JPS62251627A - 偏光干渉計 - Google Patents
偏光干渉計Info
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- JPS62251627A JPS62251627A JP61094528A JP9452886A JPS62251627A JP S62251627 A JPS62251627 A JP S62251627A JP 61094528 A JP61094528 A JP 61094528A JP 9452886 A JP9452886 A JP 9452886A JP S62251627 A JPS62251627 A JP S62251627A
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- interference fringes
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02015—Interferometers characterised by the beam path configuration
- G01B9/02024—Measuring in transmission, i.e. light traverses the object
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02055—Reduction or prevention of errors; Testing; Calibration
- G01B9/02056—Passive reduction of errors
- G01B9/02057—Passive reduction of errors by using common path configuration, i.e. reference and object path almost entirely overlapping
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/45—Interferometric spectrometry
- G01J3/453—Interferometric spectrometry by correlation of the amplitudes
- G01J3/4537—Devices with refractive scan
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B2290/00—Aspects of interferometers not specifically covered by any group under G01B9/02
- G01B2290/70—Using polarization in the interferometer
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は偏光干渉計に係り、特に干渉分光器や干渉膜厚
測定装置に使用するのに好適な偏光干渉計に関する。
測定装置に使用するのに好適な偏光干渉計に関する。
従来の装置は、特開昭５９−１０５５０８号公報に記載
のように、ウオーラストンプリズムをはさんで２個の偏
光子を配置することによって空間的に得られるインター
フェログラムをマルチチャネル光検知器で観測する構成
となっていた。しかし、空間的な光強度分布の不均一性
や検知器各絵素間の不均一性の点については配慮されて
いなかった。
のように、ウオーラストンプリズムをはさんで２個の偏
光子を配置することによって空間的に得られるインター
フェログラムをマルチチャネル光検知器で観測する構成
となっていた。しかし、空間的な光強度分布の不均一性
や検知器各絵素間の不均一性の点については配慮されて
いなかった。
上記従来技術では、ウオーラストンプリズムによって２
つに分離された各平行平面波の、その進行方向に垂直な
面内での強度分布の不均一性及びマルチチャネル光検知
器の各絵素間での光感度の不均一性について配慮がされ
ておらず、検出されるインターフェログラム信号に歪み
を生じる問題があった。
つに分離された各平行平面波の、その進行方向に垂直な
面内での強度分布の不均一性及びマルチチャネル光検知
器の各絵素間での光感度の不均一性について配慮がされ
ておらず、検出されるインターフェログラム信号に歪み
を生じる問題があった。
本発明の目的は、上記のような光強度分布や検知器の絵
素間の光感度に不均一性がある場合においても、歪の無
いインターフェログラム信号の得られる偏光干渉計を提
供することにある。
素間の光感度に不均一性がある場合においても、歪の無
いインターフェログラム信号の得られる偏光干渉計を提
供することにある。
） 上記目的は・つ、ｔ−５Ｘｈｙプリズ４をはさ９で
配置された２個の偏光子の一方の特性を偏光と非偏光の
間で切替可能とし、非偏光状態における検知器信号を記
憶しておき、偏光状態における検知器信号を該記憶信号
で割り算することにより。
配置された２個の偏光子の一方の特性を偏光と非偏光の
間で切替可能とし、非偏光状態における検知器信号を記
憶しておき、偏光状態における検知器信号を該記憶信号
で割り算することにより。
達成される。
本発明のウオーラストンプリズムを用いた偏光干渉計の
構成を第１図に示す。
構成を第１図に示す。
被測定光源１を出た光１０はコリメータ２によって平行
平面波１１となり、第１の偏光子３を経てウオーラスト
ンプリズム４に入射する。ウオーラストンプリズム４は
通常、結晶軸が互いに直交する２個のくさび形に研磨し
た？ｊｔ屈折性のプリズムを貼り合わせたものを用いる
。前記偏光子３の偏光面は該ウオーラストンプリズム４
の２つの結晶軸の各々に対し４５°の傾角となるように
配置され、該ウオーラストンプリズム４の複屈折作用に
よって２分割される光束の光量を等しくする働きをする
。ウオーラストンプリズム４によって２分割された光束
１２及び１３は、第２の偏光子５を透過する。該偏光子
５は偏光←非偏光状態を切替えることができ、偏光状態
で該偏光子５の偏光角は前記第１の偏光子３の偏光角に
対し、０゜または９０°を成すように配置され、前記２
分割された光束１２．１３の各々の偏波面に対しては４
５°または一４５＠となるため、これらの光束を再結合
する働きをする。これにより、干渉縞が前記ウオーラス
トンプリズム４内に局在して形成される。結像レンズ６
はこの干渉縞を適当な倍率で光電検知器７の受光面上に
結像させる。
平面波１１となり、第１の偏光子３を経てウオーラスト
ンプリズム４に入射する。ウオーラストンプリズム４は
通常、結晶軸が互いに直交する２個のくさび形に研磨し
た？ｊｔ屈折性のプリズムを貼り合わせたものを用いる
。前記偏光子３の偏光面は該ウオーラストンプリズム４
の２つの結晶軸の各々に対し４５°の傾角となるように
配置され、該ウオーラストンプリズム４の複屈折作用に
よって２分割される光束の光量を等しくする働きをする
。ウオーラストンプリズム４によって２分割された光束
１２及び１３は、第２の偏光子５を透過する。該偏光子
５は偏光←非偏光状態を切替えることができ、偏光状態
で該偏光子５の偏光角は前記第１の偏光子３の偏光角に
対し、０゜または９０°を成すように配置され、前記２
分割された光束１２．１３の各々の偏波面に対しては４
５°または一４５＠となるため、これらの光束を再結合
する働きをする。これにより、干渉縞が前記ウオーラス
トンプリズム４内に局在して形成される。結像レンズ６
はこの干渉縞を適当な倍率で光電検知器７の受光面上に
結像させる。
第１図において１紙面に平行で光束１１の進行方向に垂
直にＸ軸をとり、Ｘ軸及び紙面に直交する様ｙ軸をとる
。前記ウオーラストンプリズム４で２分割された平行平
面波１２及び１３の強度を各々Ｉｆ、Ｉｔとし、Ｉｉと
Ｉｔの間の位相差をτ（ｘ）とすると、形成される干渉
縞の強度Ｉ （Ｘ。
直にＸ軸をとり、Ｘ軸及び紙面に直交する様ｙ軸をとる
。前記ウオーラストンプリズム４で２分割された平行平
面波１２及び１３の強度を各々Ｉｆ、Ｉｔとし、Ｉｉと
Ｉｔの間の位相差をτ（ｘ）とすると、形成される干渉
縞の強度Ｉ （Ｘ。
ｙ）は、第２の偏光子５を第１の偏光子３に対して９０
°に配置した場合、 となるａ Ｉｒ及び工２は干渉縞を形成する平面上で必
ずしも一定とはならない、そこで各々の（ｘｐｙ）平面
上での分布をＩｘ（ｘｐｙ）及びＩｔ（ｘｔｙ）とする
、この時、第１の偏光子３により、これら２つの光束の
強度は等しく分離されているので、Ｉｉ （ｘｔ ｙ）
＝Ｉｚ Ｃｘｔ ｙ） （第２式）が成
立する。そこで第１式をＩ １ （ｘ ｅ ｙ ）によ
り、Ｉ（ｘｔ ｙ）＝Ｉｓ（ｘｔ ｙ）・（１＋ｅｏｓ
δ（ｘ）） （第３式）と書くことができる。更に、
この干渉縞Ｉ （ｘ。
°に配置した場合、 となるａ Ｉｒ及び工２は干渉縞を形成する平面上で必
ずしも一定とはならない、そこで各々の（ｘｐｙ）平面
上での分布をＩｘ（ｘｐｙ）及びＩｔ（ｘｔｙ）とする
、この時、第１の偏光子３により、これら２つの光束の
強度は等しく分離されているので、Ｉｉ （ｘｔ ｙ）
＝Ｉｚ Ｃｘｔ ｙ） （第２式）が成
立する。そこで第１式をＩ １ （ｘ ｅ ｙ ）によ
り、Ｉ（ｘｔ ｙ）＝Ｉｓ（ｘｔ ｙ）・（１＋ｅｏｓ
δ（ｘ）） （第３式）と書くことができる。更に、
この干渉縞Ｉ （ｘ。
ｙ）を結像レンズ６で光電検知器７上に結像させて光電
検出する際の検知器感度のＤ−カリティーも考慮する必
要がある。光電検知器７の受光面上で同様に！−７軸を
とる。結像倍率をに倍、検知器受光面の感度分布をＤ
（ＸＩ ｙ）とすると、観測されるインターフェログラ
ム信号Ａ （ｘｅ ｙ）は Ａ（ＸＩ ｙ）＝Ｄ（ｘｔ ｙ） ・Ｉ（ｋＸ＠
ｋｙ）＝Ｄ（ｘｅ ｙ） ・Ｉｔ（ｋｘ、ｋｙ） ・
（１＋ｃｏｓ６（ｘ））（第４式） 一方、第２の偏光子５を非偏光状態におけるＩ（！＊ｙ
）及びＡ（ｘｔ ｙ）を各々Ｉ’ （ｘｔ ｙ）ｔＡ’
（ｘ、ｙ）とすると、 Ｉ’ （ＸＩ ｙ）＝Ｉｚ（ｘｔ ｙ）＋Ｉｚ（ｘ、
ｙ）＝２・Ｉｔ（ｘｐｙ） （第５式）％
式％） ＝２ ・Ｄ（ＸＩ ｙ）・Ｉｆ（Ｘ、ｙ）（第６式）と
なる、そこで、このＡ’ （ｘｔ ｙ）を記憶部８に記
憶しておき、偏光状態で測定したＡ（ｘｔｙ）を、割り
算器９により、記憶したＡ’ （ＸＩ ｙ）で割り算す
ると、 Ａ’ （１１ｙ）＝Ａ（ｘ、ｙ）／Ａ’ （ＸＩ ｙ）
＝１／２・（１＋ｃｏｓδ（ｘ）） （第７式）の
ように、光強度分布や検知の感度分布の不均一性の除去
されたインターフェログラムＡ’ （ｘ、ｙ）を得るこ
とができる。
検出する際の検知器感度のＤ−カリティーも考慮する必
要がある。光電検知器７の受光面上で同様に！−７軸を
とる。結像倍率をに倍、検知器受光面の感度分布をＤ
（ＸＩ ｙ）とすると、観測されるインターフェログラ
ム信号Ａ （ｘｅ ｙ）は Ａ（ＸＩ ｙ）＝Ｄ（ｘｔ ｙ） ・Ｉ（ｋＸ＠
ｋｙ）＝Ｄ（ｘｅ ｙ） ・Ｉｔ（ｋｘ、ｋｙ） ・
（１＋ｃｏｓ６（ｘ））（第４式） 一方、第２の偏光子５を非偏光状態におけるＩ（！＊ｙ
）及びＡ（ｘｔ ｙ）を各々Ｉ’ （ｘｔ ｙ）ｔＡ’
（ｘ、ｙ）とすると、 Ｉ’ （ＸＩ ｙ）＝Ｉｚ（ｘｔ ｙ）＋Ｉｚ（ｘ、
ｙ）＝２・Ｉｔ（ｘｐｙ） （第５式）％
式％） ＝２ ・Ｄ（ＸＩ ｙ）・Ｉｆ（Ｘ、ｙ）（第６式）と
なる、そこで、このＡ’ （ｘｔ ｙ）を記憶部８に記
憶しておき、偏光状態で測定したＡ（ｘｔｙ）を、割り
算器９により、記憶したＡ’ （ＸＩ ｙ）で割り算す
ると、 Ａ’ （１１ｙ）＝Ａ（ｘ、ｙ）／Ａ’ （ＸＩ ｙ）
＝１／２・（１＋ｃｏｓδ（ｘ）） （第７式）の
ように、光強度分布や検知の感度分布の不均一性の除去
されたインターフェログラムＡ’ （ｘ、ｙ）を得るこ
とができる。
上記の説明は、光の波長が単一の場合について行ったが
、光が複数の波長あるいは連続した波長分布をもつ場合
も、干渉縞は、各波長成分の干渉縞の和として表わされ
るので同様に成立つ。
、光が複数の波長あるいは連続した波長分布をもつ場合
も、干渉縞は、各波長成分の干渉縞の和として表わされ
るので同様に成立つ。
また、上記においては、第２の偏光子の偏光状態を切替
えたが、これを第１の偏光子で行っても同様の効果が得
られる。
えたが、これを第１の偏光子で行っても同様の効果が得
られる。
更に、上記においては、光電検知器として２次元像を観
測できるものについて説明したが、１次元光電検知器で
も同様の効果が得られることは明白である。
測できるものについて説明したが、１次元光電検知器で
も同様の効果が得られることは明白である。
次に、本発明を干渉分光器に適用した例を第２図により
説明する。
説明する。
被測定光源１から出た光束１０は、コリメーター２によ
って平行平面波１１となり、第１の偏光子３を経てウオ
ーラストンプリズム４に入射する。
って平行平面波１１となり、第１の偏光子３を経てウオ
ーラストンプリズム４に入射する。
前記偏光子３の偏光面は該ウオーラストンプリズム４の
２つの結晶軸の各々に対し４５°の傾角となるように配
置され、該ウオーラストンプリズム４の被屈折作用によ
って２分割される光束１２及び１３の光量を等しくする
。該２分割された光束１２及び１３は第２の偏光子５を
透過する。該偏光子５の偏光面は前記第１の偏光子３の
偏光面に対して９０＠を成すように配置されている。更
に偏光子５は、偏光子切替機構１９によって光路内外に
出入れすることができる。この偏光子５によって、前記
２光束１２及び１３の偏波面が再結合され、干渉縞が前
記ウオーラストンプリズム４内に局在して形成される。
２つの結晶軸の各々に対し４５°の傾角となるように配
置され、該ウオーラストンプリズム４の被屈折作用によ
って２分割される光束１２及び１３の光量を等しくする
。該２分割された光束１２及び１３は第２の偏光子５を
透過する。該偏光子５の偏光面は前記第１の偏光子３の
偏光面に対して９０＠を成すように配置されている。更
に偏光子５は、偏光子切替機構１９によって光路内外に
出入れすることができる。この偏光子５によって、前記
２光束１２及び１３の偏波面が再結合され、干渉縞が前
記ウオーラストンプリズム４内に局在して形成される。
この干渉縞は結像レンズ６によって、−次元マルチチャ
ネル光検知器２０の受光面上に結像され、該−次元マル
チチャネル光検知器２０によって光電変換され、干渉縞
を離散的にサンプリングしたインターフェログラム信号
が得られる。このインターフェログラム信号は、増″巾
器２１で増１０された後、Ａ／Ｄ変換器２２によってデ
ジタル化されマイクロコンピュータ２３に取り込まわる
。
ネル光検知器２０の受光面上に結像され、該−次元マル
チチャネル光検知器２０によって光電変換され、干渉縞
を離散的にサンプリングしたインターフェログラム信号
が得られる。このインターフェログラム信号は、増″巾
器２１で増１０された後、Ａ／Ｄ変換器２２によってデ
ジタル化されマイクロコンピュータ２３に取り込まわる
。
マイクロコンピュータ２３はまず前記偏光子切替機構１
９を制御して第２の偏光子５を光路外に取出し、この状
態で一部元マルチチャネル光検知器２０から得られる出
力信号をバックグランド信号としてバックグランド信号
格納メモリー２４に記憶する０次に再び偏光子切替機構
１９を制御して第２の偏光子５を光路中に差入れ、この
状態で得られるインターフェログラム信号を取込み、こ
の離散的にサンプリングされたインターフェログラム信
号の各点のデータを、前記バックグランド信号の対応す
る点のデータで割り算して補正されたインターフェログ
ラム信号が得られる。この補正されたインターフェログ
ラム信号をフーリエ変換することにより、被測定光Ｒ１
の分光スペクトルを得、記録計２５に記録する。
９を制御して第２の偏光子５を光路外に取出し、この状
態で一部元マルチチャネル光検知器２０から得られる出
力信号をバックグランド信号としてバックグランド信号
格納メモリー２４に記憶する０次に再び偏光子切替機構
１９を制御して第２の偏光子５を光路中に差入れ、この
状態で得られるインターフェログラム信号を取込み、こ
の離散的にサンプリングされたインターフェログラム信
号の各点のデータを、前記バックグランド信号の対応す
る点のデータで割り算して補正されたインターフェログ
ラム信号が得られる。この補正されたインターフェログ
ラム信号をフーリエ変換することにより、被測定光Ｒ１
の分光スペクトルを得、記録計２５に記録する。
第３図（ａ）に白色光による補正前のインターフェログ
ラム信号の一例を示す。このように周辺部で光量が低下
する現象は空間的に干渉縞を形成する干渉計において一
般的に観察される。また。
ラム信号の一例を示す。このように周辺部で光量が低下
する現象は空間的に干渉縞を形成する干渉計において一
般的に観察される。また。
マルチチャネル光検知器の各絵素間の感度バラツキによ
り、インターフェログラム信号全体にわたってランダム
ノイズ様のノイズがＩｌ察される。第３図（ａ）のイン
ターフェログラム信号を直接フーリエ変換して得られる
スペクトルを第４図（ａ）に示す、第３図（ａ）のよう
に歪みのあるインターフェログラム信号から得られるス
ペクトルでは、ゼロの浮上りやＳ／Ｎ比の低下が見られ
る。一方、第３図（ａ）と同一の被測定光源に対して、
第２の偏光子を光路外に取出した状態で得られるバック
グランド信号を第３１！Ｉ （ｂ）に示す０周辺部での
光量低下や、全体に表われるマルチチャネル光検知器の
各絵素間の感度バラツキによるノイズは。
り、インターフェログラム信号全体にわたってランダム
ノイズ様のノイズがＩｌ察される。第３図（ａ）のイン
ターフェログラム信号を直接フーリエ変換して得られる
スペクトルを第４図（ａ）に示す、第３図（ａ）のよう
に歪みのあるインターフェログラム信号から得られるス
ペクトルでは、ゼロの浮上りやＳ／Ｎ比の低下が見られ
る。一方、第３図（ａ）と同一の被測定光源に対して、
第２の偏光子を光路外に取出した状態で得られるバック
グランド信号を第３１！Ｉ （ｂ）に示す０周辺部での
光量低下や、全体に表われるマルチチャネル光検知器の
各絵素間の感度バラツキによるノイズは。
第３図（ａ）中のものと等しい、そこで、このバックグ
ランド信号で、第３図（ａ）のインターフェログラム信
号を割り算すると、第３図（ｃ）のように、これらの不
均一性の除去された歪のない補正インターフェログラム
信号が得られる。この補正されたインターフェログラム
信号をフーリエ変換して得られるスペクトルを第４図（
ｂ）に示す。第４図（ａ）のスペクトルに比べ、歪みや
ノイズの少ないことがわかる。
ランド信号で、第３図（ａ）のインターフェログラム信
号を割り算すると、第３図（ｃ）のように、これらの不
均一性の除去された歪のない補正インターフェログラム
信号が得られる。この補正されたインターフェログラム
信号をフーリエ変換して得られるスペクトルを第４図（
ｂ）に示す。第４図（ａ）のスペクトルに比べ、歪みや
ノイズの少ないことがわかる。
このように本実施例によれば、干渉縞を形成する２平行
平面波が各々の進行方向に垂直な面内で不均一な強度分
布を有していても、またマルチチャネル光検知器の各絵
素間に感度のバラツキが存在していても、これらの影響
を除去した歪のないインターフェログラム信号及びそれ
をフーリエ変換することにより、歪みやノイズの少ない
スペクトルが得ら九る効果がある。
平面波が各々の進行方向に垂直な面内で不均一な強度分
布を有していても、またマルチチャネル光検知器の各絵
素間に感度のバラツキが存在していても、これらの影響
を除去した歪のないインターフェログラム信号及びそれ
をフーリエ変換することにより、歪みやノイズの少ない
スペクトルが得ら九る効果がある。
本発明によれば、干渉縞を形成する２平行平面波が各々
の進行方向に垂直な面内で有する光強度分布の不均一性
や、光電検知器の各絵素間の感度の不均一性による影響
を除去することができ、歪の少ない良好なインターフェ
ログラム信号が得られる効果がある。
の進行方向に垂直な面内で有する光強度分布の不均一性
や、光電検知器の各絵素間の感度の不均一性による影響
を除去することができ、歪の少ない良好なインターフェ
ログラム信号が得られる効果がある。
第１図は本発明の詳細な説明する図、第２図は本発明の
一実施例である干渉分光器のブロック図第３図は本発明
の一実施例で得られる補正前と補正後のインターフェロ
グラム信号及び補正に用いるバックグランド信号を示す
図、第４図は補正前と補正後の各々のインターフェログ
ラムからフーリエ変換して得られるスペクトルの差異を
示す図である。 １・・・被測定光源、２・・・コリメータ、３・・・第
１の偏光子、４・・・ウオーラストンプリズム、５・・
・第２の偏光子、６・・・結像レンズ、７・・・光電検
知器、８・・・記憶部、９・・・割り算器、１０・・・
被測定光源の発する光、１１・・・コリメータによる平
行平面波、１２゜１３・・・ウオーラストンプリズムに
よって分離される２平行平面波、１９・・・偏光子切替
機構、２０・・・−次元マルチチャネル光検知器、２１
・・・増巾器、２２・・・Ａ／Ｄ変換器、２３・・・マ
イクロコンピユーｚ５ −３４ 茅 ３ 目
一実施例である干渉分光器のブロック図第３図は本発明
の一実施例で得られる補正前と補正後のインターフェロ
グラム信号及び補正に用いるバックグランド信号を示す
図、第４図は補正前と補正後の各々のインターフェログ
ラムからフーリエ変換して得られるスペクトルの差異を
示す図である。 １・・・被測定光源、２・・・コリメータ、３・・・第
１の偏光子、４・・・ウオーラストンプリズム、５・・
・第２の偏光子、６・・・結像レンズ、７・・・光電検
知器、８・・・記憶部、９・・・割り算器、１０・・・
被測定光源の発する光、１１・・・コリメータによる平
行平面波、１２゜１３・・・ウオーラストンプリズムに
よって分離される２平行平面波、１９・・・偏光子切替
機構、２０・・・−次元マルチチャネル光検知器、２１
・・・増巾器、２２・・・Ａ／Ｄ変換器、２３・・・マ
イクロコンピユーｚ５ −３４ 茅 ３ 目
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、被測定光源、ウオーラストンプリズム、このウオー
ラストンプリズムの結晶軸に対し４５°の傾角の偏光面
を有し前記ウオーラストンプリズムをはさむ位置に置か
れた２個の偏光子、空間的に形成された干渉図形を検出
する光電検知器から成る偏光干渉計において、前期の一
方の偏光子の特性を偏光と非偏光の間で切替える手段、
前記の一方の偏光子が非偏光状態にて検出した光電検知
器信号を記憶する手段と、前記一方の偏光子が偏光状態
にて検出した光電検知器信号を前記記憶信号で割り算す
る手段を設けたことを特徴とする偏光干渉計。 ２、特許請求範囲第１項記載において、前記一方の偏光
子を光路内外に出し入れする機構栓設けたことを特徴と
する偏光干渉計。 ３、特許請求範囲第１項記載において、前記光電検知器
はマルチチャネル光検知器であることを特徴とする偏光
干渉計。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61094528A JPS62251627A (ja) | 1986-04-25 | 1986-04-25 | 偏光干渉計 |
| US07/042,244 US4732481A (en) | 1986-04-25 | 1987-04-24 | Polarization interferometer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61094528A JPS62251627A (ja) | 1986-04-25 | 1986-04-25 | 偏光干渉計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62251627A true JPS62251627A (ja) | 1987-11-02 |
Family
ID=14112830
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61094528A Pending JPS62251627A (ja) | 1986-04-25 | 1986-04-25 | 偏光干渉計 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4732481A (ja) |
| JP (1) | JPS62251627A (ja) |
Cited By (3)
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|---|---|---|---|---|
| WO1995002171A1 (en) * | 1993-07-10 | 1995-01-19 | Siemens Plc | Improved spectrometer |
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Families Citing this family (10)
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- 1986-04-25 JP JP61094528A patent/JPS62251627A/ja active Pending
-
1987
- 1987-04-24 US US07/042,244 patent/US4732481A/en not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
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|---|---|
| US4732481A (en) | 1988-03-22 |
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