JPS62238490A - 精密調整テ−ブル - Google Patents
精密調整テ−ブルInfo
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- JPS62238490A JPS62238490A JP8153786A JP8153786A JPS62238490A JP S62238490 A JPS62238490 A JP S62238490A JP 8153786 A JP8153786 A JP 8153786A JP 8153786 A JP8153786 A JP 8153786A JP S62238490 A JPS62238490 A JP S62238490A
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- Japan
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- centering
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- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 9
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 6
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 6
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 3
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 3
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000003909 pattern recognition Methods 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は表面形状測定器等に使用される精密調整テーブ
ルに関する。
ルに関する。
従来、表面形状を測定する測定機には表面粗さ計や真円
度測定機などが知られているが、これらは表面の一断面
の情報を与えるにすぎなかった。
度測定機などが知られているが、これらは表面の一断面
の情報を与えるにすぎなかった。
このため、従来の精密調整テーブルは一断面に対する芯
出しと傾きを調整すればよく、必ずしも三次元的に芯出
し及び傾きを調整する必要はなかった。しかし、表面の
形状を三次元のパターン認識として測定する表面形状測
定器には三次元の精度が必須のものであり、精度のよい
調整テーブルの開発が望まれていた。
出しと傾きを調整すればよく、必ずしも三次元的に芯出
し及び傾きを調整する必要はなかった。しかし、表面の
形状を三次元のパターン認識として測定する表面形状測
定器には三次元の精度が必須のものであり、精度のよい
調整テーブルの開発が望まれていた。
しかしながら、芯出しと傾きの調整は、各々の調整が互
いに影響すると共に、被測定物の一断面のみの芯出しと
傾きでないため、調整が煩雑で何度も繰返して行なわな
ければならなかった。
いに影響すると共に、被測定物の一断面のみの芯出しと
傾きでないため、調整が煩雑で何度も繰返して行なわな
ければならなかった。
本発明は上記の問題点に鑑み創案されたもので、精度が
よく、コンパクトで簡易な精密調整テーブルを提供する
ことを目的とする。
よく、コンパクトで簡易な精密調整テーブルを提供する
ことを目的とする。
〔問題点を解決するための手段及びその作用〕上記の問
題点を解決するため、本発明においては、テーブルとテ
ーブル取付台の間に芯出し調整機構と傾き調整機構を有
する精密調整テーブルにおいて、前記芯出し調整機構は
前記テーブル取付台の周壁に螺合された芯出し調整ねじ
部材と、該芯出し調整ねじ部材に釣合う方向に取付けら
れた芯出しバネ部材と、前記テーブル取付台上部に設け
られ該芯出し調整ねじの調整により前記テーブルを載置
して移動する芯出しスライドとから構成すると共に、前
記傾き調整機構は前記テーブルの周壁に螺合された傾き
調整ねじ部材と、該傾き調整ねじ部材に釣合う方向に取
付けられた傾き調整ハネ部材と、前記テーブル取付台上
部に設けられ前記テーブルを載置し該テーブル背面下で
揺動可能な球面部材とから構成し、前記芯出し調整機構
と前記傾き調整機構を各々独立させたことを特徴とする
。
題点を解決するため、本発明においては、テーブルとテ
ーブル取付台の間に芯出し調整機構と傾き調整機構を有
する精密調整テーブルにおいて、前記芯出し調整機構は
前記テーブル取付台の周壁に螺合された芯出し調整ねじ
部材と、該芯出し調整ねじ部材に釣合う方向に取付けら
れた芯出しバネ部材と、前記テーブル取付台上部に設け
られ該芯出し調整ねじの調整により前記テーブルを載置
して移動する芯出しスライドとから構成すると共に、前
記傾き調整機構は前記テーブルの周壁に螺合された傾き
調整ねじ部材と、該傾き調整ねじ部材に釣合う方向に取
付けられた傾き調整ハネ部材と、前記テーブル取付台上
部に設けられ前記テーブルを載置し該テーブル背面下で
揺動可能な球面部材とから構成し、前記芯出し調整機構
と前記傾き調整機構を各々独立させたことを特徴とする
。
上記構成を採用したことにより、芯出し、傾きの調整が
容易に迅速に、且つ精度よく行うことができた。
容易に迅速に、且つ精度よく行うことができた。
以下、本発明の精密調整テーブルを表面形状測定機に適
用した一実施例について図面に基づき説明する。
用した一実施例について図面に基づき説明する。
第１図は表面形状測定機の正面図、第２図は表面形状測
定機の側面図（第１図■矢視図）、第３図は表面形状測
定機の平面図、第４図は精密調整テーブルの平面図、第
５図は精密調整テーブルの平面断面図、第６図は第４図
のＶＩ−ＶＩ断面図、第７図は第４図の■−■断面図で
ある。
定機の側面図（第１図■矢視図）、第３図は表面形状測
定機の平面図、第４図は精密調整テーブルの平面図、第
５図は精密調整テーブルの平面断面図、第６図は第４図
のＶＩ−ＶＩ断面図、第７図は第４図の■−■断面図で
ある。
第１図乃至第３図に示す如く、表面形状測定機１のベッ
ド２上の一方側には被測定物を測定するための回転型の
精密調整テーブル３が設けられ、他方側に表面形状測定
機１の本体１ａが配置されている。本体１ａは三次元的
に自動で摺動できるようにＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸をもち、各
軸端に各々Ｘ軸サーボモータ４．Ｙ軸サーボモータ５．
Ｚ軸サーボモータ６を備えている。即ち、ベッド２のガ
イド２ａ上にはテーブル７がＸ軸方向に図示しない公知
の回転伝達機構と連結機構を介して摺動可能に設けられ
ている。また、前記テーブル７のガイド７ａ上にはコラ
ム８がＹ軸方向に回転伝達機構と連結機構を介して摺動
可能となっている。そして、前記コラム８のガイド８ａ
上にはセンサヘッド９がＺ軸方向に回転伝達機構と連結
機構を介して摺動可能に設けられている。
ド２上の一方側には被測定物を測定するための回転型の
精密調整テーブル３が設けられ、他方側に表面形状測定
機１の本体１ａが配置されている。本体１ａは三次元的
に自動で摺動できるようにＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸をもち、各
軸端に各々Ｘ軸サーボモータ４．Ｙ軸サーボモータ５．
Ｚ軸サーボモータ６を備えている。即ち、ベッド２のガ
イド２ａ上にはテーブル７がＸ軸方向に図示しない公知
の回転伝達機構と連結機構を介して摺動可能に設けられ
ている。また、前記テーブル７のガイド７ａ上にはコラ
ム８がＹ軸方向に回転伝達機構と連結機構を介して摺動
可能となっている。そして、前記コラム８のガイド８ａ
上にはセンサヘッド９がＺ軸方向に回転伝達機構と連結
機構を介して摺動可能に設けられている。
センサヘッド９の先端にはイケール１０が設けられ、該
イケール１０の先端に一取付は例としてのセンサ１１が
取付けられている。該センサ１１はちょうど前記精密調
整テーブル３の直上に配置される。
イケール１０の先端に一取付は例としてのセンサ１１が
取付けられている。該センサ１１はちょうど前記精密調
整テーブル３の直上に配置される。
また、精密調整テーブル３の背後には、該精密調整テー
ブル３を回転させるためのサーボモータ１２が取付けら
れ、タイミングベルト１３により精密調整テーブル３内
部に接続されている。該サーボモータ１２は角度割出し
が可能なものである。
ブル３を回転させるためのサーボモータ１２が取付けら
れ、タイミングベルト１３により精密調整テーブル３内
部に接続されている。該サーボモータ１２は角度割出し
が可能なものである。
なお、１４はセンサヘッド９をワイヤを介して吊るすバ
ランスウェイトである。
ランスウェイトである。
そして、本発明の精密調整テーブル３は第４図乃至第７
図に示す如く、次のように構成されている。
図に示す如く、次のように構成されている。
即ち、この精密調整テーブル３はテーブル１５とテーブ
ル取付台１６の間に各々はぼ独立して調整することがで
きるように芯出し調整機構と傾き調整機構とを有してい
る。
ル取付台１６の間に各々はぼ独立して調整することがで
きるように芯出し調整機構と傾き調整機構とを有してい
る。
まず、芯出し調整機構について第５図および第６図に基
づいて説明する。前記テーブル取付台１６の周壁１６ａ
のＸ方向およびＹ方向にはテーブル１５のバカ孔１５ａ
、１５ｂを貫入して二つの芯出し調整ねじ１７．１８が
螺合されている。一方、Ｘ、Ｙ両方向の芯出し調整ねじ
１７．１８と釣り合う１３５度離れたテーブル取付台１
６０周壁１６ａには、同じくテーブル１５のバカ孔１５
Ｃを貫入して圧縮バネ１９が内蔵されたねじ部材２０が
設けられている。前記テーブル取付台１６上には第１ス
ライド２１と第２スライド２２が設けられ、前記芯出し
調整ねじ１７．１８と圧縮バネ１９の先端が第２スライ
ド２２の端部に当接している。前記第１スライド２１の
Ｘ方向およびＹ方向にはガイドピン２３．２３及び２４
．２４が埋め込まれ、その先端が各々テーブル取付台１
６および第２スライド２２のガイド溝２５，２５及び２
６．２６に遊嵌されている。該ガイド溝２５゜２５はＸ
方向に長く、２６．２６はＹ方向に長く刻設されていて
、Ｘ方向の調整の時は調整ねじ１７によってテーブル取
付台１６上を第１スライド２１の下面がＸ方向に摺動し
、Ｙ方向の調整の時は調整ねじ１８によって第１スライ
ド２１上を第２スライド２２の下面がＹ方向に摺動する
ように構成されている。
づいて説明する。前記テーブル取付台１６の周壁１６ａ
のＸ方向およびＹ方向にはテーブル１５のバカ孔１５ａ
、１５ｂを貫入して二つの芯出し調整ねじ１７．１８が
螺合されている。一方、Ｘ、Ｙ両方向の芯出し調整ねじ
１７．１８と釣り合う１３５度離れたテーブル取付台１
６０周壁１６ａには、同じくテーブル１５のバカ孔１５
Ｃを貫入して圧縮バネ１９が内蔵されたねじ部材２０が
設けられている。前記テーブル取付台１６上には第１ス
ライド２１と第２スライド２２が設けられ、前記芯出し
調整ねじ１７．１８と圧縮バネ１９の先端が第２スライ
ド２２の端部に当接している。前記第１スライド２１の
Ｘ方向およびＹ方向にはガイドピン２３．２３及び２４
．２４が埋め込まれ、その先端が各々テーブル取付台１
６および第２スライド２２のガイド溝２５，２５及び２
６．２６に遊嵌されている。該ガイド溝２５゜２５はＸ
方向に長く、２６．２６はＹ方向に長く刻設されていて
、Ｘ方向の調整の時は調整ねじ１７によってテーブル取
付台１６上を第１スライド２１の下面がＸ方向に摺動し
、Ｙ方向の調整の時は調整ねじ１８によって第１スライ
ド２１上を第２スライド２２の下面がＹ方向に摺動する
ように構成されている。
次に傾き調整機構について第５図乃至第７図に基づいて
説明する。前記テーブル１５の周壁１５ｄのＸ方向およ
びＹ方向にはテーブル取付台１６のバカ孔１６ｂ、１６
Ｃを貫入して二つの傾き調整ねじ２７．２８が螺合され
ている。一方、Ｘ。
説明する。前記テーブル１５の周壁１５ｄのＸ方向およ
びＹ方向にはテーブル取付台１６のバカ孔１６ｂ、１６
Ｃを貫入して二つの傾き調整ねじ２７．２８が螺合され
ている。一方、Ｘ。
７両方向の傾き調整ねじ２７．２８と釣り合う１３５度
離れたテーブル１５の周壁１５ｄには、同じくテーブル
取付台１６のバカ孔１６ｄを貫入して圧縮バネ２９が内
蔵されたねじ部材３０が設けられている。前記傾き調整
ねじ２７．２８と前記圧縮バネ２９の先端は各々第２ス
ライド２２の端部に当接している。前記第２スライド２
２上には円周溝２２ａが刻設され、該円周溝２２ａに多
数個の第１ボール３１が転勤可能に設けられている。
離れたテーブル１５の周壁１５ｄには、同じくテーブル
取付台１６のバカ孔１６ｄを貫入して圧縮バネ２９が内
蔵されたねじ部材３０が設けられている。前記傾き調整
ねじ２７．２８と前記圧縮バネ２９の先端は各々第２ス
ライド２２の端部に当接している。前記第２スライド２
２上には円周溝２２ａが刻設され、該円周溝２２ａに多
数個の第１ボール３１が転勤可能に設けられている。
該第１ボール３１の上には円弧中心をＰとする球面部材
３２が配置され、該球面部材３２の上には前記テーブル
１５の背面下の円周溝１５ｅとの間に転勤可能に多数個
の第２ボール３３が設けられている。即ち、前記球面部
材３２はちょうど第１ボール３１と第２ボール３３の間
に挾持されている。前記球面部材３２のＸ方向にはテー
ブル１５に埋めこまれたガイドピン３４．３４を揺動状
に案内するガイド溝３５．３５が、Ｙ方向には第２スラ
イド２２に埋め込まれたガイドピン３６，３６（第６図
）を揺動状に案内するガイド溝３７゜３７が設けられて
いる。なお３８は、テーブル１５とテーブル取付台１６
を付勢支持するスプリングである。
３２が配置され、該球面部材３２の上には前記テーブル
１５の背面下の円周溝１５ｅとの間に転勤可能に多数個
の第２ボール３３が設けられている。即ち、前記球面部
材３２はちょうど第１ボール３１と第２ボール３３の間
に挾持されている。前記球面部材３２のＸ方向にはテー
ブル１５に埋めこまれたガイドピン３４．３４を揺動状
に案内するガイド溝３５．３５が、Ｙ方向には第２スラ
イド２２に埋め込まれたガイドピン３６，３６（第６図
）を揺動状に案内するガイド溝３７゜３７が設けられて
いる。なお３８は、テーブル１５とテーブル取付台１６
を付勢支持するスプリングである。
このように構成された精密調整テーブル３の芯出し及び
傾きの調整動作について以下説明する。
傾きの調整動作について以下説明する。
芯出しは、Ｘ方向及びＹ方向に設けられた芯出し調整ね
じ１７および１８の締込み又はゆるめによって行なわれ
る。Ｘ方向の調整ねじ１７を調整すると、テーブル取付
台１６上面と第１スライド２１下面の間でガイドピン２
３．２３がガイド溝２５．２５の中を摺動することによ
って、第１スライド２１上のテーブル１５がＸ方向に移
動する。
じ１７および１８の締込み又はゆるめによって行なわれ
る。Ｘ方向の調整ねじ１７を調整すると、テーブル取付
台１６上面と第１スライド２１下面の間でガイドピン２
３．２３がガイド溝２５．２５の中を摺動することによ
って、第１スライド２１上のテーブル１５がＸ方向に移
動する。
またＹ方向の調整ねじ１８を調整すると、第１スライド
２１上面と第２スライド２２下面との間でガイドピン２
４．２４がガイド溝２６，２６の中を摺動することによ
って、第２スライド２２上のテーブル１５がＹ方向に移
動する。このＸ方向。
２１上面と第２スライド２２下面との間でガイドピン２
４．２４がガイド溝２６，２６の中を摺動することによ
って、第２スライド２２上のテーブル１５がＹ方向に移
動する。このＸ方向。
Ｙ方向の調整により芯出しが可能となる。
傾きも、Ｘ方向およびＹ方向に設けられた傾き調整ねじ
２７及び２８の締込み又はゆるめによって行なわれる。
２７及び２８の締込み又はゆるめによって行なわれる。
Ｘ方向の調整ねじ２７を調整すると、テーブル１５の前
面に埋め込まれたガイドピン３４．３４が球面部材３２
上のガイド溝３５゜３５を揺動し、第２ボール３３の転
勤によりテーブル１５がＸ方向に傾く。またＹ方向の調
整ネジ２８を調整すると、第２スライド２２に埋め込ま
れたガイドピン３６．３６が球面部材３２下のガイド溝
３７．３７を揺動し、第１ボール３１の転勤によりテー
ブル１５がＹ方向に傾くようになっている。このＸ方向
、Ｙ方向の調整により傾きの調整が可能となる。
面に埋め込まれたガイドピン３４．３４が球面部材３２
上のガイド溝３５゜３５を揺動し、第２ボール３３の転
勤によりテーブル１５がＸ方向に傾く。またＹ方向の調
整ネジ２８を調整すると、第２スライド２２に埋め込ま
れたガイドピン３６．３６が球面部材３２下のガイド溝
３７．３７を揺動し、第１ボール３１の転勤によりテー
ブル１５がＹ方向に傾くようになっている。このＸ方向
、Ｙ方向の調整により傾きの調整が可能となる。
［発明の効果〕
以上説明した如く、本発明の精密調整テーブルによれば
、芯出し機能と傾き機能が独立となる基本構成としたの
で、容易に且つ迅速に芯出し、傾き調整をすることがで
きると共に、コンパクトで且つ精度が高いので表面形状
測定機にふされしい精密調整テーブルを提供することが
できる。
、芯出し機能と傾き機能が独立となる基本構成としたの
で、容易に且つ迅速に芯出し、傾き調整をすることがで
きると共に、コンパクトで且つ精度が高いので表面形状
測定機にふされしい精密調整テーブルを提供することが
できる。
第１図は表面形状測定機の正面図、第２図は表面形状測
定機の側面図（第１図■矢視図）、第３図は表面形状測
定機の平面図、第４図は精密調整テーブルの平面図、第
５図は精密調整テーブルの平面断面図、第６図は第５図
のＶＩ−Ｖｌ断面図、第７図は第４図の■−■断面図で
ある。 ３・・・精密調整テーブル １５・・・テーブル１６・
・・テーブル取付台 １７．１８・・・芯出し調整ねじ １９・・・圧縮バネ ２１・・・第１スライド２
２・・・第２スライド ２７．２８・・・傾き調整ねじ ２９・・・圧縮バネ ３１．３３・・・ボール３
２・・・球面部材
定機の側面図（第１図■矢視図）、第３図は表面形状測
定機の平面図、第４図は精密調整テーブルの平面図、第
５図は精密調整テーブルの平面断面図、第６図は第５図
のＶＩ−Ｖｌ断面図、第７図は第４図の■−■断面図で
ある。 ３・・・精密調整テーブル １５・・・テーブル１６・
・・テーブル取付台 １７．１８・・・芯出し調整ねじ １９・・・圧縮バネ ２１・・・第１スライド２
２・・・第２スライド ２７．２８・・・傾き調整ねじ ２９・・・圧縮バネ ３１．３３・・・ボール３
２・・・球面部材
Claims (1)
- テーブルとテーブル取付台の間に芯出し調整機構と傾き
調整機構を有する精密調整テーブルにおいて、前記芯出
し調整機構は前記テーブル取付台の周壁に螺合された芯
出し調整ねじ部材と、該芯出し調整ねじ部材に釣合う方
向に取付けられた芯出しバネ部材と、前記テーブル取付
台上部に設けられ該芯出し調整ねじの調整により前記テ
ーブルを載置して移動する芯出しスライドとから構成す
ると共に、前記傾き調整機構は前記テーブルの周壁に螺
合された傾き調整ねじ部材と、該傾き調整ねじ部材に釣
合う方向に取付けられた傾き調整バネ部材と、前記テー
ブル取付台上部に設けられ前記テーブルを載置し該テー
ブル背面下で揺動可能な球面部材とから構成し、前記芯
出し調整機構と前記傾き調整機構を各々独立させたこと
を特徴とする精密調整テーブル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8153786A JPS62238490A (ja) | 1986-04-09 | 1986-04-09 | 精密調整テ−ブル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8153786A JPS62238490A (ja) | 1986-04-09 | 1986-04-09 | 精密調整テ−ブル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62238490A true JPS62238490A (ja) | 1987-10-19 |
Family
ID=13749049
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8153786A Pending JPS62238490A (ja) | 1986-04-09 | 1986-04-09 | 精密調整テ−ブル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62238490A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004042236A (ja) * | 2002-07-16 | 2004-02-12 | Nachi Fujikoshi Corp | ワークテーブル傾き調整装置 |
| JP2017087310A (ja) * | 2015-11-04 | 2017-05-25 | ファナック株式会社 | 調整機構を備えた回転軸支持装置 |
-
1986
- 1986-04-09 JP JP8153786A patent/JPS62238490A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004042236A (ja) * | 2002-07-16 | 2004-02-12 | Nachi Fujikoshi Corp | ワークテーブル傾き調整装置 |
| JP2017087310A (ja) * | 2015-11-04 | 2017-05-25 | ファナック株式会社 | 調整機構を備えた回転軸支持装置 |
| US10717161B2 (en) | 2015-11-04 | 2020-07-21 | Fanuc Corporation | Rotating axis supporting device |
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