JPS62226549A - イオン源 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はイオン源に係シ、特に金属表面に大量のイオン
注入を行うイオン注入装置やイオンビームによる微細加
工’ＡＨに使用するに好適なイオン源に関する。

〔従来の技術〕

従来の大容量イオン源は、特開昭６０−１３６１３０号
公報の第２図や第９回イオン工学シンポジウム「イオン
源とイオンを基礎とした応用技術」昭和６０年６月、（
東京）、第９頁から第２１頁のＦｉｇ、１０に示される
ように、３枚電極の構成で、中央の逆流電子を抑制する
電極に負の電圧を印加する構造として、側面より配線や
冷却パイプの配管をしていたが、目視できない部分の配
線や配管が長くなり、金属のごみ等で短絡されても目視
できない等、中央の電極の配線や配管の清掃や信頼性の
確保で配、慮がされていなかった。

本発明の目的は、中央の電極の目視できない部分の配線
をなくすことにより、清掃しやすく信頼性の高いイオン
源を提供することにある。

〔間遍点を解決するための手段〕

上記目的は、接地電位の電極の一部に穴、または切欠き
を設け、負電位の電極のリード線、あるいは冷却パイプ
をこの穴、または切欠きより引き出すことによυ達成さ
れる。

〔作用〕

本発明では接地電極の一部に穴、または切欠きを設ける
ことにより、接地電極側から、電子抑制電極の配線や配
管の引き出し部分が目視できるので、金属のごみ等も容
易に除去できる。

〔実施例〕

以下、本発明の一実施例を第１図、及び第２図により説
明する。読図の如く１本実施例ではイオンを作るプラズ
マ生成室１に、磁極を交互に配列した永久磁石６を設け
るとともに、各々にアパチャーａを設けたプラズマ電極
７、電子抑制電極８（加速電極とも称す）、接地電極９
に電圧を印加し、プラズマ電極７と接地電極９の各アパ
チャー間の加速電界でプラズマ生成室１のイオンを引き
出し、イオンビーム２０として加速する。３枚の電極の
うち、プラズマ電極７には４ＱｋＶ程度印加するのに対
し、中央の電子抑制電極８には、イオンビーム２０中の
電子がプラズマ生成室１側に逆流するのを防ぐために、
−１ｋＶから一２ｋｖ程度の電圧を印加する。電子抑制
電極８は、イオンビーム２０や逆流イオンが衝突し加熱
されるので、池の２枚の電極と同様に、無酸素銅製の水
冷パイプ２１が電子抑制電極８に銀ロウづけされている
。

切欠部２２は、第２図に示すように、電子抑制電極８に
１ケ所設けておム水冷パイプ２１の入力と出力が通過す
る。電子抑制電極８と接地電極９のギャップは２ｔｍ程
度であシ、非常に狭いため。

第２図の切欠部２２を設けることにより、容易に水冷パ
イプ２２を引き出せるとともに、水冷パイプ２１の電子
抑制電極８との立ち上シ部分が目視できる。

本実施例では、水冷パイプ２１が電圧を印加する配線も
兼用している。。

第３図は、水冷の不要なイオン源での実施例で、接地電
極９に穴２３をあけ、電子抑制電極８の一部にネジ穴を
設け、°穴２３から′電子抑制電極用配線８ａ′ｆｔ通
して電子抑制電極に接続したもので、イオン源の組立後
でも、配線ができ１組立が容易である効果がある。

伺、第１図〜第３図において、２は水冷ジャケット、３
は脚縁ポル）、４ａ、４ｂは電流導入端子、５は水密ジ
ヨイント、１１，１２．１４は絶縁スペーサ、１３は支
持７ランジ、工５は接地側７ランジ、ｔはイオンビーム
引き出し範囲である。

〔発明の効果〕

本発明によれば、接地電極に設けた穴、または切欠によ
り、電子抑制電極の配ａ、、配管部分がすべて目視可能
になシ、ごみ等の清掃が容易で信頼性の高い効果がある
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のイオン源の一実施例を示す半断面図、
第２図は本発明の電極部の平面図、第３図は本発明の他
の実施例を示す部分断面図でろる。 ６・・・永久磁石、７・・・プラズマ電極、８・・・電
子抑制電極、９ａ・・・電子抑制電極用配線、９・・・
接地電極。 ２０・・・イオンビーム、２１・・・水冷パイプ、２２
・・・切欠部、２３・・・穴。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、イオンをイオンビームとして引き出す複数のアパチ
   ャーを設けた複数のイオンビーム引き出し電極を有する
   イオン源において、接地電位の電極の一部に穴、または
   切欠を設け、負電位の電極のリード線、あるいは冷却パ
   イプを前記の穴、または切欠より引き出したことを特徴
   とするイオン源。