JPS62233508A - セラミツクス部材の連結構造体 - Google Patents
セラミツクス部材の連結構造体Info
- Publication number
- JPS62233508A JPS62233508A JP7341386A JP7341386A JPS62233508A JP S62233508 A JPS62233508 A JP S62233508A JP 7341386 A JP7341386 A JP 7341386A JP 7341386 A JP7341386 A JP 7341386A JP S62233508 A JPS62233508 A JP S62233508A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ceramic
- members
- oxide
- wool
- aluminum oxide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title claims description 44
- 210000002268 wool Anatomy 0.000 claims description 27
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 13
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 12
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 12
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 11
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims description 6
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M Fluoride anion Chemical compound [F-] KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 5
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 4
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010439 graphite Substances 0.000 claims description 3
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 claims description 3
- BPQQTUXANYXVAA-UHFFFAOYSA-N Orthosilicate Chemical compound [O-][Si]([O-])([O-])[O-] BPQQTUXANYXVAA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 15
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 8
- 241000209094 Oryza Species 0.000 description 4
- 235000007164 Oryza sativa Nutrition 0.000 description 4
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 235000009566 rice Nutrition 0.000 description 4
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 3
- 238000009661 fatigue test Methods 0.000 description 3
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 3
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 239000003350 kerosene Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- OWNRRUFOJXFKCU-UHFFFAOYSA-N Bromadiolone Chemical compound C=1C=C(C=2C=CC(Br)=CC=2)C=CC=1C(O)CC(C=1C(OC2=CC=CC=C2C=1O)=O)C1=CC=CC=C1 OWNRRUFOJXFKCU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-L Sulfate Chemical compound [O-]S([O-])(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 238000005219 brazing Methods 0.000 description 1
- 230000003139 buffering effect Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 229910000856 hastalloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007731 hot pressing Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000010802 sludge Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Springs (AREA)
- Ceramic Products (AREA)
- Connection Of Plates (AREA)
- Standing Axle, Rod, Or Tube Structures Coupled By Welding, Adhesion, Or Deposition (AREA)
- Vibration Prevention Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
本発明はセラミックス部材の連結構造体に係り、特に高
温構造用のセラミックス部材と他のセラミックス部材ま
たは金属部材間の接合方法に関する。
温構造用のセラミックス部材と他のセラミックス部材ま
たは金属部材間の接合方法に関する。
（従来の技術）
高温構造用セラミックスは高温強度特性、高温疲労特性
等の要求される性能が高度なものであるため大型製品を
つくることはきわめて困難であり、このため小型の製品
を複数個作ってこれらを接合させることが行われている
。
等の要求される性能が高度なものであるため大型製品を
つくることはきわめて困難であり、このため小型の製品
を複数個作ってこれらを接合させることが行われている
。
したがってこれらの接合部には、耐熱性、高温疲労特性
、高温接着強度などの優れていることが要求される。
、高温接着強度などの優れていることが要求される。
［発明の解決しようとする問題点］
セラミックス部材どうし、あるいはセラミックス部材と
金属部材の接合方法としては従来から、界面に金属を介
在させて高温で接合させる方法、ブレージング法、活性
金属を介在させて接合する方法、ホットプレス法、界面
をメタライジングして有機接着材あるいは無機接着（Ａ
で接着する方法などが検討されている。これらの方法の
中、ホットプレス法および無機接着４Δ法により形成さ
れた接合部では１ｏｏｏ’ｃ以上の高温の使用に耐える
ことが可能であるが、他の方法による接合部は何れも１
０００°Ｃ程度の温度までしか強度を維持することかで
きない。
金属部材の接合方法としては従来から、界面に金属を介
在させて高温で接合させる方法、ブレージング法、活性
金属を介在させて接合する方法、ホットプレス法、界面
をメタライジングして有機接着材あるいは無機接着（Ａ
で接着する方法などが検討されている。これらの方法の
中、ホットプレス法および無機接着４Δ法により形成さ
れた接合部では１ｏｏｏ’ｃ以上の高温の使用に耐える
ことが可能であるが、他の方法による接合部は何れも１
０００°Ｃ程度の温度までしか強度を維持することかで
きない。
またポットプレス法による接合部では高い接合強度を１
ｏｏｏ’ｃ以上の高温まで維持することができるが、こ
の方法では１６００°Ｃ以上の高温下でセラミックス部
材を圧接するため、製造上不利な点が多く生産コストが
高くなるうえに、金属部材との接合には適用できないと
いう問題がある。さらに無機接着材を用いた接合部では
２０００°Ｃ程度までの高温に耐えるものもあるが、接
着強度は一般に小さく実用上は１０００’Ｃを越えて使
用することは困難である。
ｏｏｏ’ｃ以上の高温まで維持することができるが、こ
の方法では１６００°Ｃ以上の高温下でセラミックス部
材を圧接するため、製造上不利な点が多く生産コストが
高くなるうえに、金属部材との接合には適用できないと
いう問題がある。さらに無機接着材を用いた接合部では
２０００°Ｃ程度までの高温に耐えるものもあるが、接
着強度は一般に小さく実用上は１０００’Ｃを越えて使
用することは困難である。
これらの方法とは別に、セラミックス部材どうし、ある
いはセラミックス部（Ａと金属部＋Ａに例えば互いに嵌
合する形状の係合部を形成し、これら各部材を機械的に
連結させることも考えられるが、このような連結構造体
では機械的な衝撃力や振動に対して弱く実用的なものは
得−られていない。
いはセラミックス部（Ａと金属部＋Ａに例えば互いに嵌
合する形状の係合部を形成し、これら各部材を機械的に
連結させることも考えられるが、このような連結構造体
では機械的な衝撃力や振動に対して弱く実用的なものは
得−られていない。
本発明はこのような従来の問題に対処してなされたもの
で、セラミックス部材どうし、あるいはセラミックス部
材と金属部材をは械的に連結させてなる機械的な衝撃力
や振動に対して強いセラミックス部材の連結構造体を提
供することを目的とする。
で、セラミックス部材どうし、あるいはセラミックス部
材と金属部材をは械的に連結させてなる機械的な衝撃力
や振動に対して強いセラミックス部材の連結構造体を提
供することを目的とする。
［発明の構成］
（問題点を解決するための手段）
本発明は上記目的を達成するため、少なくとも１つがセ
ラミックスからなる複数の部材に、それぞれ互いに嵌合
可能な係合部を形成し、これら係合部をセラミックスウ
ールを介在させて互いに嵌合させて成ることを特徴とす
る。
ラミックスからなる複数の部材に、それぞれ互いに嵌合
可能な係合部を形成し、これら係合部をセラミックスウ
ールを介在させて互いに嵌合させて成ることを特徴とす
る。
本発明の連結構造体は、窒化ケイ素、アルミナ等のセラ
ミックス部材どうしのほか、これらのセラミックス部材
と耐熱合金等の金属部材間の連結部にも適用することが
できる。なおセラミックス部材どうしの連結部の場合に
は、セラミックス固有の耐熱温度まで使用可能であるが
、金属部材を用いた場合の耐熱性はほぼ１０００’Ｃま
である。
ミックス部材どうしのほか、これらのセラミックス部材
と耐熱合金等の金属部材間の連結部にも適用することが
できる。なおセラミックス部材どうしの連結部の場合に
は、セラミックス固有の耐熱温度まで使用可能であるが
、金属部材を用いた場合の耐熱性はほぼ１０００’Ｃま
である。
これらの部材に形成される互いに嵌合する係合部として
は、例えば一方を球状とし他方をこの球状部が嵌合可能
な凹部としたボール・ソケットタイプのものや、一方の
棒状部材の端部に膨大部を形成し、他方の部材に棒状部
材の小径部は通過させるが膨大部は係止させる透孔を形
成したリンクタイプがめげられる。
は、例えば一方を球状とし他方をこの球状部が嵌合可能
な凹部としたボール・ソケットタイプのものや、一方の
棒状部材の端部に膨大部を形成し、他方の部材に棒状部
材の小径部は通過させるが膨大部は係止させる透孔を形
成したリンクタイプがめげられる。
また本発明に使用されるセラミックスウールとしては窒
化珪素セラミックスウール、炭化珪素セラミックスウー
ルおよび高アルミナ質ウール等の高温用セラミックスか
らなるものがあり、長繊維、短繊維を織って布状とした
ものや、短繊維、ウィスカー等を紙状あるいはフェルト
状に成型したものが好適している。これらのセラミック
スウールはそれ自体１５００℃以上の耐熱性を有するも
のが多く、例えば炭化珪素ウィスカーからなるウールの
耐熱性は１６００’Ｃ以上である。
化珪素セラミックスウール、炭化珪素セラミックスウー
ルおよび高アルミナ質ウール等の高温用セラミックスか
らなるものがあり、長繊維、短繊維を織って布状とした
ものや、短繊維、ウィスカー等を紙状あるいはフェルト
状に成型したものが好適している。これらのセラミック
スウールはそれ自体１５００℃以上の耐熱性を有するも
のが多く、例えば炭化珪素ウィスカーからなるウールの
耐熱性は１６００’Ｃ以上である。
このセラミックスウールは単に連結すべき部材の嵌合部
間に介在させてもよいが、繰り返し振動を受けるような
用途に使用する場合にはその一方の面に無機接着材で接
着させることが望ましい。
間に介在させてもよいが、繰り返し振動を受けるような
用途に使用する場合にはその一方の面に無機接着材で接
着させることが望ましい。
このような無機接着材としては、例えば■ 酸化アルミ
ニウム ■ 酸化ジルコニウム ＝ ６− ■ 酸化アルミニウムと酸化珪素の混合物■ 酸化アル
ミニウムと酸化珪素及び酸化ジルコニウムの混合物 ■ 珪酸塩と黒鉛の混合物 ■ 酸化アルミニムと酸化珪素とフッ化物の混合物 ■ 酸化アルミニウムと酸化珪素とフッ化物と稀土類元
素の混合物 などがある。
ニウム ■ 酸化ジルコニウム ＝ ６− ■ 酸化アルミニウムと酸化珪素の混合物■ 酸化アル
ミニウムと酸化珪素及び酸化ジルコニウムの混合物 ■ 珪酸塩と黒鉛の混合物 ■ 酸化アルミニムと酸化珪素とフッ化物の混合物 ■ 酸化アルミニウムと酸化珪素とフッ化物と稀土類元
素の混合物 などがある。
（作用）
本発明では連結すべき部材間にセラミックスウールを介
在させたので機械的衝撃力や振動に対してすぐれた緩衝
機能を有しセラミックス部材が割れたり欠けたするおそ
れはない。また、セラミックスウールとして高温耐熱性
のすぐれた例えば窒化珪素セラミックウール、炭化珪素
セラミックスウールおよび高アルミナ質ウールを用いる
ことによりすぐれた高温耐熱性を発揮する。
在させたので機械的衝撃力や振動に対してすぐれた緩衝
機能を有しセラミックス部材が割れたり欠けたするおそ
れはない。また、セラミックスウールとして高温耐熱性
のすぐれた例えば窒化珪素セラミックウール、炭化珪素
セラミックスウールおよび高アルミナ質ウールを用いる
ことによりすぐれた高温耐熱性を発揮する。
ざらに、高温耐熱のずぐれた無機接着材でセラミックス
ウールを接合体に固定するようにすれば極度の振動や高
速流体による機能低下を阻止することが可能である。
ウールを接合体に固定するようにすれば極度の振動や高
速流体による機能低下を阻止することが可能である。
（実施例）
以下本発明の実施例について説明する。
実施例１
第１図はこの実施例の連結構造体を概略的に示すもので
、一端に膨大部１ａを形成した炭化ケイ素セラミックス
よりなる棒状部材１と、一端に膨大部１ａの嵌合するソ
ケット２ａを形成した窒化ケイ素セラミックスよりなる
棒状部材２とをソケット２の内面に黒鉛を含有するり°
イ酸塩系無機接着材を用いて炭化珪素ライスカースウー
ルを貼着させこの上から膨大部１ａを嵌合させて構成さ
れている。
、一端に膨大部１ａを形成した炭化ケイ素セラミックス
よりなる棒状部材１と、一端に膨大部１ａの嵌合するソ
ケット２ａを形成した窒化ケイ素セラミックスよりなる
棒状部材２とをソケット２の内面に黒鉛を含有するり°
イ酸塩系無機接着材を用いて炭化珪素ライスカースウー
ルを貼着させこの上から膨大部１ａを嵌合させて構成さ
れている。
この実施例についてビビ刀振動による疲労試験を常温と
１５００’Ｃで行い一定時間毎に試料片をとり、常温で
引張強度を測定した。その結果を第２図に示す。なお比
較例として示したものは、ソケット２の内面に炭化珪素
ライスカースウールを貼着しない点を除いて実施例と同
一構成の連結構造体である。
１５００’Ｃで行い一定時間毎に試料片をとり、常温で
引張強度を測定した。その結果を第２図に示す。なお比
較例として示したものは、ソケット２の内面に炭化珪素
ライスカースウールを貼着しない点を除いて実施例と同
一構成の連結構造体である。
実施例２
第１図のソケット２ａを耐熱合金ハステロイで形成した
点を除いて実施例１と同一構造の連結構造体を形成した
。
点を除いて実施例１と同一構造の連結構造体を形成した
。
この実施例についてビビリ振動による疲労試験を常温と
８００’Ｃで行い、一定時間毎に試料片をとり、常温で
引張強度を測定した。その結果を第３図に示す。なお比
較例として示したものは、ソケット２の内面に炭化珪素
ライスカースウールを貼着しない点を除いて実施例と同
一構成の連結構造体である。
８００’Ｃで行い、一定時間毎に試料片をとり、常温で
引張強度を測定した。その結果を第３図に示す。なお比
較例として示したものは、ソケット２の内面に炭化珪素
ライスカースウールを貼着しない点を除いて実施例と同
一構成の連結構造体である。
実施例３．４
実施例１の連結体のセラミックスウールの炭化珪素ウィ
スカーウールを、それぞれ窒化珪素ウィスカーウール（
実施例３〉、高アルミナ質ウール（実施例４）および酸
化珪素系ウール（比較例）で置き代えて常温および１５
００°Ｃて振動疲労試験を行い、その引張強度を測定し
た。その測定結果を第４図に示す。
スカーウールを、それぞれ窒化珪素ウィスカーウール（
実施例３〉、高アルミナ質ウール（実施例４）および酸
化珪素系ウール（比較例）で置き代えて常温および１５
００°Ｃて振動疲労試験を行い、その引張強度を測定し
た。その測定結果を第４図に示す。
［発明の効果］
以上説明したように、本発明のセラミックス部材の連結
構造体は高温強度特性、高温疲労特性に優れている。
構造体は高温強度特性、高温疲労特性に優れている。
第１図は本発明の実施例の断面図、第２図は本発明の一
実施例の特性を示すグラフ、第３図は仙の実施例の特性
を示すグラフ、第４図は本発明においてセラミックスウ
ールによる特性の相違を示すグラフである。 出願人 株式会社 東芝 代理人 弁理士 須 山 佐 − 第１図 第２図 振＠印加蒔眉 第３図 振動Ｑ加時局 第４図
実施例の特性を示すグラフ、第３図は仙の実施例の特性
を示すグラフ、第４図は本発明においてセラミックスウ
ールによる特性の相違を示すグラフである。 出願人 株式会社 東芝 代理人 弁理士 須 山 佐 − 第１図 第２図 振＠印加蒔眉 第３図 振動Ｑ加時局 第４図
Claims (4)
- （１）少なくとも１つがセラミックスからなる複数の部
材に、それぞれ互いに嵌合可能な係合部を形成し、これ
ら係合部をセラミックスウールを介在させて互いに嵌合
させて成ることを特徴とするセラミックス部材の連結構
造体。 - （２）セラミックスウールが、酸化アルミニウム、炭化
珪素および窒化珪素からなる群から選ばれた１種以上を
主成分とする特許請求の範囲第１項記載のセラミックス
部材の連結構造体。 - （３）セラミックスウールが無機接着材を介して少なく
とも一方の部材の係合部に固着されている特許請求の範
囲第１項または第２項記載のセラミックス部材の連結構
造体。 - （４）無機接着材が ［１］酸化アルミニウム ［２］酸化ジルコニウム ［３］酸化アルミニウムと酸化珪素の混合物［４］酸化
アルミニウムと酸化珪素及び酸化ジルコニウムの混合物 ［５］珪酸塩と黒鉛の混合物 ［６］酸化アルミニムと酸化珪素とフッ化物の混合物 ［７］酸化アルミニウムと酸化珪素とフッ化物と稀土類
元素の混合物 から選ばれた少なくとも１種を主成分とする特許請求の
範囲第３項記載のセラミックス部材の連結構造体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7341386A JPS62233508A (ja) | 1986-03-31 | 1986-03-31 | セラミツクス部材の連結構造体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7341386A JPS62233508A (ja) | 1986-03-31 | 1986-03-31 | セラミツクス部材の連結構造体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62233508A true JPS62233508A (ja) | 1987-10-13 |
| JPH0341692B2 JPH0341692B2 (ja) | 1991-06-24 |
Family
ID=13517485
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7341386A Granted JPS62233508A (ja) | 1986-03-31 | 1986-03-31 | セラミツクス部材の連結構造体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62233508A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5904791A (en) * | 1995-09-25 | 1999-05-18 | Dow Corning Corporation | Use of preceramic polymers as electronic adhesives |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS49117879A (ja) * | 1973-02-27 | 1974-11-11 | ||
| JPS5930272U (ja) * | 1982-08-16 | 1984-02-24 | 株式会社タカラ | パンチングボ−ル |
| JPS5988379A (ja) * | 1982-11-15 | 1984-05-22 | 株式会社東芝 | セラミツクス−金属複合体 |
-
1986
- 1986-03-31 JP JP7341386A patent/JPS62233508A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS49117879A (ja) * | 1973-02-27 | 1974-11-11 | ||
| JPS5930272U (ja) * | 1982-08-16 | 1984-02-24 | 株式会社タカラ | パンチングボ−ル |
| JPS5988379A (ja) * | 1982-11-15 | 1984-05-22 | 株式会社東芝 | セラミツクス−金属複合体 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5904791A (en) * | 1995-09-25 | 1999-05-18 | Dow Corning Corporation | Use of preceramic polymers as electronic adhesives |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0341692B2 (ja) | 1991-06-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0247428B2 (ja) | ||
| JPS6051420B2 (ja) | 複合部材 | |
| JPS62191478A (ja) | セラミツクス・金属結合体 | |
| JPS62233508A (ja) | セラミツクス部材の連結構造体 | |
| JPH06131934A (ja) | 絶縁碍子 | |
| JPS6153174A (ja) | セラミツク接合用緩衝材 | |
| JP3918301B2 (ja) | 半導体圧力センサ | |
| JPH0725595B2 (ja) | セラミツクスの接合方法 | |
| JPS5935075A (ja) | セラミツクスと金属との接合方法 | |
| JPH0328391B2 (ja) | ||
| JPS6131367A (ja) | セラミツクスと金属の接合方法 | |
| JPS61136969A (ja) | サイアロンと金属の接合方法 | |
| JPS59182281A (ja) | 拡散接合方法 | |
| JPS62246876A (ja) | セラミツクスと金属の接合方法 | |
| JPS60155577A (ja) | セラミツクと金属の接合軸体 | |
| JPH01141881A (ja) | 多孔質セラミックスと金属との接合法 | |
| JPS63206364A (ja) | ＳｉＣセラミツクスの嵌合方法 | |
| JPS63210073A (ja) | セラミツクスのかん合方法 | |
| JPH0292873A (ja) | 熱膨張率の異なる部材の複合体 | |
| JPS63159264A (ja) | セラミツクスと金属との高耐熱衝撃性接合方法および接合製品 | |
| JPS6016883A (ja) | セラミツクス複合体およびその製造方法 | |
| JPS62113775A (ja) | Ｓｉｃ部材の接合方法 | |
| JPS63152892A (ja) | セラミツクヒ−タ | |
| JPS61132570A (ja) | セラミツク部材の接合方法 | |
| JPH0788263B2 (ja) | セラミック部材と金属部材の接合構造とその接合方法 |