JPS62230673A - 高強度窒化珪素質セラミツクスとその製造方法 - Google Patents
高強度窒化珪素質セラミツクスとその製造方法Info
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- JPS62230673A JPS62230673A JP61072088A JP7208886A JPS62230673A JP S62230673 A JPS62230673 A JP S62230673A JP 61072088 A JP61072088 A JP 61072088A JP 7208886 A JP7208886 A JP 7208886A JP S62230673 A JPS62230673 A JP S62230673A
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Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は耐食性を有する高強度窒化珪素質セラミック
スの製造方法、とくに反応焼結法によって得られた窒化
珪素焼結体の開口気孔部並びに表層部を被覆封孔して焼
結体の強度と共に耐食性を改善する方法に関する。
スの製造方法、とくに反応焼結法によって得られた窒化
珪素焼結体の開口気孔部並びに表層部を被覆封孔して焼
結体の強度と共に耐食性を改善する方法に関する。
窒化珪素は熱膨張係数が３Ｘ１０−’″／℃と比較的小
さく耐酸化性、耐食性に優れているためエンジニアリン
グセラミックス材料、高温構造部材として使用展開が図
られている。この窒化珪素は反応焼結型、常圧焼結型、
Ｈ，Ｐ 、 Ｈ，１，Ｐによって製造されるが、これら
の製造法のうち、反応焼結による方法は比較的低温で焼
結が可能であり、焼成収縮が小さいこと、形状安定性が
良好であること、また得られた焼結体もクリープ抵抗性
が大きい。
さく耐酸化性、耐食性に優れているためエンジニアリン
グセラミックス材料、高温構造部材として使用展開が図
られている。この窒化珪素は反応焼結型、常圧焼結型、
Ｈ，Ｐ 、 Ｈ，１，Ｐによって製造されるが、これら
の製造法のうち、反応焼結による方法は比較的低温で焼
結が可能であり、焼成収縮が小さいこと、形状安定性が
良好であること、また得られた焼結体もクリープ抵抗性
が大きい。
しかしながら、他方において反応焼結は、珪素粉末を主
体とする成形体を窒化性ガス雰囲気中で１５００’Ｃ以
下の温度で焼成するものであり、通常２０〜３０％程度
の開口気孔率を有し、曲げ強度も１０〜２０ｋｉｒ／龍
２と低い。
体とする成形体を窒化性ガス雰囲気中で１５００’Ｃ以
下の温度で焼成するものであり、通常２０〜３０％程度
の開口気孔率を有し、曲げ強度も１０〜２０ｋｉｒ／龍
２と低い。
本願出願人は、主鎖骨格が炭素と珪素からなる有機珪素
重合体と珪素粉末との混合物を出発物質として、窒化性
ガス雰囲気中で１２００〜１８００℃に焼成して得た開
口気孔率の小さいＳｉＣＳｉｓ Ｎ４系焼結体を先に特
公昭６０−３１７９９号公報において開示した。この方
法によって得られた焼結体は強度も高く特に熱衝撃抵抗
性に優れたセラミックスであるが、依然として開口気孔
率は１０％程度である。
重合体と珪素粉末との混合物を出発物質として、窒化性
ガス雰囲気中で１２００〜１８００℃に焼成して得た開
口気孔率の小さいＳｉＣＳｉｓ Ｎ４系焼結体を先に特
公昭６０−３１７９９号公報において開示した。この方
法によって得られた焼結体は強度も高く特に熱衝撃抵抗
性に優れたセラミックスであるが、依然として開口気孔
率は１０％程度である。
従って、いずれにしても反応焼結によって得られた焼結
体は、後処理として高緻密賞体を得るために封孔被覆処
理が必要である。
体は、後処理として高緻密賞体を得るために封孔被覆処
理が必要である。
その封孔被覆処理法として、従来から５ｒａａ −Ｎ
ｔ Ｈｚ系、５ｉ（Ｊａ −ＮＨｓ Ｈｇ系のガス
を用いるＣＶＤが知られているが、コントロール条件が
厳しく、しかも高価であり、大型セラミックスに難しい
といった欠点があるばかりでなく、形成された膜厚が最
大２００μ■という制限があり、母体との熱膨張率の違
いによる影響がでやすい欠点がある。
ｔ Ｈｚ系、５ｉ（Ｊａ −ＮＨｓ Ｈｇ系のガス
を用いるＣＶＤが知られているが、コントロール条件が
厳しく、しかも高価であり、大型セラミックスに難しい
といった欠点があるばかりでなく、形成された膜厚が最
大２００μ■という制限があり、母体との熱膨張率の違
いによる影響がでやすい欠点がある。
また、封孔被覆処理法として、例えば、特開昭５３−８
９００号公報、特開昭５５−６７５８５号公報等に焼結
体の開口気孔部を含めて表層部を有機物の熱分解生成物
で充填被覆せしめることが開示されている。
９００号公報、特開昭５５−６７５８５号公報等に焼結
体の開口気孔部を含めて表層部を有機物の熱分解生成物
で充填被覆せしめることが開示されている。
具体的には、
（イ）主鎖骨格が炭素と珪素からなる有機珪素重合体（
ＰＯ２）によって開口気孔部並びに表層部を充填被覆し
、非酸化性雰囲気中で８００〜１８００℃で加熱処理す
る方法、 （ロ）フェノール樹脂、ピッチ、タール等の残炭性有機
物によって開口気孔部並びに表層部を充填被覆し非酸化
雰囲気中８００〜１８００℃で加熱処理する方法、 （ハ）エチルシリケートＳｉ （ＯＣｚ Ｈｓ ）、、
アルミニウムプロポキシドＡＩ （ＱＣｓ Ｈｑ）ｓ
、ジルコニウムプロポキシドＺｒ （ＱＣｓ Ｈｔ＞ａ
等の金属アルコキシドによって開口気孔部並びに表層部
を充填被覆し、１０００〜１６００℃で加熱処理するも
のである。
ＰＯ２）によって開口気孔部並びに表層部を充填被覆し
、非酸化性雰囲気中で８００〜１８００℃で加熱処理す
る方法、 （ロ）フェノール樹脂、ピッチ、タール等の残炭性有機
物によって開口気孔部並びに表層部を充填被覆し非酸化
雰囲気中８００〜１８００℃で加熱処理する方法、 （ハ）エチルシリケートＳｉ （ＯＣｚ Ｈｓ ）、、
アルミニウムプロポキシドＡＩ （ＱＣｓ Ｈｑ）ｓ
、ジルコニウムプロポキシドＺｒ （ＱＣｓ Ｈｔ＞ａ
等の金属アルコキシドによって開口気孔部並びに表層部
を充填被覆し、１０００〜１６００℃で加熱処理するも
のである。
しかしながら、上記公報に開示された技術においても以
下の欠点がある。
下の欠点がある。
（イ）ＰＯ２を熱分解する方法にあっては、ＰＯ２の熱
分解生成物は、主としてβ及びα−３ｉＣであり、さら
にＳｉＣとＳｉ３Ｎ、は共に共有結合性が強く化学結合
を持たないためにを効結合断面積が実質的には増大せず
強度の大幅な向上は期待できない。また充填被覆物の溶
融金属に対する濡れ性が良く且つ耐食性が低下する。
分解生成物は、主としてβ及びα−３ｉＣであり、さら
にＳｉＣとＳｉ３Ｎ、は共に共有結合性が強く化学結合
を持たないためにを効結合断面積が実質的には増大せず
強度の大幅な向上は期待できない。また充填被覆物の溶
融金属に対する濡れ性が良く且つ耐食性が低下する。
（ロ）フェノール樹脂、ピッチ、タール等の残炭性有機
物によって充填被覆する方法にあっては、充填被覆物が
無定片炭素であるために、Ｈｃｌ、Ｈｇ５Ｏｎ 、ＨＮ
Ｏｘ 、ＨＦのような酸、ＮａＯＨ。
物によって充填被覆する方法にあっては、充填被覆物が
無定片炭素であるために、Ｈｃｌ、Ｈｇ５Ｏｎ 、ＨＮ
Ｏｘ 、ＨＦのような酸、ＮａＯＨ。
ＫＯＨのようなアルカリに対する耐食性は向上し強度的
にも若干向上するが、耐酸化性の向上は期待できない。
にも若干向上するが、耐酸化性の向上は期待できない。
（ハ）アルコキシドによる充填被覆方法においては、初
期の耐酸化性は向上するが、徐々に内部酸化を起こし崩
壊し、酸、アルカリに対する耐食性が低下する。
期の耐酸化性は向上するが、徐々に内部酸化を起こし崩
壊し、酸、アルカリに対する耐食性が低下する。
本発明の目的は、従来の窒化珪素反応焼結体の製造方法
における欠点を解消して、ＪＩＳ Ｒ１６０１に準拠し
た３点曲げ強さで５０ｋｇ／＊Ｍ２以上の高強度を有す
る窒化珪素体を得る方法を提供することにある。
における欠点を解消して、ＪＩＳ Ｒ１６０１に準拠し
た３点曲げ強さで５０ｋｇ／＊Ｍ２以上の高強度を有す
る窒化珪素体を得る方法を提供することにある。
本発明は、有機珪素重合体とくに主鎖骨格がＳｔとＮか
らなる重合体の有する化学的特性に着目し完成したもの
で、窒化珪素質セラミックスの開口気孔部を含む表層部
を主鎖骨格がＳｉとＮからなる重合体によって充填被覆
し、これを非酸化性雰囲気中８００〜１８００℃で熱処
理することにより、母体の窒化珪素質セラミックスと主
鎖骨格がＳｔとＮからなる重合体の熱分解によって生成
した５００〜５０００オングストロームの１ｍ粒子から
なる窒化珪素とが化学的に強固に結合した高強度で耐食
性をも具備した窒化珪素セラミックスを得ることができ
る。
らなる重合体の有する化学的特性に着目し完成したもの
で、窒化珪素質セラミックスの開口気孔部を含む表層部
を主鎖骨格がＳｉとＮからなる重合体によって充填被覆
し、これを非酸化性雰囲気中８００〜１８００℃で熱処
理することにより、母体の窒化珪素質セラミックスと主
鎖骨格がＳｔとＮからなる重合体の熱分解によって生成
した５００〜５０００オングストロームの１ｍ粒子から
なる窒化珪素とが化学的に強固に結合した高強度で耐食
性をも具備した窒化珪素セラミックスを得ることができ
る。
上記主鎖骨格がＳｉとＮからなる重合体としては以下の
ものが好適に使用できる。
ものが好適に使用できる。
（イ）
を有するＳｉｘ Ｎｚ 橋によって互いに結合している
複数の先駆体よりなるポリシラザン、式中、Ｒは水素、
１から約６個までの炭素原子を有する低級アルキル基、
ｌから約６個までの炭素原子を有する低級アルコキシ基
、置換または非置換のビニル基、置換または非置換アリ
ル基、６から約１０個までの炭素原子を存する置換また
は非置換低級アリル基、トリ（低級）アルキルまたはジ
（低級）アルキルシリル基、またはジ（低級）アルキル
アミノ基であり、そしてｎは１より大きい整数であり、
さらに上記残基は環状または直鎖状である。
複数の先駆体よりなるポリシラザン、式中、Ｒは水素、
１から約６個までの炭素原子を有する低級アルキル基、
ｌから約６個までの炭素原子を有する低級アルコキシ基
、置換または非置換のビニル基、置換または非置換アリ
ル基、６から約１０個までの炭素原子を存する置換また
は非置換低級アリル基、トリ（低級）アルキルまたはジ
（低級）アルキルシリル基、またはジ（低級）アルキル
アミノ基であり、そしてｎは１より大きい整数であり、
さらに上記残基は環状または直鎖状である。
（ロ）
環状先駆体残基より成り、構造式：
を有するポリシラザン重合体。
上式において、Ｒは水素、１から約６個までの炭素原子
を存する低級アルキル基、１から約６個までの炭素原子
を有する低級アルコキシ基、置換または非置換のビニル
基、置換または非置換アリル基、６ないし約１０個の炭
素原子を有する置換または非置換アリル基、トリ （低
級）アルキルまたはジ（低級）アルキルシリル基、また
はジ（低級）アルキルアミノ基であり、そしてＸおよび
ｙは各々別個にＯまたは正の整数であり、慣は１より大
きい整数であり、そしてＸおよびｙは重合体鎖中の各環
状先駆体残基について同一であるかまたは異なっている
ことができる。
を存する低級アルキル基、１から約６個までの炭素原子
を有する低級アルコキシ基、置換または非置換のビニル
基、置換または非置換アリル基、６ないし約１０個の炭
素原子を有する置換または非置換アリル基、トリ （低
級）アルキルまたはジ（低級）アルキルシリル基、また
はジ（低級）アルキルアミノ基であり、そしてＸおよび
ｙは各々別個にＯまたは正の整数であり、慣は１より大
きい整数であり、そしてＸおよびｙは重合体鎖中の各環
状先駆体残基について同一であるかまたは異なっている
ことができる。
（ハ）
を有する複数の環状単量体残基よりなるポリメチルシラ
ザン。
ザン。
式中、口はｌより大きい整数であり、そして下記ポリメ
チルシラザン中の各残基は同一または異なったものであ
ることができる。
チルシラザン中の各残基は同一または異なったものであ
ることができる。
（ニ）
構造単位がＲ３１ＨＮＨ，Ｒ３１ＨＮＣＨコおよびＲ３
１Ｎより成り、式（Ｒ３ｉ ＨＮ Ｈ）ａ （Ｒ’Ｓｉ
ＨＮＣＴｏ）ｂ（ＲＳｉＮ）ｃにより表される有機シ
ラザン重合体。
１Ｎより成り、式（Ｒ３ｉ ＨＮ Ｈ）ａ （Ｒ’Ｓｉ
ＨＮＣＴｏ）ｂ（ＲＳｉＮ）ｃにより表される有機シ
ラザン重合体。
式中、ａ＋ｂ＋ｃ−１であり、Ｒは水素、炭素原子１な
いし約６個を有する低級アルキル基、炭素原子１ないし
約６個を有する低級アルコキシ基、置換または非置換ビ
ニル基、置換または非置換アリル基、６ないし約１０個
の炭素原子を有する置換または非置換アリル基、トリ（
低級）アルキルまたはジ（低級）アルキルシリル基、ま
たはジ（低級）アルキルアミノ基である。
いし約６個を有する低級アルキル基、炭素原子１ないし
約６個を有する低級アルコキシ基、置換または非置換ビ
ニル基、置換または非置換アリル基、６ないし約１０個
の炭素原子を有する置換または非置換アリル基、トリ（
低級）アルキルまたはジ（低級）アルキルシリル基、ま
たはジ（低級）アルキルアミノ基である。
（ホ）
構造単位Ｒ３１ＨＮＨ，Ｒ３１ＨＮＨおよびＲ５１Ｎよ
り成り、式（Ｒ３１ＨＮＨ）ａ （Ｒ３１ＨＮＨ）ｂ
（ＲＳｉＮ）ｃ により表される有機シラザン重合体
。
り成り、式（Ｒ３１ＨＮＨ）ａ （Ｒ３１ＨＮＨ）ｂ
（ＲＳｉＮ）ｃ により表される有機シラザン重合体
。
式中、ａ＋ｂ＋ｃ−１であり、Ｒは水素、炭素原子１な
いし約６個を有する低級アルキル基、炭素原子１ないし
約６個を有する低級アルコキシ基、置換または非置換ビ
ニル基、置換または非置換アリル基、６ないし約１０個
の炭素原子を存する置換または非置換アリル基、トリ（
低級）アルキルまたはジ（低級）アルキルシリル基、ま
たはジ（低級）アルキルアミノ基であり、そしてＭはア
ルカリ金属または１７２当量のアルカリ土類金属である
。
いし約６個を有する低級アルキル基、炭素原子１ないし
約６個を有する低級アルコキシ基、置換または非置換ビ
ニル基、置換または非置換アリル基、６ないし約１０個
の炭素原子を存する置換または非置換アリル基、トリ（
低級）アルキルまたはジ（低級）アルキルシリル基、ま
たはジ（低級）アルキルアミノ基であり、そしてＭはア
ルカリ金属または１７２当量のアルカリ土類金属である
。
（へ）有機ジハロシランをアンモニアと反応させてアン
モノリシス生成物を形成させ、このアンモノリシス生成
物を、ＳｉＨ基に隣接するＮＨ基を脱プロトン化するこ
とのできる塩基性触媒で処理してポリシラザンを形成さ
せることによって製造されるポリシラザン。
モノリシス生成物を形成させ、このアンモノリシス生成
物を、ＳｉＨ基に隣接するＮＨ基を脱プロトン化するこ
とのできる塩基性触媒で処理してポリシラザンを形成さ
せることによって製造されるポリシラザン。
実施例１
４４μ曽以下の珪素（Ｓｉ）粉末９５重量部、数平均分
子ｊ！１２０００ポリビニルブチラール５重量部からな
る配合物を出発物質とし、１０００ｋｓｒ／−の静水圧
成型にてφ２０Ｘ１００ ｍｍの成形体を得た。該成形
体を窒素ガス雰囲気中１５００℃まで焼成し、窒化珪素
セラミックスを得た（Ｒ３−０１） 。
子ｊ！１２０００ポリビニルブチラール５重量部からな
る配合物を出発物質とし、１０００ｋｓｒ／−の静水圧
成型にてφ２０Ｘ１００ ｍｍの成形体を得た。該成形
体を窒素ガス雰囲気中１５００℃まで焼成し、窒化珪素
セラミックスを得た（Ｒ３−０１） 。
上記重合体の例Ｃ口）に記載するＲがメチル基、Ｘ＝５
．５１＝５、ｍ＝３であるｐｏｓをテトラヒドロフラン
に５００ ｇ ： １０００−の割合で溶解させた（
Ｐ −５ＯＬＩ） 。
．５１＝５、ｍ＝３であるｐｏｓをテトラヒドロフラン
に５００ ｇ ： １０００−の割合で溶解させた（
Ｐ −５ＯＬＩ） 。
窒化珪素セラミックスＲ３−０１を減圧及び加圧容器に
収納し、−７６０ｎＨｇにＩＨｒ減圧後上記重合体の溶
解液Ｐ−３ＯＬＩを注入し、ついで窒素ガスにて５’ｋ
ｉｒ／−に１０）１ｒ加圧した。加圧終了後含浸された
Ｉ？Ｓ −０４を取り出し、−７６０ｃｍＨｇにＩＨｒ
減圧乾燥したのちアンモニアガスを流しながら１５００
℃にてＳＨｒ熱処理しセラミックスを得た（ＲＳ−０１
−ＰＬ）。
収納し、−７６０ｎＨｇにＩＨｒ減圧後上記重合体の溶
解液Ｐ−３ＯＬＩを注入し、ついで窒素ガスにて５’ｋ
ｉｒ／−に１０）１ｒ加圧した。加圧終了後含浸された
Ｉ？Ｓ −０４を取り出し、−７６０ｃｍＨｇにＩＨｒ
減圧乾燥したのちアンモニアガスを流しながら１５００
℃にてＳＨｒ熱処理しセラミックスを得た（ＲＳ−０１
−ＰＬ）。
生成体は、窒化珪素セラミックスＲ５−０１の開口気孔
がｐｏｓＯ熱分解生成物で充填被覆され、且つ母体の窒
化珪素質セラミックスと熱分解生成した５００〜５００
０オングストロームの窒化珪素とが化学的に強固に結合
した態様をなすものであった。表１にその物性を示す。
がｐｏｓＯ熱分解生成物で充填被覆され、且つ母体の窒
化珪素質セラミックスと熱分解生成した５００〜５００
０オングストロームの窒化珪素とが化学的に強固に結合
した態様をなすものであった。表１にその物性を示す。
表 １
同表から、本発明の場合、曲げ強さは約２倍に向上した
ことが判る。これは、生成した５４２Ｎ＜が反応焼結窒
化珪素結合組織の有効結合断面積を増大させたためと考
えられる。
ことが判る。これは、生成した５４２Ｎ＜が反応焼結窒
化珪素結合組織の有効結合断面積を増大させたためと考
えられる。
実施例２
平均粒径５μ僧の珪素（Ｓｔ）粉末９０重量部と主たる
結合単位が で数平均分子量が２３００であるｐｃｓｉｏ重量部（Ｐ
ＣＳはｎ−ヘキサンに１００ｇ ： ３００−の割合で
溶解）とを所定の方法にて混練、混合して成形粉末を得
た。この成形粉末を真空金型成形機にて油圧成形し１０
０ Ｘ １００ Ｘ ３０ｍｗの成形体を作成した。こ
の成形体を窒素雰囲気中で昇温速度１００℃／Ｈｒで１
５００℃まで加熱し、その温度で２０Ｈｒ保持した。炉
内放冷後試料を取り出し物性を測定した（Ｒ５−０２）
。
結合単位が で数平均分子量が２３００であるｐｃｓｉｏ重量部（Ｐ
ＣＳはｎ−ヘキサンに１００ｇ ： ３００−の割合で
溶解）とを所定の方法にて混練、混合して成形粉末を得
た。この成形粉末を真空金型成形機にて油圧成形し１０
０ Ｘ １００ Ｘ ３０ｍｗの成形体を作成した。こ
の成形体を窒素雰囲気中で昇温速度１００℃／Ｈｒで１
５００℃まで加熱し、その温度で２０Ｈｒ保持した。炉
内放冷後試料を取り出し物性を測定した（Ｒ５−０２）
。
ＲＳ −０２を実施例１で用いた容器に収納し、−７６
０ｍｍ ＨＨに１０８ｒ減圧後実施例２で用いたＰＣＳ
のキシレンを容器（ＰＣＳ：キシレン＝ ２００ｇ
： １００ ＋ｄ）を注入し、窒素ガスにて９ｋｇ／ｃ
ｄ５Ｈｒ加圧した。
０ｍｍ ＨＨに１０８ｒ減圧後実施例２で用いたＰＣＳ
のキシレンを容器（ＰＣＳ：キシレン＝ ２００ｇ
： １００ ＋ｄ）を注入し、窒素ガスにて９ｋｇ／ｃ
ｄ５Ｈｒ加圧した。
加圧終了後含浸されたＲＳ −０２を取り出し、−７６
０ＩｌｌＩＩＨｇに５Ｈｒ減圧乾燥した後窒素ガスを流
しながら１４００℃にて１０Ｈｒ熱処理し、セラミック
スを得た（Ｒ３−０２−ＰＳ Ｌ ）。
０ＩｌｌＩＩＨｇに５Ｈｒ減圧乾燥した後窒素ガスを流
しながら１４００℃にて１０Ｈｒ熱処理し、セラミック
スを得た（Ｒ３−０２−ＰＳ Ｌ ）。
次に、実施例１で用いたＰ−５ＯＬＩを使用し同様の工
程を経て熱分解生成した超微粒の窒化珪素にて充填被覆
されたセラミックスを得た（Ｒ５−０２−Ｐｌ）。
程を経て熱分解生成した超微粒の窒化珪素にて充填被覆
されたセラミックスを得た（Ｒ５−０２−Ｐｌ）。
Ｒ３−０２、Ｉｔｓ−０２−ＰＳ １ 、Ｒ５−０２−
Ｐ Ｌの物性値を第２表に示す。
Ｐ Ｌの物性値を第２表に示す。
表２
比較例２の若干の強度向上は、珪素・炭素重合体に起因
するα、βＳｉＣと窒化珪素母体との結合が化学的結合
ではなく、単なる物理的接着によることを示している。
するα、βＳｉＣと窒化珪素母体との結合が化学的結合
ではなく、単なる物理的接着によることを示している。
更に、珪素・窒素重合体の被覆含浸熱処理硬化は焼結母
体の空孔、亀裂などの欠陥との化学的結合にあずかるα
及びβＳｉ３ Ｎ、で修復することにより、ワイプル係
数（耐直）が向上する。
体の空孔、亀裂などの欠陥との化学的結合にあずかるα
及びβＳｉ３ Ｎ、で修復することにより、ワイプル係
数（耐直）が向上する。
このことは大形構造材料としての信頌性の向上効果が大
きく工業的に極めて主要な技術と評価される。
きく工業的に極めて主要な技術と評価される。
本発明により、窒化珪素本来の性質である電気的絶縁性
及び特に塩素ガスに対する耐食性を付与する高強度焼結
体を反応焼結によって比較的安価に得ることができる。
及び特に塩素ガスに対する耐食性を付与する高強度焼結
体を反応焼結によって比較的安価に得ることができる。
本発明の窒化珪素焼結体はエンジニアリングセラミック
ス、高温構造部材が有望であり、具体的には（１）
ハースロール （２） ラジアントチューブ （３）熱交換器 （４）高温攪拌機 （２）高温回転羽（５） 塩
素ガス吹込みパイプ （６）粉体輸送巻 １７＋ ＡＩ溶解炉、保持炉用熱電対保護管浸漬型ヒ
ーター保護チューブ ストーク（８） ガスタービン （９） ターボチャージャー回転羽根αｌ 溶接用ガ
イドピン αυ プラズマ溶接トーチセンターリングストン等に適
用できる。
ス、高温構造部材が有望であり、具体的には（１）
ハースロール （２） ラジアントチューブ （３）熱交換器 （４）高温攪拌機 （２）高温回転羽（５） 塩
素ガス吹込みパイプ （６）粉体輸送巻 １７＋ ＡＩ溶解炉、保持炉用熱電対保護管浸漬型ヒ
ーター保護チューブ ストーク（８） ガスタービン （９） ターボチャージャー回転羽根αｌ 溶接用ガ
イドピン αυ プラズマ溶接トーチセンターリングストン等に適
用できる。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、開口気孔率が３０％以下の窒化珪素を主体とするセ
ラミックスの開口気孔部を含む表層部を、熱分解生成し
た主として窒化珪素からなるセラミックスで充填被覆し
てなる高強度窒化珪素質セラミックス。 ２、開口気孔率が３０％以下の窒化珪素を主体とするセ
ラミックスの開口気孔部並びに表層部を、主鎖骨格がＳ
ｉとＮからなる重合体で充填被覆し、同充填被覆体を非
酸化性雰囲気中、８００〜１８００℃で加熱することを
特徴とする高強度窒化珪素質セラミックスの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61072088A JPS62230673A (ja) | 1986-03-29 | 1986-03-29 | 高強度窒化珪素質セラミツクスとその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61072088A JPS62230673A (ja) | 1986-03-29 | 1986-03-29 | 高強度窒化珪素質セラミツクスとその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62230673A true JPS62230673A (ja) | 1987-10-09 |
Family
ID=13479297
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61072088A Pending JPS62230673A (ja) | 1986-03-29 | 1986-03-29 | 高強度窒化珪素質セラミツクスとその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62230673A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5139717A (en) * | 1988-12-03 | 1992-08-18 | Hoechst Aktiengesellschaft | High-strength ceramic composite, process for its preparation and its use |
-
1986
- 1986-03-29 JP JP61072088A patent/JPS62230673A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5139717A (en) * | 1988-12-03 | 1992-08-18 | Hoechst Aktiengesellschaft | High-strength ceramic composite, process for its preparation and its use |
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