JPS62246446A - 真空チヤツク装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は、たとえば、基板チャック上に基板を真空圧に
より吸着させ、これを高速回転させてレジスト膜を均一
的に塗布するためのスピンコータ、あるいは、露光後の
基板に現像液をがけて現像を行なうためのスピンデベロ
ッパー、さらには、基板をブラシや洗浄液で洗浄するた
めのスピンスクラバーなどに用いられる真空チャック装
置に関する。

（従来の技術） 一般に、この種の真空チャック装置はスピンモータのス
ピン軸にジャケット部を介して真空圧供給源を接続し、
この真空圧供給源により上記スピン軸の吸引孔を介して
基板チャックに真空圧を供給し、基板を真空チャックす
るようになっている。上記ジャラケット部はハウジング
を有し、このハウジング内に上記スピン軸を回転自在に
嵌合させてハウジングの内面とスピン軸の外周面との間
をシールするシールブツシュが設けられている。

ところで、上記スピン軸は高速回転するため、接触部分
があると、接触摩擦により、発熱、摩耗、焼付等のトラ
ブルの危険性がある。このため、上記スピン軸とシール
ブツシュとの間には適度の隙間が持たされ、非接触状態
を確保すように注意が払われてる。上記シールブツシュ
はジャッケト部のハウジングに固定され、ハウジングは
シールブツシュがスピン軸と滑合するよう芯出固定され
ている。このハウジングの取付けに際しては芯出精度を
高めるため、治具を用いて入念に組立て調整を行ない、
かつ、スピン軸の回転振れよるシールブツシュの内壁と
の片当りを馴すため、組立後馴し運転を行ない、片当た
りを取っているが実状である。スピン軸とシールブツシ
ュとの隙間からのリークによる真空圧の低下を最少限に
止どめるため隙間は可能な限り小さくする必要がある。

（発明が解決しようとする問題点） しかしながら、従来においては、スピン軸の回転時の振
れやハウジングの取付は精度その他の結合された精度上
のばらつきに起因して、実用的には０．０２〜０．０３
１ｕ程度の隙間に維持するのが限界である。したがって
、得られる真空圧は真空発生源の真空圧より２０％〜３
０％減の真空圧であり、効率が悪くのその改善が望まれ
ている。

本発明は上記事情に着目してなされたもので、その目的
とするところは、回転軸の回転振れ、さらに精度上のば
らつきを吸収し、回転軸とシール部材との間の隙間を極
力小さくできるようにした真空チャック装置を提供しよ
うとするものである。

〔発明の構成〕

（問題点を解決するための手段） 本発明は上記問題点を解決するために、ハウジングを移
動０在に設けたことを特徴とするものである。

（作用） 駆動モータにより回転軸が回転され、軸振れを生じると
、この軸振れに応じてハウジングが移動し、回転軸とシ
ール部材間の接触による面圧を一定化する。

（実施例） 以下、本発明を第１図および第２図に示す一実施例を参
照して説明する。図中１は駆動モータとしてのスピンモ
ータで、このスピンモータ１はベースＢに固定されてい
る。このスピンモータ１は中空状のスピン軸２を冑し、
このスピン軸２の上端部には基板１３をｉａｚする基板
チャック３が固定装着されている。また、上記基板チャ
ック３の上面部には真空吸着用の溝３ａ・・・が形成さ
れ、これら満３ａ・・・はスピン軸２の中空穴（吸引孔
）２ａと連通している。上記スピン軸２の下端部にはジ
ャッケト部４が設置されている。前記ジャッケト部４は
ハウジング５、シールブツシュ（シール部材）６、スペ
ーサ７および締結部材８，８とで構成されている。上記
シールブツシュ６は上記ハウジング５内に固定的に設け
られ、上記スピン軸２を回転自在に嵌合させている。上
記ハウジング５は締結部材８．８によりスペーサ７．７
を介して上記スピンモータ１の下端面に取付けられ、こ
のスピンモータ１の下端面と上記ハウジング５の上面部
間すなわち、シールブツシュ６の大気側には外部空気が
流通する隙間１２が形成されている。上記スペーサ７．
７はハウジング５の動きが軽く、滑らかになるように摩
擦係数の小さい材料によって成形されている。上記シー
ルブツシュ６は無潤滑で使用可能な軸受材質の材料が用
いられている。上記ハウジング５は上記スピン軸２の径
方向および軸方向に移動できるように上記締結部材８．
８との間に隙間を持って取付けられている。

さらに、上記ハウジング５の下端面には継ぎ手１０およ
び真空圧供給手段Ｋを構成する可とう性の接続配管１１
を介して真空圧発生源（図示しない）が接続されている
。

しかして、真空圧発生源より真空圧が供給されると、真
空圧は接続バイブ１１および継ぎ手１゜を介してハウジ
ング５内に供給されるとともに、スピン軸２の吸引孔２
ａを介して基板チャック３の吸着用溝３ａ・・・に供給
され、基板チャック３上に基板１３が真空チャックされ
ることになる。このとき、ハウジング５の内部５ａは真
空圧であるため、スピン軸２の存在による差圧により、
ハウジング５はスピン軸２に沿って自動調芯作用しつつ
スペーサ７．７側に押付けられる。しかるのち、スピン
モータ１によりスピン軸２が回転されて基板チャック３
が回転される。この回転時にスピン軸２が軸振れすると
、シールブツシュ６を介してハウジング５がラジアル方
向に移動する。したがって、スピン軸２とシールブツシ
ュ６との間の接触による面圧の変化は少なく、現実的に
は０．００２〜０．００３．ｕの隙間でも可能である。

上述した構成によれば、スピン軸２とシールブツシュ６
との隙間はスピン軸２の振れ、さらに精度上のばらつき
に影響されず、極力小さくするこが可能であり、隙間か
らのリークを最小限に押えることができる。

また、スピンモータ１とハウジング５の間の隙間には外
部空気が流通されているため、大気圧に保たれスピンモ
ータ１とシールブツシュ６との間の隙間１２によるリー
クの流れは隙間１２を過つて流れる矢印ハの方向のみで
ある。したがって、スピンモータ１の内部からスピン軸
２の外周部を通っての矢印二で示すような流れはなく、
スピンモータ１の内部の雰囲気を外部に流出させること
がなく、クリーンな雰囲気に保てる。

なお、上記一実施例においては、ジャケット部４をスピ
ン軸２の下端部に接続したが、これに限られず、第３図
および第４図に示すように、ジャケット部４をスピン軸
２の中間部に接続しても、」−記一実施例と同様な作用
効果を奏する。この実施例においては、ハウジング５内
にシールブツシュ６が上下に２個配設され、これらシー
ルブツシュ６．６間から真空圧が供給される。

その他、本発明はその要旨の範囲内で種々変形実施可能
なことは勿論である。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明によれば、回転軸の回転時
に該回転軸が振れると、その振れに伴ってハウジングが
移動し、回転軸がシール部材の内面部に強く片当たりす
ることがない。したがって、回転軸の回転振れ、さらに
精度上のばらつきを吸収することができ、回転軸とシー
ル部材との間の隙間を０．００５〜０．０１１１Ｉ１１
程度に減少させて、シール効果を向上させることができ
、真空圧の低下を５〜１０％程度に低減させることがで
る。しかも、面倒な組立て調整作業や馴し運転等もいら
ないという効果を奏するものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例である真空チャック装置を示
す構成図、第２図はその一部を拡大して示す断面図、第
３図は本発明の他の実施例を示す構成図、第４図はその
一部を拡大して示す断面図である。 １・・・駆動モータ、２ａ・・・吸引孔、２・・・回転
軸、３・・・基板チャック、５・・・ハウジング、６・
・・シールブツシュ（シール部材）、１３・・・基板、
Ｋ・・・真空圧供給手段。 出願人代理人　弁理士　鈴江武彦 第２　図

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）基板チャックに連通する吸引孔を有した回転軸を
   回転させる駆動モータと、前記回転軸を内部に挿入させ
   るハウジングと、このハウジング内に設けられ前記回転
   軸の一部を回転自在に嵌合させ該回転軸とハウジングと
   の間をシールするシール部材と、上記ハウジングに接続
   され上記回転軸の吸引孔に真空圧を供給し、上記基板チ
   ャック上に基板を真空チャックさせる真空圧供給手段と
   を備えてなるものにおいて、上記ハウジングを移動自在
   に設けたことを特徴とする真空チャック装置。
2. （２）ハウジングは回転軸の径方向および軸方向に沿っ
   て移動自在であることを特徴とする特許請求の範囲第１
   項記載の真空チャック装置。
3. （３）シール部材の大気側に外部空気を流通させる隙間
   を形成したことを特徴とする特許請求の範囲第１項また
   は第２項記載の真空チャック装置。