JPS6224302A - 位置決めサ−ボ系の制御方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、磁気記憶装置のヘッドやＤＣモータを使った
ロボット、ボイスコイル・モータで直接駆動される直動
型サーボ弁等の位置決めサーボ系の制御方法に関するも
のである。

［従来の技術］ ＤＣモータやリニア・モータ、ボイスコイル・モータ等
で駆動される位置決めサーボ系は、磁気記憶装置のヘッ
ドの位置決め、多関節ロボットのアームの位置制御、直
動型電気・流体圧サーボ弁のスプールの開度制御、その
他多くの情報機器、産業機械の駆動部に使用されている
。

第１５図はその一例でバルブ・ボディ１に固定された永
久磁石６とスプール３に固定された可動型コイル５　（
これをボイスコイル・モータと称する）により、スプー
ル３を直接駆動する直動型電気・流体圧サーボ弁の例で
ある。バルブ・ボディ１内に嵌装したスリーブ２内にス
プール３が摺動自在に収められ、その一端には可動型コ
イル５の巻かれたボビン４が固着されている。

又、バルブ・ボディ１には前記可動型コイル５に対して
磁気回路を形成するように永久磁石６が取付けられてお
り、可動型コイル５に通電することにより、永久磁石６
の作る磁場と可動型コイル５に発生する磁場との関係に
より、スプール３は駆動され、バルブ・ボディ１内に設
けられた流体路を所望の状態に連通ずるようになってい
る。

更に、スリーブ２に対するスプール３の位置決めを行う
ため、スプール３の他端にはスプール３の位置を検出す
る変位計７が設けられ、該変位計７からの位置信号８は
、可動型コイル５に駆動電流を供給するサーボアンプ９
の入力側に負帰還され、スプール３の定位性を保つよう
にフィードバック制御系が構成されている。位置信号８
以外にも、速度計１０を設けて速度信号１１もサーボア
ンプ９へ負帰還しているのは、後述のように制御対象（
ここではスプール３）にダンピングをかけるためで゛あ
る。゛図中１２は設定値、１３は指令信号、Ｐｓは供給
ボート、ＰＴは戻りボート、ＰＡ、Ｐａは制御ボートで
ある。

このようなボイスコイル・モータは磁気ディスクのヘッ
ドの駆動部にも使用されている。

第１５図の装置をモデル化すると第１６図のようになり
、可動部であるスプール３をボイスコイル・モータの駆
動力Ｆで動かし、ばね１４で位置決めをするものとなる
。釣合い位置からのずれがあると、ばね１４の復元力が
釣合いの方向に働ぎ、その大きさはずれ量に比例する。

第１５図の直動型電気・流体圧サーボ弁では、ばね−の
代りに変位を変位検出器７で測定し、それを電気的に力
に変換している。

ところで、制御対象、つまりスプール３の位置決めの応
答性及び位置決めの制度を上げるためには次のことが重
要となる。

■　可動部の重量を小さくすること。

■　フィードバックのゲインを高くすること。

■、■は制御対象の固有振動数を高くすることを意味す
る。

■　適当な制動（ダンピング）が働くこと。

すなわち、経世になれば同じモータでも対象を速く動か
すことができるし、位置帰還のゲインを高くすれば、先
に述べたばねの復元力が大きくなり、目標値からずれて
も速く元に戻すことができる。又、制動を働かせれば、
振動の持続を防止し、スプール３の位置を速く目標値に
落着かせることができる。

上記■、■、■の要求に応えるには次のことが必要とな
る。

■′駆動される制御対象（例えば、第１５図のスプール
３や磁気ディスクのヘッド等）の重量を軽くしたうえで
、剛性を落とさないこと。

■′制御系の前向きループ内の応答遅れを小さくするこ
と、具体的には、駆動モータのインダクタンスを小さく
すること。

■′積極的にダンパー等の制動機構を設けること。

ところが、■′■′については、計画、設計段階の綿密
な検討で最大限の努力をしても、剛性やモータの性能限
界から意のままにならないことが多く、又■′について
は取付はスペースの確保が難しいことや、コストアップ
を招く等の問題点があった。

以上述べたことは、第１５図の直動型電気・流体圧サー
ボ弁以外にも、ＤＣモータやリニア・モータ、ボイスコ
イル・モータ等で位置決めをする磁気ディスク、プリン
タ、ＸＹプロッタ等の情報機器、ＮＣ工作機械や産業用
ロボット等の産業機械の位置決めサーボ系では一般的に
言えることであり、このため従来からいくつかの制御的
な解決策が提案されて来た。

斯かる制御的な解決策を説明するために、先ず、位置決
めサーボ系の一般的な構成を第１７図に示す。これは、
先に述べた磁気ディスク等の情報機器、直動型電気・流
体圧サーボ弁等の産業機械一般に共通である。

第１７図において制御対Φの位置決めの目標値Ｖｒは変
位計１５によって測定された制御対象の実際の位置を示
す変位信号Ｖｘと比較演算器１６で比較減算され、偏差
信号Ｖｅ’Ｖｒ＝Ｖｘが作られる。この偏差信号Ｖｅは
演算増幅器１１で適正に増幅されて信号ＶＡ’　となり
、速度計１８による速度交の検出信号Ｖｃと比較演算器
１９で比較減算されて信号ＶＡとなり、更に電力増幅器
２０で増幅されてモータ２１を駆動する指令電流ｉとな
る。モータ２１はこの指令電流ｉに゛比例した駆動力Ｆ
を発生し、質量ｍの制御対象は動きはじめる。そのとき
の制御対象の変位Ｘは図中に示したように、加速度Ｘを
２回積分したものとして表され、変位計１５によって検
出され、先に述べたように目標値Ｖｒと比較される。目
標値■「と制御対象２２の変位信号■×が一致すると、
偏差Ｖｅは零となり、モータ２１の指令電流１が零とな
るので制御対象は静止し、位置決めが完了する。

又、制御対象の速度交を速度計１８で検出して負帰還し
ているのは、制動（ダンピング）をかけるためである。

なお、第１７図中の２３は制御対象の特性を表している
。

しかし、このような制御対象２３を高速で動かそうとす
ると、機械系の固有振動により限界を持ち、第１８図に
示すように残留振動が発生しやすくなることが知られて
いる。これに対して、一般的に行われている速度を検出
して制御対象にダンピングをかける方法は、モータの、
応答遅れ等により限界を持ち、より簡単な解決策が望ま
れている。

今、ステップ状の目標値に制御対象を追従させる場合を
考えると、より簡単な方法として、第１９図（イ）（ロ
）Ｑ＼）に示すように、目標値であるステップ入力を２
つに分け、１つ目のステップ入力印加後２つ目を振動波
形の半波長相当だけ時間を遅らせて加えて逆位相の振動
を発生させ、もとの振動と互いに打消し合わせる方法が
すでに知られている。

第１９図（イ）　＜Ｕ）　（／＼）では、先ず目標値ｒ
より小さいステップ人力ｒ１を目標値Ｖｒ　　（第１７
図参照）として印加し、１時間後に更にｒｌなるステッ
プ入力を印加する（第１９図（イ））。ここでｒ＝ｒｌ
　＋ｒ２である。そうすると、ｒｌ　、ｒｌによる個々
の応答は第１９図（ロ）に示すように振動性のものとな
るが、ステップ入力ｒ、とｒｌの印加時点が振動周期の
半波長相当の時間Ｔだけずれているため、互いの振動は
逆位相となり、結果的に第１９図（７ｋ＞のようにステ
ップ応答の振動は消える。

ところで、このような方法は本発明者の検討によると、
ステップ人力Ｊｉ　ｒ　＋　とｒｌの割合及び印加時点
の王の決め方が難しいうえ、制御対象が第１６図のモデ
ルのような線形の二次振動系（質量、ばね系）の場合以
外は理想的な防振効果を得ることができない、等の問題
があることが判明した。実際の位置決めサーボ系では、
第１７図に示したようにモータ２１による伝達遅れの特
性が機械の動きに重なるうえ又ディスクのへラドやサー
ボ弁のスプール等の摺動部に非線形要素である固体摩擦
が存在すること、等により第１９図（イ）（ロ）ＱＯに
示す方法は予想以上にその効果が低いのである。

［発明が解決しようとする問題点］ 本発明は上述の実情に鑑み、特に速度信号をフィードバ
ック信号として用いず入力にある操作を施すことで持続
振動が発生するのを防止し、高応答、高精度のサーボ系
を実現すること、加えてこれを簡単且つ安価に行うこと
を目的としている。

［問題点を解決するための手段］ 本発明では、目標値である入力信号と制御対象の出力信
号である制御されるべき口とを比較演算して偏差を求め
、該偏差を増幅器を通してモータに送り該モータを作動
せしめ、制御対象であるサーボ弁のスプールや磁気ディ
スクのヘッド等の位置を制御する位置決めサーボ系にお
いて、目標値を変化させたとき、ある一定時間後に補正
用の入力を加え、前記位置決めサーボ系に発生する減衰
の悪い振動を防振すると同時に、応答を高めるようにし
ており、更に、そのようにして作った補正用の入力の形
状に着目して、補正用の入力を位置決めサーボ系の中か
ら取り出すようにしている。

［作　　用］ 従って、゛本発明では、目標値を変化させたとき、所定
の時間経過後に補正用の入力が加えられ、制御対象たる
機械系の持続振動が防出され、安定且つ高速に機械は目
標値に到達する。

［実　施　例］ 以下、本発明の実施例を添付図面を参照しつつ説明する
。

先ず、本発明の原理について第１図により説明すると、
目標＜６　ｒを与え、一定時間Ｔｏ後にｒ３なる小さな
補正用のステップ入力を与える。

こうすれば、制御対象の変位Ｘの目標値ｒに対する動き
を見たうえで、ステップ人力　ｒ３を入れるタイミング
Ｔｏを決められるので、第１９図の（イ）〜Ｑ’＝＞の
従来の方法に比べて調整が非常に容易になる。更にｒ３
は種々の目標１ｉｉｒに対して略同定直でも実用上問題
のないことも確認されているが、更に高成績を得るため
には、ｒ３−０．３ｒ　−０，５ｒとなるようにその印
加量を自動的に変更すれば良い。なお、このままでは制
師対象の変位Ｘはｒ＋ｒ３になってしまうため、補正用
のステップ人力ｒ３は適当な時間の経過１Ｍ零になるよ
うにしている。

このように、実際の制御対象は前述のように非線形要素
を含むため（入力の大きさによって応答の様子が変化す
る）、従来例のようにｒより小さいｒｌを与えるのでは
なく、真の目標値ｒを与えてＩＩＪ　Ｉ１１対象の動き
を見た後、補正入力を与えるようにすれば、第１図の実
機の制御対象の変位の動きが示すように、応答時間を速
くしたうえで振動を防止することができる。

第２図は第１図の原理を具体化した第１５図の位置決め
サーボ系の目標値を与える入力部の第１例であり、図中
３１はスイッチ、３２は遅延回路、３３は関数回路、３
４．３５は加減算器である。　第２図において、スイッ
チ３１をオンすると、目標値ｒがサーボアンプ９に入力
され、補正用のステップ人力ｒ３は設定された時間Ｔｏ
だけ遅らされて遅延回路３２から加減算器３４に送られ
、又同時に関数回路３３からは第３図（イ）（ロ）Ｑ＼
）の何れかに示すような最大値がｒ３となる関数ｒｔが
加減算器３４に送られてステップ人力ｒ３から減算され
、その信号はｒ３−ｒｔとして加減算器３５に送られ、
加減棒器３５で加算されてｒ＋ｒ３−ｒｔが目標１ｉｉ
ｉ１２としてサーボアンプ９に送られる。関数回路３３
の関数が第３図（イ）の場合には補正用の入力ｒ３は第
１図に示すように減衰し、関数が第３図（ロ）？９の場
合でも補正用の入力は減衰し、最後は零になる。

サーボアンプ９からは第１５図に示されているサーボ弁
に指令信号が与えられ、該サーボ弁１１はｒ＋ｒ３−ｒ
ｔの信号により制御され、制御対象であるスプール３は
第１図に示すように１１１１制御される。

第１図のステップ人力ｒに一定時間Ｔｏ後に上乗せした
補正入力の形状を第４図（イ）（ロ）Ｑ＼）に示す。第
３図（イ）（ロ）Ｑ＼）に示した関数ｒｊの選び方によ
り、＄４図（イ）（ロ）Ｑ（）のような補正入力の形状
が決まる（第３図（イ）〜（／ｋ）に示した関数以外に
も、一定時間後に零に減衰する関数であればこれ以外の
ものであっても良いことは言うまでもない）。

ところで、第４図（イ）〜Ｑ＼）のような形状をした信
号であれば、どのような信号でも、補正入力として使え
ることに本発明者は気付き、次に示すような４つの方法
のどれもが有効であることを、理論検討及び実機への適
用から確認した。

これらの方法は、どれも位置決めサーボ系が、目標値で
あるステップ人力ｒを受けて動き出した結果派生する信
号を使うので、ステップ人力ｒの大きさに応じて自動的
に補正入力の大きさｒ３　（第４図（イ）〜Ｑｓ＞　＞
が変わり、第１図から第３図（イ）〜Ｑ＼）までで示し
た本発明の基本実施例よりも、実機への適用が容易であ
るという特徴を持っている。

以下、順次説明する。

第１５図のスプール３の変位Ｘは第５図（イ）に示すよ
うになり、対応する速度Ｘは第５図（ロ）に示すような
波形となる。これは第４図（イ）〜（／（）に示した補
正用の入力に形状が似ているので、これを代用して補正
することができる。第６図はスプール３の速度質を補正
用のステップ入力として使用した場合の入力部の構成例
で、実施例の第２のものである。図中３６は速度計、３
７は演算増幅器を示している。

速度計３６で検出された速度Ｘの信号は演算増幅器３７
で適正に増幅されて遅延回路３２に送られ、目標値ｒが
サーボアンプ９に入力されてから時間Ｔ。たけ遅らされ
て速度文の信号が加減算器３５に送られ、該信号は加減
算器３５で目標値ｒに加算され、その信号がサーボアン
プ９へ送られる。以降の作用は第１図で説明したのと同
様である。

第７図は補正用入力を作る第３の方法である。

制御対象の速度Ｘは第４図（ロ）に示すような形状をし
ているが、これをサンプリング周期Ａｔｓによりサンプ
リングすると第７図に示すようなサンプリングホールド
された信号３８が得られる。

而してこれを補正用のステップ入力信号として使用する
ことができる。第８図は第７図のサンプリングホールド
された信号３８を補正用のステップ入力として使用した
場合の入力部の構成例で、図中３９はサンプルホールド
回路である。

制御対象３の速度文は速度計３６で検出され、演算増幅
器３７で適正に演算増幅された後、設定されたサンプリ
ング周期Ｊｔｓごとにサンプルホールド回路３９でサン
プルホールドされ、該信号は加減算器３５へ送られて目
標値ｒと加算される。而して１サンプルホ一ルド回路３
９にサンプリングされる信号は最初のサンプリング区間
で零であるので、サンプルホールド回路３９からは１３
ｔｓだけ遅延した小さなステップ入力列が出力される。

従って１，７ｆｆｔｓを適当に選ぶことによって第６図
の遅延回路３２を設けたと同様の機能を果たせることが
できる。

第９図（イ）（ロ）、第１０図は補正入力を作る第４の
方法である。ステップ入力に応答したスプール３の変位
Ｘは第９図（イ）のようになるが、ある一定の時間間隔
ｌＵｔでサンプリングして、変動分のＪＸを求め、該変
動分ΔＸを時間間隔Δｔで割ると、すなわちＡＸ／Ａｔ
を求めると、これは時間間隔Δを間の平均速度を表わす
。今、Ａｔは一定だから変動分Ｊｘはスプール３の速度
質に比例する信号となり、この変動分ａＸを図示すると
第９図（ロ）に示すような形状になる。従ってこれを補
正用のステップ入力信号として使用することができる。

第１０図はこの変動分Ａｘを補正用のステップ入力信号
として使用した場合の入力部の実施例で、図中４０は変
位計、４１は演算器、４２は演算増幅器である。

変位計４０により検出された制御対象の変位は設定され
た時間間隔Δｔごとに変動分　ＡＸが演算器４１で演算
され、該変動分Ａｘは適正に演算増幅器４２で増幅され
、加減算器３５に送られ、目標値ｒと加算され、サーボ
アンプ９へ送られる。ステップ人力ｒ印加後一定時間は
第９図（イ）の変位Ｘの波形を見ると分るように変動分
Ａｘは零であるので、演算器４１からは一定時間だけ遅
延して信号が出力される。従ってサンプリングする時間
間隔Δｔを所定の値に選ぶことにより、遅延回路を設け
たと同様の機能を果たさせることができる。

第１１図は、上述の演算速度信号を補正用のステップ入
力として使用した場合のステップ応答の例で、第１８図
に見られる撮動が消えていることがわかる。

第１２図（イ）〜（／−）、第１３図は、補正入力を作
る第５の方法である。第１１図に示した位置決めサーボ
系において、目標値Ｖｒど制御対象の実際の位置を示す
信号Ｖ×との偏差信号Ｖｅ　　（或いは比較演算器１９
の出力Ｖ＾、電力増幅器２０の出力ｉでも同様である。

）をよ、第１２図Ｑ＼）に示す形状をしている。これは
第４図（イ）に示した補正用の入力と略同様の形状をし
ているので、これを補正用の入力として使うことができ
る。第１３図はこの場合の入力部の構成例で、位置決め
サーボ系の制ｔ１１装置より取り出された偏差信号Ｖｅ
は、演算増幅器３７で適正に増幅されて遅延回路３２に
送られ、目標ＩＵ　ｒがサーボアンプ９に入力されてか
ら時間Ｔｏだけ遅らされて嘔差信号Ｖｅが加減惇器３５
に送られ、該信号は加減算器３５で目標値ｒに加算され
、その信号がサーボアンプ９へ出力される。以降は、す
でに説明した通りである。

以上の各実施例では目標値としてステップ入力を印加す
る場合について説明したが、一般に情報機器や産業用ロ
ボット等では第１４図（イ）（ロ）に示す三角形の速度
基準曲線や放物線の速度基準曲線を与えて位置決めを行
なう。この場合、位置の目標値としてステップ入力の代
わりに各々（Ａ）　Ｇ：）に示す形状の曲線を与えたこ
とに相当するが、このようにしても本゛発明は適用でき
る。

なお、本発明の実施例においては、位置決めサーボ系の
例として、ボイスコイル・モータで駆動される直動型電
気・流体圧サーボ弁の場合について説明したが、磁気デ
ィスクのヘッドやＮＣ工作機械の制御系など第１１図の
構成を持つ全ての位置決め制御系に適用が可能であるこ
と、第５図から第１３図までに示した実施例では任意の
形状の目標値入力に対して適用できること、その他、本
発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々変更を加え得るこ
と、等は勿論である。

［発明の効果］ 本発明の位置決めサーボ系の制蓼方法によれば、制御対
象となる機械系の特性に影響されることなく該機械系に
持続振動が発生するのを防止でき、高応答、高精度のサ
ーボ系を実現することが可能であり、しかも簡単な方法
で行えるのでこれを装置化した場合の価格が安価となる
、等種々の優れた効果を奏し得る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の方法の原理を説明するためのグラフ、
第２図は第１図の原理を使用して制御を行う本発明方法
の制御ブロックの説明図、第３図（イ）（ロ）Ｑ＼）は
第２図の制御ブロック中の関数回路に設定される関数の
例の説明図、第４図（イ）（ロ）（Ａ＞は補正入力とし
て使用できる信号の形状を示す説明図、第５図（イ）は
本発明の方法を適用する機械系の変位と時間変化を示す
グラフ、第５第６図は第５図（ロ）の速度を補正用の入
力として図（ロ）は同速度と時間との関係を表わすグラ
フ、使用する場合の本発明方法の制御ブロックの説明図
、第７図は本発明の方法を適用する機械系フ、−第８図
は第７図のサンプルホールドした速　　　　　　。 の速度をサンプルホールドした場合のサンプルホールド
した速度と時間との関係を表わすグラ度を補正用のステ
ップ入力として使用する場合の本発明方法の制御ブロッ
クの説明図、第９図（イ）は本発明の方法を適用する機
械系の変位差を　　　　　　。 所定の時間間隔で求める場合の変位と時間との関係を表
わすグラフ、第９図（ロ）は同求めた変動　−−７′！
″１′″ｆ！ｌ＆（７）ｉｌ［ｅＩｔ）ｔ７ｗ７・１則
°“ｉｔ　　　　ｉ。 ９図（０）の差分ΔＸを補正用の入力として使用す　　
　　　　、る場合の本発明方法の制御ブロックの説明図
、第１１図は演算速度信号による上乗せ分で補正人７８
、。。Ｈ％　（７）ＩＪ　ＩＩＩ　’Ｉｔ　１”ｉ。７
５．８゜８え、　　。 方法による実機のステップ応答を示すグラフ、第１２図
（イ）（ロ）ＱＯは偏差信号Ｖｅの形状を示す説明図、
第１−３図は偏差信号Ｖｅを補正用の入力として使用す
る場合の本発明方法の制御ブロックの説明図、第１４図
（イ）（ロ）は目標値として与えられる速度基準曲線の
グラフ、第１４図Ｑ＼）仁）は第１４図（イ）（ロ）の
速度基準曲線を変位の目標値に変換したグラフ、第１５
図は直動型電気・流体圧サーボ弁の位置決めサーボ系の
説明図、第１６図は第１５図の装置をモデル化した場合
の説明図、第１７図は第１５図の装置のスプールの位置
を制御する場合の位置決めサーボ系の制御ブロックの説
明図、第１８図は第１５図の装置でスプールの制御を行
った場合の変位の時間変化を表わすグラフ、第１９図（
イ）（ロ）（場は機械系の撮動波形に対してステップ入
力を２つに分け、２つ目のステップ入力を半波長相当だ
け時間を遅らせて加えて振動を防ぐ従来方法説明用のグ
ラフである。 図中１はバルブ・ボディ、２はスリーブ、３はスプール
、４はボビン、５は可動型コイル、６は永久磁石、９は
サーボアンプ、７，１５．４０は変位計、１６は比較演
算器、７は演算増幅器、１８は速度計、１９は比較演算
器、２０は電力増幅器、２１はモータ、２３は制御対象
の特性、３１はスイッチ、３２は遅延回路、３３は関数
回路、３４．３５は加減算器、３６は速度計、３７は演
算器増幅器、３つはサンプルホールド回路、４０は変位
計、４１は演算器、４２は演算増幅器を示す。 特　　許　　出　　願　　人 石川島播磨重工業株式会社 奥 口 Ｌ′１″１Ｌ− Ｏで− 囚 ＼才 ！１” 峡 快

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）目標値である入力信号と制御対象の出力信号である
   制御されるべき量とを比較演算して偏差を求め、該偏差
   を増幅器を通してモータに送り該モータを作動せしめ、
   偏差が小さくなるようにモータの出力と方向とを制御す
   る位置決めサーボ系において、目標値である入力信号を
   変化させたとき、ある一定時間後に補正用の入力を加え
   、前記位置決めサーボ系に発生する振動を防振すると同
   時に応答を高めることを特徴とする位置決めサーボ系の
   制御方法。 ２）目標値である入力の印加後、ある一定時間後に補正
   用の入力を加え、該補正用の入力を一定時間経過後零と
   する特許請求の範囲第１）項に記載の位置決めサーボ系
   の制御方法。 ３）前記補正用の入力の大きさ若しくは入力の印加時点
   の少くとも一方、或は両方を同時に、目標値の大きさに
   応じて変える特許請求の範囲第１）項若しくは第２）項
   に記載の位置決めサーボ系の制御方法。 ４）前記補正用の入力として、制御対象の速度を入力部
   に正帰還させたものを用いる特許請求の範囲第１）項記
   載の位置決めサーボ系の制御方法。 ５）前記補正用の入力として、制御対象の速度を検出し
   、該信号をサンプルホールド回路を通して処理し、該サ
   ンプルホールド回路の出力を入力部に正帰還させたもの
   を用いる特許請求の範囲第１）項に記載の位置決めサー
   ボ系の制御方法。 ６）前記補正用の入力として、予め設定された所定の時
   間間隔で制御対象の変位の差分を求め、この信号を入力
   部に正帰還させたものを用いる特許請求の範囲第１）項
   に記載の位置決めサーボ系の制御方法。 ７）前記補正用の入力として、目標値である入力信号と
   制御対象である出力信号との偏差を入力部に正帰還させ
   たものを用いる特許請求の範囲第１）項に記載の位置決
   めサーボ系の制御方法。