JPS62232133A - 半導体実装構造 - Google Patents

半導体実装構造

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JPS62232133A
JPS62232133A JP61074812A JP7481286A JPS62232133A JP S62232133 A JPS62232133 A JP S62232133A JP 61074812 A JP61074812 A JP 61074812A JP 7481286 A JP7481286 A JP 7481286A JP S62232133 A JPS62232133 A JP S62232133A
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JP
Japan
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bumps
semiconductor chip
semiconductor
circuit board
bump
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JP61074812A
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English (en)
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Kazuhiro Tsuchiya
和博 土屋
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Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (m*J:υ利用分野〕 本狛明は、2個以J:O半導体を、それぞれ■バンプを
向い合せに、しかもバンプ位置を一致させて槓嗜したこ
とfe特畝とする半導体装購造に関するものである。
〔従来0技術〕 従来は第2図Q□□□)断面図、(b)の如く(α)Q
子面図に示すごとく半纏体チップ1,2を一個一個回路
基板3にワイヤボンディング又はフェースダウン方法で
ボンティングし、回路基板3上のパターン4とスルーホ
ール8を介して2@以J:O半導体チップ間の配線を行
なってぃた。
〔発明が解決しようとする問題点〕
しかし前述の従来技術では、回路基板J:Qパターン配
R、半導体チッグOダイアタッチスペース、ワイヤボン
ディングスペース等、子面サイズを広く必要とし、¥F
Vc多数の半導体チップを1つの回路基板に実装する場
合は、広い面積を必要とじ九、又、ワイヤボンディング
個所が多く、ワイヤボンディングの作純時間も長く、ワ
イヤボンディング金線式、広大な面積の複雑な回路基板
等による、コスト高Q問題があり、高密度実装金すると
で、単位面積当り又はエパッケージ当りOメモリ各階又
は機能が少なく、しかも耐光性、鮒湿准等の外的環境に
も弱かった。こOように従来技術で高密度裏装をするに
は多数の問題点が有った。
そこで本発明はこOような間私点′f!:解決するもの
で、そ■目的り、*位面積当りのメモリ容脳・又は機能
を従来02倍以北有し、低コスト、高信頼性■半導体使
用@器を提供するところにある。
〔間l!Iを解決するため■手段〕
本発明O半導体装maは、2個以上Q半導体チップを、
一部又は全てのバンプが向vh合うように、バンプ位置
を一致させて積層したこと倉特敵とする。
〔実施列〕
第1図(α) 、 (6) 、 (c)は本発明O実施
列を示す要部断面図で、6)ハワイヤボンデイング方式
と本発明の組み合せ構造、(b)はフェースダウン方式
と本発明0組み合せ断面構造、(c)はギヤングボンデ
ィングと本発明■断面構造、である、−1図傾は、本発
明Q実施レリを示す(α)■モ面図であり、半導体チッ
プA、lのバンプA、51ζ、半棉本チッグB。
2■バンブB s 5 ’ bX%向iQ会わせた時、
配線しよりとするバンプ5,5′が同じ位置にくるよう
に。
半導体チップlと20パンダ泣式倉あらかじめ設計して
おき、半畳体チッグB、2■バングは、回路基板3C)
パターン4とボンディングするバンプを、半導体チップ
A、lと半導本チップB、2を向い合せに接合するバン
グ5゛と90°位置の2辺に配置し、半導体チップB、
20チッグサイズを半24体チップA、l■チップサイ
ズより大きくして、回路基板とボンディングするバンプ
が、半導体チップA、lと重ならないようにする1回路
俵板と0パターンとの接続にはワイヤボンディング方式
(第1図□α1)、フェースダウン方式(第1図b)、
ギヤグボンデイング(第1図c)y)3万式がある。フ
ェースダウン方式7)場合は、回路基板と半導体チップ
A、BO向き九%池02方式と逆になる。
抗3図は1本殆明■実施列で、ギヤグポンデイングOオ
ーバーハングしたパターンを介して2りQ半導体チップ
のバンプの一部又は全部を@+I!11゜た要部断面図
であるお 范4図は1本発明0夾施的で、3′MO半導体チップを
使い、2III!ilO半4体チップを回路基板にダイ
アタッチし、1個■半4体チップを前iie Z f固
■半24本チップ■バングに向い合せて枦r曽じたい部
所面図である。
以):0列はいずれも、2個以上O半尋体チップを璽気
的接合する場合、従来は1個1個をボンディング又はパ
ッケージ化し、回路基板とで配線してβたが、その必要
が無くなっただけでなく単位面積当りの実装密度が大巾
に向上した。
〔発明O効果〕
I)、J:述べたように本発明によれば、回路基板への
実装Q場会、半尋体チップ間の配線面積、ワイヤボンデ
ィング、フェースダウンボンディング。
ギヤグボンデイング等Q面mk含めると約5倍Q高密度
化が計れる。又パッケージ半4体ρ場会も亀Mパッケー
ジ半轡体で約1.8倍9周辺回路芙爬分金含めると約4
倍の高品度化が計れ、半導体側M @ 2”;i O小
型軽量化が大巾に改良できる。又、従来0ロ路基板に)
ように、スルーホールや1両面パターン0設計も不要と
なり、ワイヤボンディングV)夫l!作業費及び金線代
等も半減する為、コストダウン効果も[%めで大きい。
外部環境■半尋体チッグヘ■影響も、半導体チップ能動
面が半導体チップ同士でおおわれるためit元性が良く
なる。又、DJ路基板上の配線が少なくなり、配線間距
離も零となる為耐湿性能も大巾に向とするといった効果
がある。
こOように本発明の実用的効Mkは匝めて大きい。
【図面の簡単な説明】
第1図似) (b) (c)は本発明Q半尋体実装博造
の実施列を示す要部断面図。 #c1図(d)は本発明Q半尋体実湊購潰Q実施列を示
す要部乎面■。 #L2図(α)は従来0午碑体笑裟m造Q断面図。 処2図(b)は従来υ半24体夾装購造っ子面図。 m3区1.第4図は本発明Q千尋体夾榛FK造の応用1
5iIJを示す要部断面図である。 1・轡・#−2J4体チップA 2・・・半専本チ・ンプB 3・・・回路基板 4番・−パターン 5・・・パンツA 5’*a*バンプB 6・・・モールド材 7・・・ボンデイングワイヤ (αン (b) (す (d) 21 図 fZIL−ホール (α) ([)) 穿 2 回

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 2個以上の半導体チップを、一部又は全てのバンプが向
    い合うように、バンプ位置を一致させて積層したことを
    特徴とする半導体実装構造。
JP61074812A 1986-04-01 1986-04-01 半導体実装構造 Pending JPS62232133A (ja)

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JP61074812A JPS62232133A (ja) 1986-04-01 1986-04-01 半導体実装構造

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JPS62232133A true JPS62232133A (ja) 1987-10-12

Family

ID=13558096

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP61074812A Pending JPS62232133A (ja) 1986-04-01 1986-04-01 半導体実装構造

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JP (1) JPS62232133A (ja)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5801438A (en) * 1995-06-16 1998-09-01 Nec Corporation Semiconductor device mounting and multi-chip module
JP2001308258A (ja) * 2000-04-26 2001-11-02 Sony Corp 半導体パッケージ及びその製造方法
US6326696B1 (en) * 1998-02-04 2001-12-04 International Business Machines Corporation Electronic package with interconnected chips
JP2008187050A (ja) * 2007-01-30 2008-08-14 Toshiba Corp システムインパッケージ装置
JP2010239162A (ja) * 2010-07-26 2010-10-21 Oki Semiconductor Co Ltd 半導体装置及びその製造方法
US8237289B2 (en) 2007-01-30 2012-08-07 Kabushiki Kaisha Toshiba System in package device

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5801438A (en) * 1995-06-16 1998-09-01 Nec Corporation Semiconductor device mounting and multi-chip module
US6326696B1 (en) * 1998-02-04 2001-12-04 International Business Machines Corporation Electronic package with interconnected chips
JP2001308258A (ja) * 2000-04-26 2001-11-02 Sony Corp 半導体パッケージ及びその製造方法
JP2008187050A (ja) * 2007-01-30 2008-08-14 Toshiba Corp システムインパッケージ装置
US8237289B2 (en) 2007-01-30 2012-08-07 Kabushiki Kaisha Toshiba System in package device
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