JPS62215924A - カラ−液晶素子 - Google Patents
カラ−液晶素子Info
- Publication number
- JPS62215924A JPS62215924A JP61058269A JP5826986A JPS62215924A JP S62215924 A JPS62215924 A JP S62215924A JP 61058269 A JP61058269 A JP 61058269A JP 5826986 A JP5826986 A JP 5826986A JP S62215924 A JPS62215924 A JP S62215924A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- layer
- liquid crystal
- color filter
- color
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 title claims abstract description 34
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 30
- ORTQZVOHEJQUHG-UHFFFAOYSA-L copper(II) chloride Chemical compound Cl[Cu]Cl ORTQZVOHEJQUHG-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims abstract description 19
- -1 etc. Substances 0.000 claims abstract description 11
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 4
- 239000001055 blue pigment Substances 0.000 claims description 3
- 239000000049 pigment Substances 0.000 claims description 2
- 239000000975 dye Substances 0.000 abstract description 17
- 239000001045 blue dye Substances 0.000 abstract description 7
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 abstract description 7
- IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N phthalocyanine Chemical compound N1C(N=C2C3=CC=CC=C3C(N=C3C4=CC=CC=C4C(=N4)N3)=N2)=C(C=CC=C2)C2=C1N=C1C2=CC=CC=C2C4=N1 IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 3
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 abstract description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 abstract 2
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 abstract 2
- 238000003475 lamination Methods 0.000 abstract 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 49
- 238000000034 method Methods 0.000 description 36
- 239000010408 film Substances 0.000 description 10
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 7
- RBTKNAXYKSUFRK-UHFFFAOYSA-N heliogen blue Chemical class [Cu].[N-]1C2=C(C=CC=C3)C3=C1N=C([N-]1)C3=CC=CC=C3C1=NC([N-]1)=C(C=CC=C3)C3=C1N=C([N-]1)C3=CC=CC=C3C1=N2 RBTKNAXYKSUFRK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 5
- 238000000859 sublimation Methods 0.000 description 4
- 230000008022 sublimation Effects 0.000 description 4
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 3
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 3
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 3
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XSQUKJJJFZCRTK-UHFFFAOYSA-N Urea Chemical compound NC(N)=O XSQUKJJJFZCRTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004202 carbamide Substances 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 238000005194 fractionation Methods 0.000 description 2
- 239000001046 green dye Substances 0.000 description 2
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 2
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- XQZYPMVTSDWCCE-UHFFFAOYSA-N phthalonitrile Chemical compound N#CC1=CC=CC=C1C#N XQZYPMVTSDWCCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000001044 red dye Substances 0.000 description 2
- 239000007790 solid phase Substances 0.000 description 2
- NLXLAEXVIDQMFP-UHFFFAOYSA-N Ammonium chloride Substances [NH4+].[Cl-] NLXLAEXVIDQMFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N Ammonium hydroxide Chemical compound [NH4+].[OH-] VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OWYWGLHRNBIFJP-UHFFFAOYSA-N Ipazine Chemical compound CCN(CC)C1=NC(Cl)=NC(NC(C)C)=N1 OWYWGLHRNBIFJP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 240000007594 Oryza sativa Species 0.000 description 1
- 235000007164 Oryza sativa Nutrition 0.000 description 1
- LGRFSURHDFAFJT-UHFFFAOYSA-N Phthalic anhydride Natural products C1=CC=C2C(=O)OC(=O)C2=C1 LGRFSURHDFAFJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NRCMAYZCPIVABH-UHFFFAOYSA-N Quinacridone Chemical compound N1C2=CC=CC=C2C(=O)C2=C1C=C1C(=O)C3=CC=CC=C3NC1=C2 NRCMAYZCPIVABH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004990 Smectic liquid crystal Substances 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- 235000011114 ammonium hydroxide Nutrition 0.000 description 1
- PYKYMHQGRFAEBM-UHFFFAOYSA-N anthraquinone Natural products CCC(=O)c1c(O)c2C(=O)C3C(C=CC=C3O)C(=O)c2cc1CC(=O)OC PYKYMHQGRFAEBM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000004056 anthraquinones Chemical class 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- JHIWVOJDXOSYLW-UHFFFAOYSA-N butyl 2,2-difluorocyclopropane-1-carboxylate Chemical compound CCCCOC(=O)C1CC1(F)F JHIWVOJDXOSYLW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052980 cadmium sulfide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 1
- 235000013351 cheese Nutrition 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 239000005262 ferroelectric liquid crystals (FLCs) Substances 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000013007 heat curing Methods 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- PXZQEOJJUGGUIB-UHFFFAOYSA-N isoindolin-1-one Chemical compound C1=CC=C2C(=O)NCC2=C1 PXZQEOJJUGGUIB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- DGBWPZSGHAXYGK-UHFFFAOYSA-N perinone Chemical compound C12=NC3=CC=CC=C3N2C(=O)C2=CC=C3C4=C2C1=CC=C4C(=O)N1C2=CC=CC=C2N=C13 DGBWPZSGHAXYGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FVDOBFPYBSDRKH-UHFFFAOYSA-N perylene-3,4,9,10-tetracarboxylic acid Chemical class C=12C3=CC=C(C(O)=O)C2=C(C(O)=O)C=CC=1C1=CC=C(C(O)=O)C2=C1C3=CC=C2C(=O)O FVDOBFPYBSDRKH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000002080 perylenyl group Chemical group C1(=CC=C2C=CC=C3C4=CC=CC5=CC=CC(C1=C23)=C45)* 0.000 description 1
- CSHWQDPOILHKBI-UHFFFAOYSA-N peryrene Natural products C1=CC(C2=CC=CC=3C2=C2C=CC=3)=C3C2=CC=CC3=C1 CSHWQDPOILHKBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 description 1
- 229920006255 plastic film Polymers 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 235000009566 rice Nutrition 0.000 description 1
- 239000012487 rinsing solution Substances 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N sulfuric acid Substances OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001308 synthesis method Methods 0.000 description 1
- 239000012808 vapor phase Substances 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1335—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
- G02F1/133509—Filters, e.g. light shielding masks
- G02F1/133514—Colour filters
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
未93明は1表示要素の単位となる複数個の電極を備え
た第1の基板と対向電極を設けた第2の基板との間で生
じる電気光学的変化によって表示を行う液晶素子に関し
、特に、カラーフィルタを備えたカラー液晶素子に関す
る。
た第1の基板と対向電極を設けた第2の基板との間で生
じる電気光学的変化によって表示を行う液晶素子に関し
、特に、カラーフィルタを備えたカラー液晶素子に関す
る。
[従来の技術]
従来、この種の装置は、電気光学的変調材料として、液
晶、 EC(エレクトロクロミー)、EL(エレクトロ
ルミネセンス)等の材料を使用していて、薄膜構成によ
って基板上に駆動用半導体アレイが設けられた第1の基
板と、対向電極を形成した第2の基板を用い、これらの
基板間に電気光学的変調材料の層を挟持してなる構成が
用いられている。
晶、 EC(エレクトロクロミー)、EL(エレクトロ
ルミネセンス)等の材料を使用していて、薄膜構成によ
って基板上に駆動用半導体アレイが設けられた第1の基
板と、対向電極を形成した第2の基板を用い、これらの
基板間に電気光学的変調材料の層を挟持してなる構成が
用いられている。
以下、その代表的に一例を、薄膜半導体構造を有する液
晶表示パネルについて説明する。
晶表示パネルについて説明する。
第3図は、薄膜トランジスタ(以後、TPTと略称する
)を用いたパネル基板の斜視図である。この方式は、複
数の帯状電極を相互に直交させて配首し、2〜10本/
■程度の密度で各交点にスイッチング素子(この場合T
PT )を形成することにより、各画素を直接にスイッ
チ駆動するもので1通常アクティブマトリクス方式と呼
ばれるものである。このアクティブマトリクス方式に用
いられるTPTとしては、いくつかの構造があるが、こ
こでは第3図に示す様に、ゲート電極が基板トに形成さ
れたスタガー構造を例にとり説明する。
)を用いたパネル基板の斜視図である。この方式は、複
数の帯状電極を相互に直交させて配首し、2〜10本/
■程度の密度で各交点にスイッチング素子(この場合T
PT )を形成することにより、各画素を直接にスイッ
チ駆動するもので1通常アクティブマトリクス方式と呼
ばれるものである。このアクティブマトリクス方式に用
いられるTPTとしては、いくつかの構造があるが、こ
こでは第3図に示す様に、ゲート電極が基板トに形成さ
れたスタガー構造を例にとり説明する。
第3図において、TPTは基板S上に形成されたゲート
線(行電極) laa、 jab・・・を有し、該ゲー
ト線Eに設けられたゲー電極1a、 lb、 Ic、
ld・・・、該ゲート電極上に積層された絶縁5、前記
ゲート電極Eに絶縁層を介して形成されたTFT層2a
、 2b。
線(行電極) laa、 jab・・・を有し、該ゲー
ト線Eに設けられたゲー電極1a、 lb、 Ic、
ld・・・、該ゲート電極上に積層された絶縁5、前記
ゲート電極Eに絶縁層を介して形成されたTFT層2a
、 2b。
2c、 2d・・・、前記TFTの一端に接して設けた
ソース(列電極) 3a、 3b・・・、及びTFTの
他端に接して設けたドレイン電極(表示単位を構成する
電極)等から構成され、行電極と列電極は透明又は金属
のFrJ 119導′1Ili、居によって形成されて
いる。
ソース(列電極) 3a、 3b・・・、及びTFTの
他端に接して設けたドレイン電極(表示単位を構成する
電極)等から構成され、行電極と列電極は透明又は金属
のFrJ 119導′1Ili、居によって形成されて
いる。
第4図は第3図に矢印OB力方向ら眺めた平面図で、マ
トリクス駆動回路の−・部を示したものである。また、
第5図は7JIJ4図のA−A’線に沿った断面構造を
もつ基板を用いた表示パネルの断面図を表わしたもので
ある。
トリクス駆動回路の−・部を示したものである。また、
第5図は7JIJ4図のA−A’線に沿った断面構造を
もつ基板を用いた表示パネルの断面図を表わしたもので
ある。
第5図において、7及びSはガラス、プラスチックフィ
ルム等の基板、4c、 4dは前述のドレイン電極、8
は対向電極である。
ルム等の基板、4c、 4dは前述のドレイン電極、8
は対向電極である。
4c、 4d、 8笠には5n02. In2O2,I
TO(Indium−Tin−Oxide)tPの透明
導電製、あるいはAu、 Af、 Pd等の金属薄+I
12が用いられる。
TO(Indium−Tin−Oxide)tPの透明
導電製、あるいはAu、 Af、 Pd等の金属薄+I
12が用いられる。
lc、 ld及び3a、 3bはそれぞれ、ゲート電極
及びソース電極で、 AR,Au、 As、 Pd等の
金属薄膜が用いられる。
及びソース電極で、 AR,Au、 As、 Pd等の
金属薄膜が用いられる。
5a、 5b・・・及び9は絶縁層で、2c、 2dは
アモルファスシリコン、ポリシリコン、 CdS、 C
dSe kJの薄膜半導体、10はシール部材、 11
は液晶層である。
アモルファスシリコン、ポリシリコン、 CdS、 C
dSe kJの薄膜半導体、10はシール部材、 11
は液晶層である。
この様な液晶表示パネルでは、動的散乱モード(DSM
) 、ライスチー2ド・ネマチック(TN)等の表示モ
ードのいずれを利用するかに応じて、あるいは装とを透
過型又は反射型のいずれかに応じて偏光板、入/4板、
反射板等の光学検知手段を上下基板の外側に適宜設ける
必要がある。特に表示パネルの表示モードとして、ツィ
ステッド・ネマチックモードを用いた場合には、光学検
知手段として偏光子12と検光13が用いられる。
) 、ライスチー2ド・ネマチック(TN)等の表示モ
ードのいずれを利用するかに応じて、あるいは装とを透
過型又は反射型のいずれかに応じて偏光板、入/4板、
反射板等の光学検知手段を上下基板の外側に適宜設ける
必要がある。特に表示パネルの表示モードとして、ツィ
ステッド・ネマチックモードを用いた場合には、光学検
知手段として偏光子12と検光13が用いられる。
上記パネルによる、カラー液晶表示装置の基本構成を第
4図に示す、図に示すように、ドレイン電極4a、 4
b、 4c、 4d・・・は、表示画像を形成する表示
単位となっており、前記ドレイン電極4a、 4b。
4図に示す、図に示すように、ドレイン電極4a、 4
b、 4c、 4d・・・は、表示画像を形成する表示
単位となっており、前記ドレイン電極4a、 4b。
4c、 4d・・・に対応する位置にカラーフィルター
14a 。
14a 。
14b、 +4c、 14d・・・が対向基板7の側に
配置されているので、前記ドレイン電極とカラーフィル
ターで、1つのカラー表示単位を形成することができる
。
配置されているので、前記ドレイン電極とカラーフィル
ターで、1つのカラー表示単位を形成することができる
。
この様なパネル構成において、各カラーフィルター14
a 、 14b 、 14c 、 14d ・・・
の1つは青色、緑色及び赤色のうちの1つの色彩を有し
ており、隣り合うカラーフィルターの色彩を各々青色、
緑色及び赤色の色彩とすることによってフルカラー表示
が得られる。
a 、 14b 、 14c 、 14d ・・・
の1つは青色、緑色及び赤色のうちの1つの色彩を有し
ており、隣り合うカラーフィルターの色彩を各々青色、
緑色及び赤色の色彩とすることによってフルカラー表示
が得られる。
〔発明が解決しようとする問題点]
上記の如きパネル構成においては、カラー表示素子を斜
めから見たときに視差が発生するので、これを極力減ら
すために、カラーフィルタをパネル内部でかつTFTア
レイにきわめて接近した位置に配こするように専ら構成
されている。但し、カラーフィルタをパネル内部に配置
する場合には。
めから見たときに視差が発生するので、これを極力減ら
すために、カラーフィルタをパネル内部でかつTFTア
レイにきわめて接近した位置に配こするように専ら構成
されている。但し、カラーフィルタをパネル内部に配置
する場合には。
そのカラーフィルタを構成する材料が液晶の機能に影響
を及ぼさないものでなければならない。
を及ぼさないものでなければならない。
−・般に、気相堆積法によりカラーフィルタを形成する
場合に用いられる色素材料のうち、青色色素層としては
、その色特性、耐熱性、耐光性等の開時性に優れ、かつ
汎用性を有する銅フタロシアニン化合物が代表的に用い
られる。
場合に用いられる色素材料のうち、青色色素層としては
、その色特性、耐熱性、耐光性等の開時性に優れ、かつ
汎用性を有する銅フタロシアニン化合物が代表的に用い
られる。
しかし、一般の銅フタロシアニン化合物には、その製法
上、塩化銅が用いられるので、製品自体にも微量ながら
塩化銅が含有されるのが通常である。このような不純物
を含有する銅フタロシアニン化合物を原料として気相堆
積法によりカラーフィルタを形成した場合、堆積膜中に
も塩化銅が含有されてしまうことになる。ところが、こ
の塩化銅は、各種の実験から、液晶相の体桔抵抗値を著
しく下げる性質をもち、液晶パネルの正常な動作機能の
低下をはじめ、信頼性に犬きく影響を及ぼす欠点を有し
ていた。これでは、たとえカラーフィルタ層と液晶層と
の間にg蔽層を存在させたとしても、カラー表示素子の
長期信頼性を保つためには、塩化銅の蚤を規制すること
が重要となる。
上、塩化銅が用いられるので、製品自体にも微量ながら
塩化銅が含有されるのが通常である。このような不純物
を含有する銅フタロシアニン化合物を原料として気相堆
積法によりカラーフィルタを形成した場合、堆積膜中に
も塩化銅が含有されてしまうことになる。ところが、こ
の塩化銅は、各種の実験から、液晶相の体桔抵抗値を著
しく下げる性質をもち、液晶パネルの正常な動作機能の
低下をはじめ、信頼性に犬きく影響を及ぼす欠点を有し
ていた。これでは、たとえカラーフィルタ層と液晶層と
の間にg蔽層を存在させたとしても、カラー表示素子の
長期信頼性を保つためには、塩化銅の蚤を規制すること
が重要となる。
本発明は、このような問題点に鑑みて提案されるもので
、青色色素層に銅フタロシアニン化合物を用いる構成で
カラーフィルタ層をパネル内部に配置したとしても、液
晶表示パネルの機能低下を招かず、長期にわたり信頼性
を有するカラー液晶表示素子を提供することを目的とす
る。
、青色色素層に銅フタロシアニン化合物を用いる構成で
カラーフィルタ層をパネル内部に配置したとしても、液
晶表示パネルの機能低下を招かず、長期にわたり信頼性
を有するカラー液晶表示素子を提供することを目的とす
る。
[問題点を解決するための手段]
本発明において、と記の問題点を解決するために講じら
れた手段は、一対の電極基板の間に液晶を挟持し、それ
らの電極基板のいずれか一方の基板の内側にカラーフィ
ルタを配設して成るカラー液晶表示素子において、カラ
ーフィルタを構成する色素層のうち少なくとも青色色素
層が銅フタロシアニン化合物の気相堆積膜より成り、か
つその青色堆積膜中に不純物として含有される塩化銅を
10ppm以下に抑制したことを特徴とするカラー液晶
表示素子とするものである。
れた手段は、一対の電極基板の間に液晶を挟持し、それ
らの電極基板のいずれか一方の基板の内側にカラーフィ
ルタを配設して成るカラー液晶表示素子において、カラ
ーフィルタを構成する色素層のうち少なくとも青色色素
層が銅フタロシアニン化合物の気相堆積膜より成り、か
つその青色堆積膜中に不純物として含有される塩化銅を
10ppm以下に抑制したことを特徴とするカラー液晶
表示素子とするものである。
[作 用]
本9i’Elの青色色素層を形成する銅フタロシアニン
化合物の製造法としては、通常、無水フタル酸、尿素、
塩化銅及び触媒を溶媒等の液相あるいは固相中で反応さ
せる「尿素法、別名フィラー法」、又はフタロジニトリ
ル及び塩化銅を溶媒等の液相あるいは固相中で反応させ
る「フタロジニトリル法」等の合成方法によっている。
化合物の製造法としては、通常、無水フタル酸、尿素、
塩化銅及び触媒を溶媒等の液相あるいは固相中で反応さ
せる「尿素法、別名フィラー法」、又はフタロジニトリ
ル及び塩化銅を溶媒等の液相あるいは固相中で反応させ
る「フタロジニトリル法」等の合成方法によっている。
そして、これらの方法において、本発明の目的である塩
化銅を除去する手段としては、下記の4方法がある。
化銅を除去する手段としては、下記の4方法がある。
(1)塩化銅を錯イオンとして塩酸溶液やアンモニア溶
液中に溶かし出す“酸−アルカリ洗浄法′°。
液中に溶かし出す“酸−アルカリ洗浄法′°。
(2)銅フタロシアニン化合物を濃硫酸に溶解させたの
ち水中に再結晶させるとともに、塩化銅を水溶液中に溶
出させる゛硫酸洗浄法”。
ち水中に再結晶させるとともに、塩化銅を水溶液中に溶
出させる゛硫酸洗浄法”。
(3)減圧下での昇華温度の差により塩化銅を分別する
“昇華分別法”。
“昇華分別法”。
(4) J:、記3方法からいずれかを組合わせた分別
法。
法。
等が挙げられ、特に(3)“昇華分別法”が、微量不純
物を効率よく除去できる点や作業性、効果等の点から最
も好ましいとされている。更に詳しくは、(3)の“昇
華分子flf法”で塩化銅を10ppm以ドに抑えるた
めには、真空度10−4〜1O−6torrで窒素ブロ
ー下、400℃、1時間、重版グレードの銅フタロシア
ニン化合物を加熱し、含有する塩化銅を昇華分別する方
法が好ましい。
物を効率よく除去できる点や作業性、効果等の点から最
も好ましいとされている。更に詳しくは、(3)の“昇
華分子flf法”で塩化銅を10ppm以ドに抑えるた
めには、真空度10−4〜1O−6torrで窒素ブロ
ー下、400℃、1時間、重版グレードの銅フタロシア
ニン化合物を加熱し、含有する塩化銅を昇華分別する方
法が好ましい。
また、カラーフィルタを構成する青色色素層以外の色素
層、即ち赤色色素層及び緑色色素層は、アントラキノン
系、インジコ系、フタロシアニン系、ペリレン系、ペリ
ノン系、キナクリドン系。
層、即ち赤色色素層及び緑色色素層は、アントラキノン
系、インジコ系、フタロシアニン系、ペリレン系、ペリ
ノン系、キナクリドン系。
イソインドリノン系の染顔料が用いられる。
本発明のカラーフィルタにおける色素層のパターン形成
グは除去すべき色素層の下部にレジストマスク(以下ア
ンダーマスクと呼ぶ)を設け。
グは除去すべき色素層の下部にレジストマスク(以下ア
ンダーマスクと呼ぶ)を設け。
下部のアンダーマスクを基板から除くことによってその
との色素層をも同時に物理的に除去する、いわゆるリバ
ースエツチング法(又はリフトオフ方法)を用いてなさ
れるのが好ましい。
との色素層をも同時に物理的に除去する、いわゆるリバ
ースエツチング法(又はリフトオフ方法)を用いてなさ
れるのが好ましい。
これは後で溶解可滝な物質を用いてアンダーマスクを形
成後、その上に蒸着色素層を設け、しかる後にアンダー
マスクを溶解することによって所望のパターン形成を行
なうものである。リバースエツチング法によればアンダ
ーマスク自身が除去されることによってパターンが形成
されるので基板とにカラーフィルタを同一平面上に形成
できる。
成後、その上に蒸着色素層を設け、しかる後にアンダー
マスクを溶解することによって所望のパターン形成を行
なうものである。リバースエツチング法によればアンダ
ーマスク自身が除去されることによってパターンが形成
されるので基板とにカラーフィルタを同一平面上に形成
できる。
[実施例1
以下1本発明の実施例を図面を参照して詳細に説明する
。
。
第1図は、TFT上に色素層を形成させる過程の一実施
例を示す概略断面図である。
例を示す概略断面図である。
第1図(a)において、先ず基板(ガラス;コーニング
社製7059) Sの上に、100OAのITO膜から
なる画素電極15を、フォトリソ工程によって所望のパ
ターンに形成した。次に同図(b)において、AFを1
00OA厚に真空蒸着し、フォトリソ工程により所望の
パターンのゲート電極1を形成した0次に同図(C)に
おいて、感光性ポリイミドから成る絶縁膜5を100O
A厚に塗布し、露光・現像処理により、画素電極15が
、ドレイン電極4とコンタクトする為のスルーホールを
形成した。次に同図(d)において、N2で希釈された
5iHaを真空中でグロー放電法によって堆積させるこ
とにより、a−Si層からなる2000A厚の光導電P
!1te(イントリンシック層=iB)を形成した後、
その上に同様な工程によりa−Si層からなるn′層1
7を形成し、更にドライエツチング法により前記n・層
17を所望の形状にエツチングして薄膜トランジスタを
形成した0次に同図(f)において、APを100OA
厚に真空蒸着し、フォトリソ工程により所望のパターン
のソース電極3及びドレイン電極4を形成した。
社製7059) Sの上に、100OAのITO膜から
なる画素電極15を、フォトリソ工程によって所望のパ
ターンに形成した。次に同図(b)において、AFを1
00OA厚に真空蒸着し、フォトリソ工程により所望の
パターンのゲート電極1を形成した0次に同図(C)に
おいて、感光性ポリイミドから成る絶縁膜5を100O
A厚に塗布し、露光・現像処理により、画素電極15が
、ドレイン電極4とコンタクトする為のスルーホールを
形成した。次に同図(d)において、N2で希釈された
5iHaを真空中でグロー放電法によって堆積させるこ
とにより、a−Si層からなる2000A厚の光導電P
!1te(イントリンシック層=iB)を形成した後、
その上に同様な工程によりa−Si層からなるn′層1
7を形成し、更にドライエツチング法により前記n・層
17を所望の形状にエツチングして薄膜トランジスタを
形成した0次に同図(f)において、APを100OA
厚に真空蒸着し、フォトリソ工程により所望のパターン
のソース電極3及びドレイン電極4を形成した。
このようにして薄膜トランジスタの形成された画素電極
(ドレイン電極4)上に同図(g)に示すように色素層
(カラーフィルタ) 14を形成した。
(ドレイン電極4)上に同図(g)に示すように色素層
(カラーフィルタ) 14を形成した。
ここで色素層(カラーフィルタ) 14の基板上への形
成過程を更に詳しく説明する。
成過程を更に詳しく説明する。
先ず、銅フタロシアニン化合物の精製を以下の様に行な
った。 Noポートに市販の銅フタロシアニン(例えば
°“ヘリオゲン・ブルーL7080°’ BASF製)
を所定’f入れ、真空容器内に設置し、真空度10’T
orrにおいて、ll!0ポートを400℃に加熱し、
Noポート周辺に微量のN2ガスをフローさせながら1
時間保持した。しかる後、室温まで放冷し、真空容器内
から1lIQポートを取り出し、精製銅フタロシアニン
とした。
った。 Noポートに市販の銅フタロシアニン(例えば
°“ヘリオゲン・ブルーL7080°’ BASF製)
を所定’f入れ、真空容器内に設置し、真空度10’T
orrにおいて、ll!0ポートを400℃に加熱し、
Noポート周辺に微量のN2ガスをフローさせながら1
時間保持した。しかる後、室温まで放冷し、真空容器内
から1lIQポートを取り出し、精製銅フタロシアニン
とした。
次いで、スピンナー塗布法により、ポジ型レジスト(商
品名、 0FPR800、東京応化1)を5000〜?
000Aの1漠厚で画素電極上に塗布した0次に90℃
、30分間のプリベータを行なった後、紫外光にてマス
ク露光を行ない専用現像液に1分間浸漬し、同じく専用
リンス液に1分間浸漬してレジストマスクを形成した0
次にレジストマスクの形!されたフォトセンサーアレイ
全面に露光を行ない溶剤に可溶とした。続いてフォトセ
ンサー7レイとIl!oポートに詰めた精製銅フタロシ
アニンを真空容器内に設置し、真空度1O−5〜1O−
6TorrにおいてMoポートを450〜550℃に加
熱し、銅フタロシアニンの蒸着を行ない膜厚は4000
Aとした。しかる後に0FPR専用現像液中にて浸ff
l攪拌を行ない、レジストマスクを溶解しながら蒸着膜
の不要部分を除去することによってパターン状青色色素
層を形成した。続いてこのパターン状青色色素層の形成
されたフォトセンサーアレイ上に、同様な工程で0FP
R800を塗布し露光・現像した後、次のパターン状緑
色色素に相当するレジストマスクを形成した。全面露光
後空蒸M機に設置し、今度はpbフタロシアニンを45
0〜550℃で蒸着し3000Aの膜を得た。しかる後
に現像液で浸漬攪拌し、パターン状緑色色票層を形成し
た。さらに全く同様な工程により、ペリレンテトラカル
ボン酸誘導体系の赤色色票として、イルガジンレッドB
P丁 (商品名チバガイギー製CI No71127)
を、400〜500℃で約300OA蒸看し、現像液処
理によりパターン状赤色色素層を得た。
品名、 0FPR800、東京応化1)を5000〜?
000Aの1漠厚で画素電極上に塗布した0次に90℃
、30分間のプリベータを行なった後、紫外光にてマス
ク露光を行ない専用現像液に1分間浸漬し、同じく専用
リンス液に1分間浸漬してレジストマスクを形成した0
次にレジストマスクの形!されたフォトセンサーアレイ
全面に露光を行ない溶剤に可溶とした。続いてフォトセ
ンサー7レイとIl!oポートに詰めた精製銅フタロシ
アニンを真空容器内に設置し、真空度1O−5〜1O−
6TorrにおいてMoポートを450〜550℃に加
熱し、銅フタロシアニンの蒸着を行ない膜厚は4000
Aとした。しかる後に0FPR専用現像液中にて浸ff
l攪拌を行ない、レジストマスクを溶解しながら蒸着膜
の不要部分を除去することによってパターン状青色色素
層を形成した。続いてこのパターン状青色色素層の形成
されたフォトセンサーアレイ上に、同様な工程で0FP
R800を塗布し露光・現像した後、次のパターン状緑
色色素に相当するレジストマスクを形成した。全面露光
後空蒸M機に設置し、今度はpbフタロシアニンを45
0〜550℃で蒸着し3000Aの膜を得た。しかる後
に現像液で浸漬攪拌し、パターン状緑色色票層を形成し
た。さらに全く同様な工程により、ペリレンテトラカル
ボン酸誘導体系の赤色色票として、イルガジンレッドB
P丁 (商品名チバガイギー製CI No71127)
を、400〜500℃で約300OA蒸看し、現像液処
理によりパターン状赤色色素層を得た。
このようにして色素層を形成した後、第1図(h)で示
すように、基板上の全面に透明絶縁層1Bとしてネガレ
ジスト(例、東京応化tlJODUR)を形成し、更に
その全面Fにポリイミド樹脂を。
すように、基板上の全面に透明絶縁層1Bとしてネガレ
ジスト(例、東京応化tlJODUR)を形成し、更に
その全面Fにポリイミド樹脂を。
+20OA厚に塗布し、250°C21時間の加熱硬化
を行ってポリイミド樹脂層19を形成し、しかる後に、
該ポリイミド樹脂FEl19の表面をラビング処理して
液晶を配向させる配向機能を付寥させた。
を行ってポリイミド樹脂層19を形成し、しかる後に、
該ポリイミド樹脂FEl19の表面をラビング処理して
液晶を配向させる配向機能を付寥させた。
この様にして配向機能を付饗したポリイミド樹脂層から
成る電極基板と、他方の対向電極基板とを対向させ、そ
の間隙に液晶を注入することにより、カラー液晶表示素
子を構成することができる。
成る電極基板と、他方の対向電極基板とを対向させ、そ
の間隙に液晶を注入することにより、カラー液晶表示素
子を構成することができる。
また、色素層の他の構成法としては、TPTを形成した
電極基板上だけでなく、第2図に示すように他方の電極
基板上に形成された透明電極上に色素層を形成して、前
記第6図に示したカラー液晶表示素Iに構成することも
できる。
電極基板上だけでなく、第2図に示すように他方の電極
基板上に形成された透明電極上に色素層を形成して、前
記第6図に示したカラー液晶表示素Iに構成することも
できる。
又1本発明は液晶として前述したTN型液晶の他に強誘
電性液晶、特に少なくとも2つの安定状態を示すカイラ
ルスメクチック液晶を用いることができる。
電性液晶、特に少なくとも2つの安定状態を示すカイラ
ルスメクチック液晶を用いることができる。
[発明の効果]
以上、説明したとおり、本発明によれば、予め銅フタロ
シアニン化合物から塩化銅を精製分離しその含有量を低
減させているため、この精製銅フタロシアニン化合物を
用いて気相堆積法により形成されたカラーフィルタの青
色色素層中に含まれる塩化銅の量も低減され、液晶表示
セル内部にカラーフィルタを配設した構成をとっても液
晶の電気光学的性能に影響を及ぼさず、液晶表示パネル
としての機能及び耐久性に優れたカラー液晶表示素子を
提供することができる。
シアニン化合物から塩化銅を精製分離しその含有量を低
減させているため、この精製銅フタロシアニン化合物を
用いて気相堆積法により形成されたカラーフィルタの青
色色素層中に含まれる塩化銅の量も低減され、液晶表示
セル内部にカラーフィルタを配設した構成をとっても液
晶の電気光学的性能に影響を及ぼさず、液晶表示パネル
としての機能及び耐久性に優れたカラー液晶表示素子を
提供することができる。
第1図(a)〜(h)は本発明による色素層形成過程の
−・実施例を示す概略構成図、第2図は本発明の別な一
実施例を示す構造断面図、第3図及び第4図はTF丁基
板の斜視図及び平面図、第5図はそのA−A ’に沿っ
た断面図、第6図はカラー液晶表示装置の基本構造図で
ある。 1、Ia〜1d;ゲート電極、 laa、 tab;ゲート線(行電極)、2a〜2d;
TFT層。 3 、3a、 3b;ソース線(列電極)、4.48〜
4d; ドレイン電極、 5、5a、 5b、 9 ;絶縁層、 7、S;基板。 8;対向′心棒、 工0;シール部材、 Il、液晶層。 12、 +3.偏光子。 14、14a 〜14d ;カラー74 )ty夕2
15;画素電極、 16;光導電層(a−3i(i) ) 。 17;n一層(a−5i(nl))、 18−透明絶縁層、 19;ポリイミド樹脂層。
−・実施例を示す概略構成図、第2図は本発明の別な一
実施例を示す構造断面図、第3図及び第4図はTF丁基
板の斜視図及び平面図、第5図はそのA−A ’に沿っ
た断面図、第6図はカラー液晶表示装置の基本構造図で
ある。 1、Ia〜1d;ゲート電極、 laa、 tab;ゲート線(行電極)、2a〜2d;
TFT層。 3 、3a、 3b;ソース線(列電極)、4.48〜
4d; ドレイン電極、 5、5a、 5b、 9 ;絶縁層、 7、S;基板。 8;対向′心棒、 工0;シール部材、 Il、液晶層。 12、 +3.偏光子。 14、14a 〜14d ;カラー74 )ty夕2
15;画素電極、 16;光導電層(a−3i(i) ) 。 17;n一層(a−5i(nl))、 18−透明絶縁層、 19;ポリイミド樹脂層。
Claims (1)
- 一対の電極基板の間に液晶を挟持し、それらの電極基板
のいずれか一方の基板の内側にカラーフィルタを配設し
て成るカラー液晶素子において、カラーフィルタを構成
する色素層のうち少なくとも青色色素層が銅フタロシア
ニン化合物の気相堆積膜より成り、かつその青色堆積膜
中に不純物として含有される塩化銅を10ppm以下に
抑制したことを特徴とするカラー液晶素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61058269A JPS62215924A (ja) | 1986-03-18 | 1986-03-18 | カラ−液晶素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61058269A JPS62215924A (ja) | 1986-03-18 | 1986-03-18 | カラ−液晶素子 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62215924A true JPS62215924A (ja) | 1987-09-22 |
Family
ID=13079456
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61058269A Pending JPS62215924A (ja) | 1986-03-18 | 1986-03-18 | カラ−液晶素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62215924A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6704075B2 (en) * | 2000-02-14 | 2004-03-09 | Seiko Epson Corporation | Color filter substrate, method of fabricating color filter substrate, liquid crystal device, method of fabricating liquid crystal device, and electronic apparatus |
-
1986
- 1986-03-18 JP JP61058269A patent/JPS62215924A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6704075B2 (en) * | 2000-02-14 | 2004-03-09 | Seiko Epson Corporation | Color filter substrate, method of fabricating color filter substrate, liquid crystal device, method of fabricating liquid crystal device, and electronic apparatus |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6016178A (en) | Reflective guest-host liquid-crystal display device | |
JP2600929B2 (ja) | 液晶画像表示装置およびその製造方法 | |
JPH10268300A (ja) | 反射型ゲストホスト液晶表示装置 | |
US6188458B1 (en) | Liquid crystal display device with thick interlayer insulating film under pixel electrode | |
JPH1010582A (ja) | 液晶ディスプレイ装置及びその製造方法 | |
US6559916B1 (en) | Reflective guest-host liquid-crystal display device | |
JP3163576B2 (ja) | アクティブマトリクス型液晶表示装置 | |
US6091470A (en) | Active matrix substrate with concave portion in region at edge of pixel electrode and method for fabricating the same using ashing treatment | |
US7777849B2 (en) | Liquid crystal display panel and method of fabricating the same | |
US8059241B2 (en) | Liquid crystal display and method of manufacturing the same | |
JPH08122522A (ja) | カラーフィルタ、ブラックマトリックス、表示装置、アクティブマトリックス型液晶表示装置、及びその製造方法 | |
US20200012137A1 (en) | Substrate for display device, display device, and method of producing substrate for display device | |
JP2001264810A (ja) | アクティブマトリクス基板及びその製造方法 | |
US6850300B2 (en) | Multi-domain liquid crystal display device with particular dielectric frames | |
JPS62215924A (ja) | カラ−液晶素子 | |
KR100275213B1 (ko) | 횡전계방식액정표시소자및그제조방법 | |
JP2685086B2 (ja) | アクティブマトリックス液晶ディスプレイの下基板の製造方法 | |
JPS6279402A (ja) | カラ−フイルタの製造方法 | |
JPS6381327A (ja) | 液晶表示装置 | |
KR20060066370A (ko) | 어레이 기판과, 이의 제조 방법 및 이를 갖는 액정표시패널 | |
JPH0769548B2 (ja) | 液晶表示装置 | |
JPS60191289A (ja) | カラ−表示装置 | |
JP3327281B2 (ja) | アクティブマトリクス型表示装置 | |
JPH07287220A (ja) | 液晶装置およびその製造方法 | |
JPS6088986A (ja) | カラ−液晶表示装置 |