JPS62215833A - 振動測定器 - Google Patents
振動測定器Info
- Publication number
- JPS62215833A JPS62215833A JP5803486A JP5803486A JPS62215833A JP S62215833 A JPS62215833 A JP S62215833A JP 5803486 A JP5803486 A JP 5803486A JP 5803486 A JP5803486 A JP 5803486A JP S62215833 A JPS62215833 A JP S62215833A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measured
- vibration
- electron beam
- article
- spot
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- Pending
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- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
電子ビームをナイフェツジに照射し、反射電子量の差に
より微振動を検知する。
より微振動を検知する。
本発明は振動測定器、さらに詳しく言えば、２つの物体
ＡとＢとの相対的な微振動を調べる測定器に関するもの
である。
ＡとＢとの相対的な微振動を調べる測定器に関するもの
である。
被測定物Ａと重量物Ｂ（床、定盤など）との間の相対的
振動を測定し、振動してはいけない被測定物Ａが振動し
ているかどうか、また振動しているときに振動の量を検
知するには、干渉計が用いられる。干渉計においては光
源からの光を２つまたはそれ以上の光線に分け、異なる
光路を進んでから再結合させ、干渉を起させることによ
って振動を測定するものである。それに代えてレーザ干
渉針が用いられるようになり、それは光源としてレーザ
を使うものでレーザ光の強度が高いため、干渉光源の光
路差が従来の干渉計に対して大である利点がある。
振動を測定し、振動してはいけない被測定物Ａが振動し
ているかどうか、また振動しているときに振動の量を検
知するには、干渉計が用いられる。干渉計においては光
源からの光を２つまたはそれ以上の光線に分け、異なる
光路を進んでから再結合させ、干渉を起させることによ
って振動を測定するものである。それに代えてレーザ干
渉針が用いられるようになり、それは光源としてレーザ
を使うものでレーザ光の強度が高いため、干渉光源の光
路差が従来の干渉計に対して大である利点がある。
レーザ干渉計においては信号がディジタルに出てくるも
ので、１００人がＬＳＢ （ｌｅａｓｔ ５１ｇｎ１
ｆｉｃａｎｔｂｉｔ 、最小桁のビット）であり、振幅
が１００人より小なる微振動をアナログでリアルタイム
に検知することができない。
ので、１００人がＬＳＢ （ｌｅａｓｔ ５１ｇｎ１
ｆｉｃａｎｔｂｉｔ 、最小桁のビット）であり、振幅
が１００人より小なる微振動をアナログでリアルタイム
に検知することができない。
本発明はこのような点に鑑みて創作されたもので、微振
動を細かく検知しうる振動測定器を提供することを目的
とする。
動を細かく検知しうる振動測定器を提供することを目的
とする。
第１図は本発明実施例の配置を示す図であり、同図にお
いて、１１は被測定物、１２は重量物例えば床、定盤な
ど、１３はナイフェツジ、１４は電子ビーム発生器、１
５は反射電子の検出器である。
いて、１１は被測定物、１２は重量物例えば床、定盤な
ど、１３はナイフェツジ、１４は電子ビーム発生器、１
５は反射電子の検出器である。
本発明においては、ビーム例えば電子ビーム発生器１４
を剛体のもの例えば重量物１２に固定し、電子をナイフ
ェツジ１３に細長いビーム形状で照射して反射電子の量
を反射電子検出器１５で検出し、ナイフェツジ１３従っ
て被測定物１１の移動量を検出する。
を剛体のもの例えば重量物１２に固定し、電子をナイフ
ェツジ１３に細長いビーム形状で照射して反射電子の量
を反射電子検出器１５で検出し、ナイフェツジ１３従っ
て被測定物１１の移動量を検出する。
〔作用〕
本発明、の原理は第２図と第３図に示される。第２図に
矢印で示す如くに電子ビーム１６が照射されるとき、ナ
イフェツジに照射した電子ビーム１６は反射されて検出
器１５に検出されるが、ナイフェツジに照射されない電
子ビームは検出器１５に届がない。そこで、ナイフェツ
ジ１３が矢印Ｉに示す如く図に見て左右に揺れると、検
出器１５が検知する反射電子ビームの量が変化する。
矢印で示す如くに電子ビーム１６が照射されるとき、ナ
イフェツジに照射した電子ビーム１６は反射されて検出
器１５に検出されるが、ナイフェツジに照射されない電
子ビームは検出器１５に届がない。そこで、ナイフェツ
ジ１３が矢印Ｉに示す如く図に見て左右に揺れると、検
出器１５が検知する反射電子ビームの量が変化する。
電子ビームの形状を第３図に示す如く四角なものにする
と、ナイフェツジが矢印Ｉに示す如く左右に揺れると矢
印２で示す電子ビームの量に変化が発生ずる。１μｍの
幅の反射電子ビームの量（出力）が１００であるとして
、検出器１５が出力９９を検知すると、ナイフェツジが
１μｍの１／ １００ ｔなわち０．０１μｍ移動した
ことが検知されるから、例えば検出器をオシログラフに
連結すると、ナイフェツジすなわち被測定物１１の微振
動が目視的に検知できるのである。
と、ナイフェツジが矢印Ｉに示す如く左右に揺れると矢
印２で示す電子ビームの量に変化が発生ずる。１μｍの
幅の反射電子ビームの量（出力）が１００であるとして
、検出器１５が出力９９を検知すると、ナイフェツジが
１μｍの１／ １００ ｔなわち０．０１μｍ移動した
ことが検知されるから、例えば検出器をオシログラフに
連結すると、ナイフェツジすなわち被測定物１１の微振
動が目視的に検知できるのである。
以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細に説明する
。
。
再び第１図を参照すると、光源（ビーム源）例えば電子
ビーム発生器１４とナイフェツジ１３とは柔構造すなわ
ちベロー１７で結合し、電子ビーム発生器１４が振動し
ても、ナイフェツジは同期的に振動するようにし、電子
ビーム発生器１４の振動のナイフェツジに対する影響を
なくしておく。
ビーム発生器１４とナイフェツジ１３とは柔構造すなわ
ちベロー１７で結合し、電子ビーム発生器１４が振動し
ても、ナイフェツジは同期的に振動するようにし、電子
ビーム発生器１４の振動のナイフェツジに対する影響を
なくしておく。
本発明においては、光源とナイフェツジのいずれかを被
測定物１１に固定するのであり、第１図の実施例におい
てはナイフェツジ１３をアクソチメント１８を介して被
測定物に固定する。かくすることによって、被測定物１
１の振動がそのままナイフェツジ１３に伝えられる。
測定物１１に固定するのであり、第１図の実施例におい
てはナイフェツジ１３をアクソチメント１８を介して被
測定物に固定する。かくすることによって、被測定物１
１の振動がそのままナイフェツジ１３に伝えられる。
電子ビーム発生器１４から放射される電子ビーム１６は
、レンズ１９によって所望のスポットに絞られる。スポ
ットの大小は被測定物の振動幅に相対的に適宜設定する
。それは、スポットが振動量に対してあまりにも大また
は小であると検知が確実になされなくなることを防止す
るためである。
、レンズ１９によって所望のスポットに絞られる。スポ
ットの大小は被測定物の振動幅に相対的に適宜設定する
。それは、スポットが振動量に対してあまりにも大また
は小であると検知が確実になされなくなることを防止す
るためである。
電子ビーム形状（スポット）が第３図に示されるものの
如くであり、振動の量が矢印■で示す範囲内にあれば時
間に対する反射電子量（出力）がアナログ的に検知可能
であり、反射電子量は簡単に長さに変換されるから、検
出器１５を図示しないオシログラフに接続すると、被測
定物１１の１０人付近の振動でも目視的に検出可能であ
る。
如くであり、振動の量が矢印■で示す範囲内にあれば時
間に対する反射電子量（出力）がアナログ的に検知可能
であり、反射電子量は簡単に長さに変換されるから、検
出器１５を図示しないオシログラフに接続すると、被測
定物１１の１０人付近の振動でも目視的に検出可能であ
る。
スポットは四角形状のものが好ましいが、円形のもので
も使用可能である。
も使用可能である。
本発明の応用例として、被ヘリ定物１１が振動してはい
けないものである場合、検出器１５で被測定物の振動を
検知し、当該振動と逆の振動を被測定物１１にフィード
バックすると、被測定物１１の振動を補償または取り消
すことが可能となる。そして、電子ビームは１μｍのス
ポットにまで絞ることができるので１〜１０人の範囲の
微振動も検出でき、それを補償しまたは改り消すことが
可能となる。
けないものである場合、検出器１５で被測定物の振動を
検知し、当該振動と逆の振動を被測定物１１にフィード
バックすると、被測定物１１の振動を補償または取り消
すことが可能となる。そして、電子ビームは１μｍのス
ポットにまで絞ることができるので１〜１０人の範囲の
微振動も検出でき、それを補償しまたは改り消すことが
可能となる。
なお、上記においては電子ビームを例にとったが、本発
明の通用範囲はその場合に限定されるものではなく、他
のビーム、光またはイオンなどでも透過、反射ビームを
検出することによって被測定物の振動を検知することが
可能である。
明の通用範囲はその場合に限定されるものではなく、他
のビーム、光またはイオンなどでも透過、反射ビームを
検出することによって被測定物の振動を検知することが
可能である。
以上述べてきたように本発明によれば、被測定物の微振
動をアナログ的にリアルタイムで検知することが可能で
あり、被測定物の振動してはならないものであればその
振動の対応策がとりうる効果がある。
動をアナログ的にリアルタイムで検知することが可能で
あり、被測定物の振動してはならないものであればその
振動の対応策がとりうる効果がある。
第１図は本発明実施例の配置を示す図、第２図は電子ビ
ームの反射を検知する原理を示す図、 第３図は電子ビーム形状とナイフェツジの相対関係を示
す図である。 第１図ないし第３図において、 １１は被測定物、 １２は重量物、 １３はナイフェツジ、 １４は電子ビーム発生器、 １５は検出器、 １６は電子ビーム、 １７はへロー、 １８はアクソチメント、 １９はセンスである。 代理人 弁理士 久木元 彰 復代理人 弁理士 大 菅 義 之 本肩ト明隻鬼イ列蓼り勤口 第１図 第２図 第３図
ームの反射を検知する原理を示す図、 第３図は電子ビーム形状とナイフェツジの相対関係を示
す図である。 第１図ないし第３図において、 １１は被測定物、 １２は重量物、 １３はナイフェツジ、 １４は電子ビーム発生器、 １５は検出器、 １６は電子ビーム、 １７はへロー、 １８はアクソチメント、 １９はセンスである。 代理人 弁理士 久木元 彰 復代理人 弁理士 大 菅 義 之 本肩ト明隻鬼イ列蓼り勤口 第１図 第２図 第３図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 被測定物（１１）の剛性重量物（１２）に相対的な振動
を測定する手段において、 ビーム源（１４）とナイフエッジ（１３）とを柔構造（
１７）で結合し、 ナイフエッジ（１３）は被測定物（１１）に固定し、ビ
ーム源（１４）からのビーム（１６）を絞って作られる
スポットをナイフエッジ（１３）に照射し、ナイフエッ
ジ（１３）からのビーム（１６）の反射量を検出器（１
５）で検知する構成としたことを特徴とする振動測定器
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5803486A JPS62215833A (ja) | 1986-03-18 | 1986-03-18 | 振動測定器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5803486A JPS62215833A (ja) | 1986-03-18 | 1986-03-18 | 振動測定器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62215833A true JPS62215833A (ja) | 1987-09-22 |
Family
ID=13072653
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5803486A Pending JPS62215833A (ja) | 1986-03-18 | 1986-03-18 | 振動測定器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62215833A (ja) |
-
1986
- 1986-03-18 JP JP5803486A patent/JPS62215833A/ja active Pending
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