JPS62232133A - 半導体実装構造 - Google Patents
半導体実装構造Info
- Publication number
- JPS62232133A JPS62232133A JP61074812A JP7481286A JPS62232133A JP S62232133 A JPS62232133 A JP S62232133A JP 61074812 A JP61074812 A JP 61074812A JP 7481286 A JP7481286 A JP 7481286A JP S62232133 A JPS62232133 A JP S62232133A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bumps
- semiconductor chip
- semiconductor
- circuit board
- bump
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 36
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 title description 2
- 230000006870 function Effects 0.000 abstract description 4
- 238000010030 laminating Methods 0.000 abstract 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 235000017166 Bambusa arundinacea Nutrition 0.000 description 1
- 235000017491 Bambusa tulda Nutrition 0.000 description 1
- 208000025174 PANDAS Diseases 0.000 description 1
- 208000021155 Paediatric autoimmune neuropsychiatric disorders associated with streptococcal infection Diseases 0.000 description 1
- 240000000220 Panda oleosa Species 0.000 description 1
- 235000016496 Panda oleosa Nutrition 0.000 description 1
- 235000015334 Phyllostachys viridis Nutrition 0.000 description 1
- 244000082204 Phyllostachys viridis Species 0.000 description 1
- 239000011425 bamboo Substances 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/73—Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L24/10, H01L24/18, H01L24/26, H01L24/34, H01L24/42, H01L24/50, H01L24/63, H01L24/71
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/15—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
- H01L2224/16—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
- H01L2224/161—Disposition
- H01L2224/16135—Disposition the bump connector connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip
- H01L2224/16145—Disposition the bump connector connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip the bodies being stacked
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
- H01L2224/48091—Arched
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/481—Disposition
- H01L2224/48151—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/48221—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/48225—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
- H01L2224/48227—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation connecting the wire to a bond pad of the item
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01005—Boron [B]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/151—Die mounting substrate
- H01L2924/1517—Multilayer substrate
- H01L2924/15192—Resurf arrangement of the internal vias
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(m*J:υ利用分野〕
本狛明は、2個以J:O半導体を、それぞれ■バンプを
向い合せに、しかもバンプ位置を一致させて槓嗜したこ
とfe特畝とする半導体装購造に関するものである。
向い合せに、しかもバンプ位置を一致させて槓嗜したこ
とfe特畝とする半導体装購造に関するものである。
〔従来0技術〕
従来は第2図Q□□□)断面図、(b)の如く(α)Q
子面図に示すごとく半纏体チップ1,2を一個一個回路
基板3にワイヤボンディング又はフェースダウン方法で
ボンティングし、回路基板3上のパターン4とスルーホ
ール8を介して2@以J:O半導体チップ間の配線を行
なってぃた。
子面図に示すごとく半纏体チップ1,2を一個一個回路
基板3にワイヤボンディング又はフェースダウン方法で
ボンティングし、回路基板3上のパターン4とスルーホ
ール8を介して2@以J:O半導体チップ間の配線を行
なってぃた。
しかし前述の従来技術では、回路基板J:Qパターン配
R、半導体チッグOダイアタッチスペース、ワイヤボン
ディングスペース等、子面サイズを広く必要とし、¥F
Vc多数の半導体チップを1つの回路基板に実装する場
合は、広い面積を必要とじ九、又、ワイヤボンディング
個所が多く、ワイヤボンディングの作純時間も長く、ワ
イヤボンディング金線式、広大な面積の複雑な回路基板
等による、コスト高Q問題があり、高密度実装金すると
で、単位面積当り又はエパッケージ当りOメモリ各階又
は機能が少なく、しかも耐光性、鮒湿准等の外的環境に
も弱かった。こOように従来技術で高密度裏装をするに
は多数の問題点が有った。
R、半導体チッグOダイアタッチスペース、ワイヤボン
ディングスペース等、子面サイズを広く必要とし、¥F
Vc多数の半導体チップを1つの回路基板に実装する場
合は、広い面積を必要とじ九、又、ワイヤボンディング
個所が多く、ワイヤボンディングの作純時間も長く、ワ
イヤボンディング金線式、広大な面積の複雑な回路基板
等による、コスト高Q問題があり、高密度実装金すると
で、単位面積当り又はエパッケージ当りOメモリ各階又
は機能が少なく、しかも耐光性、鮒湿准等の外的環境に
も弱かった。こOように従来技術で高密度裏装をするに
は多数の問題点が有った。
そこで本発明はこOような間私点′f!:解決するもの
で、そ■目的り、*位面積当りのメモリ容脳・又は機能
を従来02倍以北有し、低コスト、高信頼性■半導体使
用@器を提供するところにある。
で、そ■目的り、*位面積当りのメモリ容脳・又は機能
を従来02倍以北有し、低コスト、高信頼性■半導体使
用@器を提供するところにある。
本発明O半導体装maは、2個以上Q半導体チップを、
一部又は全てのバンプが向vh合うように、バンプ位置
を一致させて積層したこと倉特敵とする。
一部又は全てのバンプが向vh合うように、バンプ位置
を一致させて積層したこと倉特敵とする。
第1図(α) 、 (6) 、 (c)は本発明O実施
列を示す要部断面図で、6)ハワイヤボンデイング方式
と本発明の組み合せ構造、(b)はフェースダウン方式
と本発明0組み合せ断面構造、(c)はギヤングボンデ
ィングと本発明■断面構造、である、−1図傾は、本発
明Q実施レリを示す(α)■モ面図であり、半導体チッ
プA、lのバンプA、51ζ、半棉本チッグB。
列を示す要部断面図で、6)ハワイヤボンデイング方式
と本発明の組み合せ構造、(b)はフェースダウン方式
と本発明0組み合せ断面構造、(c)はギヤングボンデ
ィングと本発明■断面構造、である、−1図傾は、本発
明Q実施レリを示す(α)■モ面図であり、半導体チッ
プA、lのバンプA、51ζ、半棉本チッグB。
2■バンブB s 5 ’ bX%向iQ会わせた時、
配線しよりとするバンプ5,5′が同じ位置にくるよう
に。
配線しよりとするバンプ5,5′が同じ位置にくるよう
に。
半導体チップlと20パンダ泣式倉あらかじめ設計して
おき、半畳体チッグB、2■バングは、回路基板3C)
パターン4とボンディングするバンプを、半導体チップ
A、lと半導本チップB、2を向い合せに接合するバン
グ5゛と90°位置の2辺に配置し、半導体チップB、
20チッグサイズを半24体チップA、l■チップサイ
ズより大きくして、回路基板とボンディングするバンプ
が、半導体チップA、lと重ならないようにする1回路
俵板と0パターンとの接続にはワイヤボンディング方式
(第1図□α1)、フェースダウン方式(第1図b)、
ギヤグボンデイング(第1図c)y)3万式がある。フ
ェースダウン方式7)場合は、回路基板と半導体チップ
A、BO向き九%池02方式と逆になる。
おき、半畳体チッグB、2■バングは、回路基板3C)
パターン4とボンディングするバンプを、半導体チップ
A、lと半導本チップB、2を向い合せに接合するバン
グ5゛と90°位置の2辺に配置し、半導体チップB、
20チッグサイズを半24体チップA、l■チップサイ
ズより大きくして、回路基板とボンディングするバンプ
が、半導体チップA、lと重ならないようにする1回路
俵板と0パターンとの接続にはワイヤボンディング方式
(第1図□α1)、フェースダウン方式(第1図b)、
ギヤグボンデイング(第1図c)y)3万式がある。フ
ェースダウン方式7)場合は、回路基板と半導体チップ
A、BO向き九%池02方式と逆になる。
抗3図は1本殆明■実施列で、ギヤグポンデイングOオ
ーバーハングしたパターンを介して2りQ半導体チップ
のバンプの一部又は全部を@+I!11゜た要部断面図
であるお 范4図は1本発明0夾施的で、3′MO半導体チップを
使い、2III!ilO半4体チップを回路基板にダイ
アタッチし、1個■半4体チップを前iie Z f固
■半24本チップ■バングに向い合せて枦r曽じたい部
所面図である。
ーバーハングしたパターンを介して2りQ半導体チップ
のバンプの一部又は全部を@+I!11゜た要部断面図
であるお 范4図は1本発明0夾施的で、3′MO半導体チップを
使い、2III!ilO半4体チップを回路基板にダイ
アタッチし、1個■半4体チップを前iie Z f固
■半24本チップ■バングに向い合せて枦r曽じたい部
所面図である。
以):0列はいずれも、2個以上O半尋体チップを璽気
的接合する場合、従来は1個1個をボンディング又はパ
ッケージ化し、回路基板とで配線してβたが、その必要
が無くなっただけでなく単位面積当りの実装密度が大巾
に向上した。
的接合する場合、従来は1個1個をボンディング又はパ
ッケージ化し、回路基板とで配線してβたが、その必要
が無くなっただけでなく単位面積当りの実装密度が大巾
に向上した。
I)、J:述べたように本発明によれば、回路基板への
実装Q場会、半尋体チップ間の配線面積、ワイヤボンデ
ィング、フェースダウンボンディング。
実装Q場会、半尋体チップ間の配線面積、ワイヤボンデ
ィング、フェースダウンボンディング。
ギヤグボンデイング等Q面mk含めると約5倍Q高密度
化が計れる。又パッケージ半4体ρ場会も亀Mパッケー
ジ半轡体で約1.8倍9周辺回路芙爬分金含めると約4
倍の高品度化が計れ、半導体側M @ 2”;i O小
型軽量化が大巾に改良できる。又、従来0ロ路基板に)
ように、スルーホールや1両面パターン0設計も不要と
なり、ワイヤボンディングV)夫l!作業費及び金線代
等も半減する為、コストダウン効果も[%めで大きい。
化が計れる。又パッケージ半4体ρ場会も亀Mパッケー
ジ半轡体で約1.8倍9周辺回路芙爬分金含めると約4
倍の高品度化が計れ、半導体側M @ 2”;i O小
型軽量化が大巾に改良できる。又、従来0ロ路基板に)
ように、スルーホールや1両面パターン0設計も不要と
なり、ワイヤボンディングV)夫l!作業費及び金線代
等も半減する為、コストダウン効果も[%めで大きい。
外部環境■半尋体チッグヘ■影響も、半導体チップ能動
面が半導体チップ同士でおおわれるためit元性が良く
なる。又、DJ路基板上の配線が少なくなり、配線間距
離も零となる為耐湿性能も大巾に向とするといった効果
がある。
面が半導体チップ同士でおおわれるためit元性が良く
なる。又、DJ路基板上の配線が少なくなり、配線間距
離も零となる為耐湿性能も大巾に向とするといった効果
がある。
こOように本発明の実用的効Mkは匝めて大きい。
第1図似) (b) (c)は本発明Q半尋体実装博造
の実施列を示す要部断面図。 #c1図(d)は本発明Q半尋体実湊購潰Q実施列を示
す要部乎面■。 #L2図(α)は従来0午碑体笑裟m造Q断面図。 処2図(b)は従来υ半24体夾装購造っ子面図。 m3区1.第4図は本発明Q千尋体夾榛FK造の応用1
5iIJを示す要部断面図である。 1・轡・#−2J4体チップA 2・・・半専本チ・ンプB 3・・・回路基板 4番・−パターン 5・・・パンツA 5’*a*バンプB 6・・・モールド材 7・・・ボンデイングワイヤ (αン (b) (す (d) 21 図 fZIL−ホール (α) ([)) 穿 2 回
の実施列を示す要部断面図。 #c1図(d)は本発明Q半尋体実湊購潰Q実施列を示
す要部乎面■。 #L2図(α)は従来0午碑体笑裟m造Q断面図。 処2図(b)は従来υ半24体夾装購造っ子面図。 m3区1.第4図は本発明Q千尋体夾榛FK造の応用1
5iIJを示す要部断面図である。 1・轡・#−2J4体チップA 2・・・半専本チ・ンプB 3・・・回路基板 4番・−パターン 5・・・パンツA 5’*a*バンプB 6・・・モールド材 7・・・ボンデイングワイヤ (αン (b) (す (d) 21 図 fZIL−ホール (α) ([)) 穿 2 回
Claims (1)
- 2個以上の半導体チップを、一部又は全てのバンプが向
い合うように、バンプ位置を一致させて積層したことを
特徴とする半導体実装構造。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61074812A JPS62232133A (ja) | 1986-04-01 | 1986-04-01 | 半導体実装構造 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61074812A JPS62232133A (ja) | 1986-04-01 | 1986-04-01 | 半導体実装構造 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62232133A true JPS62232133A (ja) | 1987-10-12 |
Family
ID=13558096
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61074812A Pending JPS62232133A (ja) | 1986-04-01 | 1986-04-01 | 半導体実装構造 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62232133A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5801438A (en) * | 1995-06-16 | 1998-09-01 | Nec Corporation | Semiconductor device mounting and multi-chip module |
JP2001308258A (ja) * | 2000-04-26 | 2001-11-02 | Sony Corp | 半導体パッケージ及びその製造方法 |
US6326696B1 (en) * | 1998-02-04 | 2001-12-04 | International Business Machines Corporation | Electronic package with interconnected chips |
JP2008187050A (ja) * | 2007-01-30 | 2008-08-14 | Toshiba Corp | システムインパッケージ装置 |
JP2010239162A (ja) * | 2010-07-26 | 2010-10-21 | Oki Semiconductor Co Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
US8237289B2 (en) | 2007-01-30 | 2012-08-07 | Kabushiki Kaisha Toshiba | System in package device |
-
1986
- 1986-04-01 JP JP61074812A patent/JPS62232133A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5801438A (en) * | 1995-06-16 | 1998-09-01 | Nec Corporation | Semiconductor device mounting and multi-chip module |
US6326696B1 (en) * | 1998-02-04 | 2001-12-04 | International Business Machines Corporation | Electronic package with interconnected chips |
JP2001308258A (ja) * | 2000-04-26 | 2001-11-02 | Sony Corp | 半導体パッケージ及びその製造方法 |
JP2008187050A (ja) * | 2007-01-30 | 2008-08-14 | Toshiba Corp | システムインパッケージ装置 |
US8237289B2 (en) | 2007-01-30 | 2012-08-07 | Kabushiki Kaisha Toshiba | System in package device |
JP2010239162A (ja) * | 2010-07-26 | 2010-10-21 | Oki Semiconductor Co Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5352052B2 (ja) | x方向、y方向およびz方向における三軸測定を行うデバイスの製造方法 | |
KR101081140B1 (ko) | 적층 칩 스케일 패키지를 구비한 모듈 및 그 제작 방법 | |
US7989943B2 (en) | Staircase shaped stacked semiconductor package | |
US8786069B1 (en) | Reconfigurable pop | |
KR890001186A (ko) | 반도체 집적회로 장치 및 그 제조방법 | |
US20030020171A1 (en) | Semiconductor package | |
JPS5892230A (ja) | 半導体装置 | |
US7700409B2 (en) | Method and system for stacking integrated circuits | |
JP4538830B2 (ja) | 半導体装置 | |
JPS62232133A (ja) | 半導体実装構造 | |
US20030160316A1 (en) | Open-type multichips stack packaging | |
US6674173B1 (en) | Stacked paired die package and method of making the same | |
JPH08264712A (ja) | 半導体装置 | |
US9589913B1 (en) | Flip chip stacking utilizing interposer | |
JPS6216535A (ja) | 電子装置 | |
KR20090026623A (ko) | 반도체 패키지 | |
JPH04157758A (ja) | プリント配線板 | |
JPS6399559A (ja) | 半導体装置 | |
JPS6276753A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
KR100876896B1 (ko) | 적층 반도체 패키지 | |
JPH0719165Y2 (ja) | マルチチップ構造 | |
KR950010044A (ko) | 복합반도체장치 및 그 제조방법 | |
JPS61234538A (ja) | Ic実装構造 | |
JP4889667B2 (ja) | 半導体装置 | |
JPS6235528A (ja) | 高密度実装法 |