JPS62250174A - 放電電極 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上技術分野） 本発明は放電電極に係り、特にスパッタリング等蒸発源
を飛散させるための放電−電極に１１する。

（従来の技術） 従来、スパッタリング等に用いられターゲラ１−等の蒸
発源を被処理物に飛散させるための放°電電極には、種
々のものが適用されているが、通常、例えば同心円状に
マグネットを配置しこのマグネットの上面に平板状ター
ゲットを配置するようにしたものが用いられている。こ
のような放電電極は、この電極と被処理物との間に高電
圧を印加し、プラズマ放電を発生させることにより、上
記蒸発源の材料を飛散させて被処理物に膜を形成するも
のである。

（発明が解決しようとする問題点） しかし、上記電極においては、部分的にプラズマが発生
するため、蒸発源の飛散個所が均一ではなく、均一な膜
形成を行なうことが困難ぐあった。

また、従来、上記マグネットを偏心回転あるいは往復移
動させてプラズマの発生部分を移動させるようにしたも
のもあるが、完全に均一な蒸発源の飛散を確保すること
ができないという問題があう・た。

本発明は上記した点に鑑みてなされたもので、均一なプ
ラズマ放電を発生させることのできる放電電極を提供す
ることを目的とするものである。

〔発明の構成〕

（問題点を解決するための手段） 上記目的を達成するため本発明に係る放電電極は、ほぼ
同心状にマグネトロンプラズマ放電を発生させる環状の
陰極および陽極部材を、放射状に発生するｒｒＩＩｇＩ
ｉ界内に互いに絶縁しで配設するとともに、上記各電極
部材にそれぞれ放電電源を接続し、上記電極部材の放電
電力をそれぞれ独立してｔＩｌｌｌｌｌするようにして
いる。

（作　用） 本発明は、各放電電源により独立制御しながら環状のプ
ラズマ放電を発生させることにより、広範囲にわたって
均一な放電を行なうようになされている。

（実施例） 以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。

第１図は本発明に係る放電電極をスパッタリング装置に
適用した場合の一実施例を示したもので、ターゲッＩ−
支持体１の上面には、絶縁板２．２・・・を介して複数
のマグネット部材３．３・・・が向心状に配設されてお
り、この各マグネット部材３．３・・・の上面には、そ
れぞれ陰極飛散材料としてのターゲラｔ−４，４・・・
が取付けられている。そして、各マグネット部Ｕ３．３
−・・の固には、ＷＡＡｓ２・・が配置されており、こ
れらマグネット部材３とＦＩＡ極５とは、第２図（ａ）
（ｂ）に示すように、同心円状に配置しても、同心四角
形状に配置してもよい。

上記マグネット部材３は、例えば、互いに対向する２つ
の鉄等の磁性材６．６の門をステンレス等の非磁性＠７
により固定し、上記磁性ｔ４６．６の下端部にマグネッ
ト８を固着することにより形成される。そして、ターゲ
ット４は上記磁性材６の上端部に取付けられ、上記非磁
性材７および磁性材６に囲まれた部分には冷ｉＪ１水が
導通される。

また、上記各マグネット部材３，３・・・には、それぞ
れ独立に放Ｉｆ電源９．９・・・が接続されており、こ
の放電電源９は、高周波Ｗ！ＡＩｇＩでも直流電源でも
よい。

本実施例においては、上記のように構成された放電１１
掻を真空ヂャンバ内に配置し、上記ターゲット４．４・
・・に対向する位置に被処理物（図示せず）を配置する
。そして、各放Ｉｆ電源９．９・・・から各マグネット
部材３．３・−・に高電圧を印加すると、マグネット部
材１により発生ずる磁界と上記電圧印加により発生する
電界とが電文する部分にマグネトロン放電によるプラズ
マが生じる。このプラズマにより、各ターゲット４．４
・・・の林料をイオン化して被処理物に被＠させるもの
である。

このとき、本実施例においては、各マグネット部材３．
３・・・にそれぞれ別個の放電電源９．９・・・が接続
されているので、各ターゲット４，４・・・毎に細かい
放電電力の１ＩＩＩＩｌＩを行なうことができ、したが
って、面内−なプラズマを発生させることがで゛きる。

これにより、例えば第３図に示すように、楡めて均一な
膜厚分布を得ることが可能となり、さらに、各ターゲッ
ト４・・・を異なる物質で形成づるようにすれば、放電
電力を制御することにより、合金物質の膜形成を行なう
ことができる。

〔充用の効果〕

以上述べたように本発明に係る放電電極は、同心状に複
数配置されマグネトロンプラズマ放電を発生さゼる電極
部材にそれぞれ放Ｎ電源を接続し、各電極部材の放電電
力を独立してυＩＩするようにしたので、電極部材を環
状に配置したことにより均一なプラズマ放電が発生し、
さらに、放電電力の綱かい制御を行なうことにより、確
実に均一な放電を得ることができる。また、例えば、ス
パッタリング装置に適用すれば、均一な面蒸５１源とし
て機能し、さらに、各蒸発源を異なる物質ぐ形成すれば
、合金物質の膜形成を行なうこともできる等の効果を奏
する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す１ｌｉｌｌｉ面図、第
２図（ａ）（ｂ）はそれぞれターゲットの配置を示す説
明図、第３図は本発明による放電電極の膜厚分布を示す
線図である。 ３・・・マグネット部材、４・・・ターゲット、５・・
・陽極、９・・・放電電源。 出願人代理人　　佐　　藤　　−雄 第１図 （０）　　　　　　　　　　（ｂｔ 悪２図 躬３　図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ほぼ同心状にマグネトロンプラズマ放電を発生させる環
   状の陰極部材とこれら各陰極部材の間に配置される陽極
   とを、放射状に発生する閉磁界内に互いに絶縁して配設
   するとともに、上記各電極部材にそれぞれ放電電源を接
   続し、上記電極部材の放電電力をそれぞれ独立して制御
   するようにしたことを特徴とする放電電極。