
ている酸化物を還元して活性化した後真空槽7内を2×
10” torr の圧力まで真空排気し、同時に冷延
鋼板1の温度を2GO’Ofで冷却して保持する0次に
ムの容器に収容しているZnとBの容器に収容している
NiあるいはFe1を、Znの場合、抵抗加熱ヒータ3
1Cよシ、 NiあるいはFeの場合は電子銃4によシ
同時に蒸発させ、 Zn蒸気とNiあるいはF6蒸気を
冷延鋼板1の表面にZn−Ni合金あるいはZn −F
e合金として蒸着する〇又Znの場合、高周波誘導加熱
とし、一方NiあるいはFeの場合レーザー光線を使用
しても同等の結果であった。なお、合金成分の制御はN
iあるいは1Peの加熱源である電子銃またはレーザー
光線の出力で制御する。
に導入し、真空槽内の圧力をα1皺−1に保つように圧
力ゲージ■で確認しながら水素流量を調整する。次に加
熱用ヒータ21Cよシ真空槽7内の冷延鋼板1を加熱し
、750°0で5分間保持し、冷延鋼板1表面に存在し
ている酸化物を還元して活性化した後真空槽7内を2×
10” torr の圧力まで真空排気し、同時に冷延
鋼板1の温度を2GO’Ofで冷却して保持する0次に
ムの容器に収容しているZnとBの容器に収容している
NiあるいはFe1を、Znの場合、抵抗加熱ヒータ3
1Cよシ、 NiあるいはFeの場合は電子銃4によシ
同時に蒸発させ、 Zn蒸気とNiあるいはF6蒸気を
冷延鋼板1の表面にZn−Ni合金あるいはZn −F
e合金として蒸着する〇又Znの場合、高周波誘導加熱
とし、一方NiあるいはFeの場合レーザー光線を使用
しても同等の結果であった。なお、合金成分の制御はN
iあるいは1Peの加熱源である電子銃またはレーザー
光線の出力で制御する。
本発明は、以上詳記したように、従来の電気めっきのよ
うな公害物質を使用する必要がないため無公害であプ、
また、本発明は、ZnおよびNiまたはFeのそれぞれ
の蒸発特性に合わせた加熱源を採用するものであるから
、ZnおよびNiまたは1psの蒸発制御を容易に行う
ことができ、その結果、Zn合金めつきの組成変動率が
非常に小さいZn −Ni tたはZn −FeのZn
合金蒸着皮膜が得られる効果が生ずる。すなわち本発明
によれば、合金めっきの組成変動率がuチ以内である。
うな公害物質を使用する必要がないため無公害であプ、
また、本発明は、ZnおよびNiまたはFeのそれぞれ
の蒸発特性に合わせた加熱源を採用するものであるから
、ZnおよびNiまたは1psの蒸発制御を容易に行う
ことができ、その結果、Zn合金めつきの組成変動率が
非常に小さいZn −Ni tたはZn −FeのZn
合金蒸着皮膜が得られる効果が生ずる。すなわち本発明
によれば、合金めっきの組成変動率がuチ以内である。
これに対して、ZnおよびNiま九はrθの蒸発熱源と
して、すべて電子銃を用いた場合の組成変動率は32チ
〜40嘱であル、また、上記金属の蒸発熱源として、す
べて電気抵抗加熱とした場合のそれは12チ〜24%で
あり、このように組成変動率が大きいので実用化は期待
できなhものである。
して、すべて電子銃を用いた場合の組成変動率は32チ
〜40嘱であル、また、上記金属の蒸発熱源として、す
べて電気抵抗加熱とした場合のそれは12チ〜24%で
あり、このように組成変動率が大きいので実用化は期待
できなhものである。
第1図は本発明の実施例である蒸着手段を説明するため
の図である。 復代理人 内 1) 明 復代理人 萩 原 亮 − 復代理人 安 西 篤 夫 第1図
の図である。 復代理人 内 1) 明 復代理人 萩 原 亮 − 復代理人 安 西 篤 夫 第1図
Claims (1)
- 電気抵抗加熱源または高周波誘導加熱源を用いてZnを
蒸発させ、一方、電子銃加熱源またはレーザー光線加熱
源を用いてNiまたはFeを蒸発させ、ZnとNiまた
はZnとFeを同時に蒸発させて基材表面にZn−Ni
合金またはZn−Fe合金を蒸着させることを特徴とす
るZn合金の蒸着方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9477486A JPS62253762A (ja) | 1986-04-25 | 1986-04-25 | Zn合金の蒸着方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9477486A JPS62253762A (ja) | 1986-04-25 | 1986-04-25 | Zn合金の蒸着方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62253762A true JPS62253762A (ja) | 1987-11-05 |
Family
ID=14119443
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9477486A Pending JPS62253762A (ja) | 1986-04-25 | 1986-04-25 | Zn合金の蒸着方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62253762A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0630987A1 (fr) * | 1993-06-24 | 1994-12-28 | Sollac | Procédé de revêtement de peinture par cataphorèse d'une pièce en acier galvanisé-allié |
EP0940482A2 (de) | 1998-03-06 | 1999-09-08 | VTD Vakuumtechnik Dresden GmbH | Vakuum-Plasma-Beschichtungsanlage und Anwendung derselben |
WO2003080890A1 (fr) * | 2002-03-26 | 2003-10-02 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Procede et dispositif de production de couches minces |
JP2011233890A (ja) * | 2010-04-28 | 2011-11-17 | Pratt & Whitney Rocketdyne Inc | レーザ焼結下板を有する基板 |
US9623632B2 (en) | 2009-02-04 | 2017-04-18 | Umicore | Process for coating discrete articles with a zinc-based alloyed layer and articles obtained therefrom |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5394230A (en) * | 1977-01-31 | 1978-08-18 | Ulvac Corp | Corrosion preventing method of aluminum heat exchanger |
JPS60202526A (ja) * | 1984-03-28 | 1985-10-14 | Konishiroku Photo Ind Co Ltd | 磁気記録媒体、その製造方法及び装置 |
-
1986
- 1986-04-25 JP JP9477486A patent/JPS62253762A/ja active Pending
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US9346114B2 (en) | 2010-04-28 | 2016-05-24 | Aerojet Rocketdyne Of De, Inc. | Substrate having laser sintered underplate |
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