JPS62214310A - ウエハ外径の検出方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、ウェハ外径の検出方法に関する。

゛　　［従来の技術］ 半導体素子等の素子群をその表面に対して２次元的に配
設・形成させた円形ウェハは、例えば粘着シート等に被
着させた後、表面に形成された素子群を素子片に分割す
る状態で各ペレットに破折し、分離させるようにしてい
る。粘着シート上で分割される各ペレットは、所定方向
、例えばｘｙ方向に整列される状態とされる。各ペレッ
トに分割された円形ウェハは粘着シートに被着された状
態でペレット装着装置の移動テーブルに移載され、該装
置により順次整列されたペレットの摘出が行われる。ペ
レットの摘出は、コレットにより行われる。すなわち、
円形ウェハは移動テーブルによりペレットの整列方向［
ｘｙ方向〕にピッチ移動し、順次整列されるペレットを
コレットが保持して、リードフレーム等の基板のペレッ
ト装置部に装着すｆ能としている。

ところで、このようにして各ペレットに分割される円形
ウェハとコレットを相対移動する場合に、予め該円形ウ
ェハの外径を検出する必要がある。すなわち、円形ウェ
ハには、直径を異にする様々な外径寸法を備えたものが
存在し、しかもその外径位置も様々なため、コレ−／　
トと円形ウェハの相対移動を該円形ウェハの範囲内で効
率的に行うには、ペレット装着装置に供給される円形ウ
ェハの外径を正確に把握することが必要となる。

従来、円形ウェハの外径は第７図（Ａ）〜第７図（Ｃ）
にボす方法によ′りその検出が行われている。この方法
では、ペレット装着装置に供給される同一寸法の円形ウ
ェハのうち、最初のウニｌ＼１０を、先ずベレー、ト装
着装置のテーブル上に載置する。供給されるウェハ１０
は、分割されるペレット１１を粘着シート１２に被着し
てなり、該シート１２上でｘｙ力方向整列されてなる。

ウェハ１０の円周方向［Ａ方向］における所定の円弧位
置には、オリフラ部１３が備えられ、該オリフラ部１３
は所定の円弧領域を切断した状態で形成される。オリフ
ラ部１３は、ウェハ１０の形成過程において、該ウェハ
ｌＯの構成材であるシリコンの結晶方向を指ボするため
に設けられるものである。

テーブル上に供給される最初のウェハ１０は、先ず第７
図（Ａ）に示すように、ウェハ１０の略中心に対する４
つの円周位置に初期基準円周点Ｐｉ、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４
が設定される。４つの円周点ＰＬ−Ｐ４は、ウェハ１０
の略中心を２＆鵡に相ユに９０度離隔される方向で順次
設定される。

各円周点Ｐ１〜Ｐ４の設定は、テーブルの上方に配設さ
れる工業用テレビカメラ１４の照準点に対してテーブル
を相対移動し、作業者がカメラ１４のモニタにより粘着
シート１２とウェハｌＯの端部境界位置を視認すること
により行なわれる。この際、オリフラ部１３側の円周点
Ｐ４は、オリフラ部１３が存在しない仮想円周上に設定
される。

このようにして、各初期基準円周点Ｐ１〜Ｐ４が設尾さ
れると、テーブルの移動制御部はテーブルの移動量から
テーブル上の原点０に対する各円周点Ｐｉ−Ｐ４の座標
位置をペレット装着装置の記憶部に出力するようにして
いる。出力された各円周点Ｐ１〜Ｐ４の座標位置は、記
憶部に記憶される。記憶される各座標位置は、テーブル
上に載置される該最初のウェハ１０および略同−位置に
順次後から供給される略同−寸法のウェハ１０の外径位
置を自動検出するための目安となる指標点とされる。

次に、上記指標点とされる各円周点Ｐｉ−Ｐ４を用いて
、最初のウェハ１０および後から順次供給されるウェハ
ｌＯの外径を自動検出する過程を説明する。先ず、第７
図（Ｂ）に示すように、テーブル上に供給されるウェハ
１０に対し、工業用カメラ１４の照準点を順次上記記憶
される各円周点位置Ｐ１〜Ｐ４に向って相対移動し、各
位置Ｐｉ−Ｐ４におけるそれぞれ最も近接した粘着シー
ト１２とウェハ１０の境界部分を自動検出するようにし
ている。そして該カメラ１４の検出時におけるテーブル
の移動量を基準に、Ｐｉの位置に対応する検出円周点Ｑ
１．Ｐ２の位置に対応する検出円周点Ｑ２．Ｐ３の位置
に対応する検出円周点Ｑ３、Ｐ４の位置に対応する検出
円周点Ｑ４の各座標位置を順次認定するようにしている
。

このようにして、供給されるウェハｌＯの各検出円周点
Ｑｌ−Ｑ４が検出されると、次にテーブル上の原点Ｏに
対する該供給されるウェハ１０の中心座標位置Ｒの検出
作業が行われる。中心座標位置Ｒの検出は、先ず２８７
図（Ｃ）に示すように、上記検出された各検出円周点の
うち、例えば検出円周点Ｑ２とＱ４を用いて弦１５を、
検出円周点Ｑ３とＱ４を用いて弦１６を設定する０次に
各弦１５．１６におけるそれぞれの中点Ｓ１およびＳ２
の座標位置を演算し、弦１５における垂直二等分線１７
、弦１６における垂直二等分線１８を設定する。この状
態で設定された垂直二等分線１７．１８の交点座標位置
を演算し、該位置をウェハ１０の中心座標位置Ｈに設定
することとしてる。

上記のように設定された中心座標位置Ｒを用いてウェハ
１０の外径位置を検出する場合、該位置Ｒと例えば検出
円周点９３間の座標間圧＃ｒを求め、位置Ｒを中心にし
て半径ｒの円１９を設定する。こうして設定された円１
９の円周位置をウェハ１０の外径位置と認定し、該円周
内に配設されるペレット１１の配列ピッチに応じてテー
ブルを相対移動し、円周内の各ペレット１１を摘出する
ようにしている。

［発明が解決しようとする問題点］ しかしながら、上記のようにして設定された円１９の外
径位置は、第７図（Ｃ）に示すように実際のウェハ１０
の外径に対してずれる状態とされていた。これはウェハ
１０の真の座標中心位ｆｉＴに対する検出円周点Ｑ４の
位置が、実際の円周位置よりオリフラ部１３の分だけ中
心側にずれて認識されるためである。すなわち、円周点
Ｑ４を基準としてウェハ１０の中心座標位置を設定する
と、該設定された中心Ｒはウェハ１０の真の中心位ＩＴ
からずれることに起因する。このように、実際のウェハ
１０に対してずれた円１９の外径位置をウェハ外径とし
て認定すると、第７図（Ｃ）にボす領域Ｂ１およびＢ２
の部分でペレット１１の取り残しを生ずることがある。

このため、従来、テーブル上に供給されるウェハ１０の
外径を確実かつ容易に自動認識する方法の開発が望まれ
ていた。

本発明は、オリフラ部の影響を受けることなく１円形ウ
ェハの外径位はを確実かつ容易に検出することを目的と
している。

［問題点を解決するための手段］ 上記目的を達成するために、本発明は、素子片としての
各ペレットに分割され、円周方向での所定の円弧位置に
オリフラ部を備えてなる円形ウェハのウェハの外径検出
方法であって、オリフラ部の位置を認定し、認定される
オリフラ部以外の複数の円周座標位置を検出し、検出さ
れた各円周座標位置を基準にウェハ中心位置並びにウェ
ハ径を演算し、この演算により求めたウェハ中心位置並
びにウェハ径を基準にウェハの外径を検出ｏ１能とする
ようにしている。

［作用］ 本発明によれば、オリフラ部に対応する部分以外の円周
座標位置を基準にウェハ中心位置並びにウェハ径が算出
されるため、該ウェハの正確な中心位置が把握されるこ
ととなり、さらに、該中心位置とウェハ径とにより、円
形ウェハの正確な外径位置を検出することが可能となる
。これにより、オリフラ部の影響を受けることなく、円
形ウェハの外径位置を確実かつ容易に検出することが口
ｆ能となる。

［実施例］ 以ド、本発明の実施例を図面を参照して説明する。

第１図（Ａ）〜第１図（Ｃ）はそれぞれ本発明の一実施
例に係るウェハ外径の検出過程を示す平面図、第２図は
ペレット装着装置の要部を示す平面図、第３図は第２図
の■−■線に沿う断面図、第４図は第２図のＩＶ−ＩＶ
線に沿う断面図、第５図（Ａ）〜第５図（Ｃ）はそれぞ
れ工業用テレビカメラによりウェハを視認する状態を示
すモニタ図、第６図は整列されるペレットの摘出過程を
示す平面図である。

素子片としての各ペレットに分割され、円周方向での所
定の円弧位置にオリフラ部を備えてなる円形ウェハは、
例えば第２図に示すペレット装着装置２０に供給される
。該装置２０は供給されるウェハの各ペレットを摘出し
て不図示のリードフレームの各ペレット装着部に装着可
能としている。

ペレット装着装置２０は、平面ＸＹ方向に移動口ｆ能な
ＸＹテーブル２１を備えてなる。ざらにＸＹテーブル２
１の上面には、ＸＹテーブル２１に対してθ方向に回転
Ｏｆ能とされる回転テーブル２２が配設される０回転テ
ーブル２２の上面には保持フレーム２３がボルト２４を
介して固着される。保持フレーム２３には、ペレット装
着装置２０に供給されるウェハを保持ｒｉ（能とする支
持リング部２５が備えられる。

支持リング部２５に供給され、かつ保持されるウェハ２
６は、第２図および第３図に示すように粘着シート２７
の上面に被着されてなる。さらにウェハ２６を被着した
粘着シート２７の上面周部にはリング体２８が被着され
る。供給されるウェハ２６は円形とされ、該ウェハ２６
はｘｙ力方向分割し、整列される複数のペレット２９に
て構成される。また、ウェハ２６の所定の円弧位置には
、オリフラ部３０が備えられる。供給されるつエバ２６
の各ペレット２９は、それぞれ長方形状とされ、回路パ
ターンを焼付けてなる。さらに粘着シート２７上の各ペ
レット２９間には、該シート２７の放射方向への引伸し
により間隙が形成されてなる。ウェハ２６の外周位置に
配設されるリング体２８は、該シート２７の引伸し状態
において粘着シート２７の上面の被着され、シート２７
の引伸し状態を保持ｔ＝ｆ能としている。

ウェハ２６を保持する支持リング部２５の上方位置には
、コレット３１が配記される。コレット３１は、第２図
に不すように揺動アーム３２の先端部に取着されてなり
、該揺動アーム３２は矢示Ｃ方向に揺動可能とされる。

すなわち、揺動アーム３２は、支持リング部２５の上方
のペレット摘出位置３３と不図示のベレット装着位置の
間を往復揺動される。この結果、コレット３１は、ペレ
ット摘出位置３３に揺動された状態で、該位置３３のト
方に位置する粘着シート２７上のペレット２９を摘出し
、保持可能としている。コレット３１に摘出・保持され
たペレット２９は、コレット３１がペレット装着位置に
揺動された状態で該位置に位置決めされるり−トフレー
ムのベレット装着部に装着される。ベレット摘出位置３
３に対する摘出されるべきペレット２９の位置決めは、
先ず回転テーブル２２の回転調整により、整列されるペ
レット２９のｘｙＹ方向ＸＹテーブル２１のＸＹ方向を
一致させるようにする。この状態でＸＹテーブル２１を
隣接するペレット２９間のピッチをもってピッチ移動し
、これにより順次摘出すべきペレット２９をペレット摘
出位置３３に位置決めすることができる。こうして、ペ
レット装着装置２０は、ＸＹテーブル２１のピッチ移動
および揺動アーム３２の往復揺動により、順次不図示の
ペレット装着位置に位置決めされるリードフレームのベ
レット装着部にペレット２９を装着口■能としている。

しかして、ペレット装着装置２０の支持リング部２５に
供給され、ペレット２９の摘出が行われるウェハ２６は
、該外径ウェハ２６が供給された段階でウェハ２６の外
径位置を検出するようにしている。ウェハ２６の外径位
置は、回転テーブル２２上の原点Ｏに対する座標位置で
認定され、該認定された外径位置の範囲で各ペレット摘
出装置３３に対するペレー２ト２９の移動および位置決
めを行うようにしている。

ここで、ペレット装着装置２０の支持リング部２５への
ウェハ２６の供給は、第２図に示すウェハストッカ３４
に収納されるウェハ２６を、順次装着装置２０に移送し
て行われる。ウェハストッカ３４は、ペレット装着装置
２０に対する左方に配設され、第４図に示すように上下
に複数段のウニへ収納部３５を備えてなる。ウェハスト
ッカ３４は、第４図に示すようにＹ方向における内側部
をガイドロッド３６に支持されてなり、ストッカ３４は
不図示の昇降手段の作動を介して該ガイドロッド３６に
沿って上ドに昇降６（能とされる。

各ウェハ収納部３５におけるウェハ２６の収納状態は、
ウェハ２６を被着する粘着シート２７の周部のリング体
２８を各収納部３５に形成される凹部３７に挿入する状
態で行われる。一つのウェハストッカ３４内において、
各収納部３５に収納されるウェハ２６は、略同−の外径
寸法を有するものとされる。また、各ウェハ２６のオリ
フラ部３０は、それぞれ矢示り方向に向ける状態で収納
される。

ウェハストッカ３４からペレット装着装置２０へのウェ
ハ２６の供給は、第２図に示すウェハ搬送体３８の駆動
により行われる。ウェハ搬送体３８は、矢示Ｘ方向に配
設されるガイドロッド３９に対し、スライドアーム４０
を矢ｙＸ方向に移動可能としている。スライドアーム４
０の先端部には一対の把持体４ＬＡ、４１Ｂが備えられ
、一対の把持体４１Ａ、４１Ｂは、矢示Ｅ方向に把持駆
動Ｃｉ（能とされる０把持体４ＬＡ、４１Ｂは、スライ
ドアーム４０のＸ方向の往復動によりウェハストッカ３
４のウェハ供給位置４２とペレット装着装置２０の支持
リング部２５の上方との間を往復動される。搬送体３８
によるウェハ２６の供給は、先ず把持体４１Ａ、４１Ｂ
をウニ／＼供給位は４２にスライド移動させ、該位置４
２に位置決めされるウェハ２６を把持体４１Ａ、４１Ｂ
により把持するようにしている。この際、供給位置４２
には、ウェハストッカ３４の昇降を介して所定のウェハ
収納部３５に収納されるウェハ２６が位置決めされる６
把持体４１Ａ、４１Ｂによるウェハ２６の把持は、粘着
シート２７の周部に取着されるリング体２８を保持する
ことにより行われる［第３図参照］０把持体４１Ａ、４
１Ｂに把持されるウェハ２６はペレット装着装置２０側
に移動され、移動されたウェハ２６はさらに支持リング
部２５の上部に解放される。支持リング部２５に解放さ
れたウェハｚ６は、リング体２８が支持リング部２５に
嵌合される状態で該リング部２５に支持されることとな
る［第３図参照］、支持リング部２５に供給されるウェ
ハ２６の各ペレット２９が摘出されると粘着シート２７
は、不図示の排出位置に排出され、続いてリング部２５
には新たなウェハ２６がウェハストッカ３４から供給さ
れる。ウェハストッカ３４からのウェハ２６の供給は、
上方のウェハ収納部３５に収納されるウェハ２６から順
に行われる。このためウェハストッカ３４は、各収納部
３５が順次ウェハ供給位置４２に位置決めされるよう上
昇移動される。

このようにして、ペレット装着装置２０に順次供給され
、ペレット２９の摘出が行われるウェハ２６は、供給さ
れるウェハ２６ごとに該ウェハ２６の中心座標位置が認
定され、該中心座標位置に対するウェハ２６の外径位置
の検出が行われる。順次供給されるウェハ２６の外径を
検出するにあたっては、先ず略同−外径寸法のウェハ２
６のうち、最初に供給されるウェハ２６の初期基準円周
点Ｕ１、Ｕ２、Ｕ３、Ｕ４がそれぞれ設定される［第１
図（Ａ）参照］、４つの円周点Ｕ１〜Ｕ４は、ウェハ２
６の略中心を基準に相互に９０度離隔される方向で順次
設定される０円周点Ｕｌ〜Ｕ４を設定するにあたっては
、ウェハ２６のＸＹ方向がＸＹテーブル２１のＸＹ方向
に相応するように回転テーブル２２がθ方向に移動調整
される。各円周点Ｕｌ−Ｕ４の設定は、回転テーブル２
２の上方に配設される工業用テレビカメラ４３に対し、
ＸＹテーブル２１を移動調整して行なわれる。このうち
３つの各円周点Ｕ１〜Ｕ３の設定は、テレビカメラ４３
のモニタにより１作業者が粘着シート２７とウェハ２６
の境界部分を視認し、ウェハ２６の略中心に対する各方
向での境界部分をそれぞれ円周点Ｕｌ−［３として認識
することにより行なわれる。オリフラ部３０が存在する
矢ボＤ方向での円周点Ｕ４は、粘着シート２７とウェハ
２６の境界部分よりも中心側に設定するようにしている
。このようにして各初期基準円周点Ｕ１〜Ｕ４がそれぞ
れ設定されると、ＸＹテーブル２１の移動制御部は、Ｘ
Ｙテーブル２１の移動量から、このＸＹテーブル２１上
の原点Ｏに対する各円周点Ｕ１〜Ｕ４の座標位置を記憶
部４４に出力するようにルている。出力される各座標位
置は支持リング部２５に支持される該最初のウェハ２６
および略同−位置に順次後から供給される略同−寸法の
ウェハ２６の外径位置を自動検出するための目安となる
指標点とされる。

次に、上記指標点とされる初期基準円周点Ｕｌ−Ｕ４を
用いて最初に供給されるウェハ２６および後から順次供
給されるウェハ２６の実円周点ｖ１〜ｖ３を求め、それ
らウェハ２６の外径を自動検出する過程を説明する。先
ず、第１図（Ｂ）に示すように、支持リング部２５に供
給されるウェハ２６の外周位置をカメラ４３のモニタ領
域に移動する。この移動はＸＹテーブル２１の移動制御
部によって制御され、上記記憶部４４に記憶される各初
期基準円周点Ｕ１〜Ｕ４のうち。

オリフラ部３０の方向［Ｄ方向］以外の各円周点Ｕ１．
Ｕ２．Ｕ３の位置を順次カメラ４３により検出する状態
ドで行なわれる。すなわち円周点Ｕ４は、原点０に対す
る間隔文４が、他の各円周点Ｕ１〜Ｕ３と原点Ｏとの間
隔ｆＬｔ〜交３に対して極端に短い座標間距離とされる
［第１図（Ｂ）］ため、円周点Ｕ４をオリフラ部３０の
方向と判定し、カメラ４３に対するＵ４の位置の対応移
動が除外されることとなる。

カメラ４３による実円周点■１〜■３の各位置の検出は
ＸＹテーブル２１をＸＹ方向に移動調整して行われる。

すなわち、実円周点ｖ１の位置を例にとると、第５図（
Ａ）のモニタ図に示すように記憶される初期基準円周点
Ｕ１の位置をカメラ４３により検出する場合、まず、該
カメラ４３の照準点４５をＵｌのＸ座標値に合せるよう
にＸＹテーブル２１を移動する０次いでＸＹテーブル２
１をＹ方向に移動させ、照準点４５を円周点Ｕ１に向か
って移動させることで、第５図（Ｂ）に示されるように
、Ｕｌの位置に最も近接する粘着シート２７とウェハ２
６の境界部分を検出する。このようにして、移動された
境界部分がカメラにより自動検出され、該位置がＵｌに
対する検出実円周点ｖｉとなる。

このようにして、供給されるウェハ２６の３つの各実円
周点Ｖｌ−Ｖ３が検出されると、次に原点０に対する該
供給されるウェハ２６の中心座標位置Ｗの検出作業が行
われる。中心座標位置Ｗの検出は、先ず第１図（Ｃ）に
示すように、上記検出された各検出実円周点■１〜ｖ３
のうち、各検出実円周点ｖ１とＶ２を用いて弦４６を、
検出実円周点Ｖｌとｖ３を用いて弦４７を設定する９次
に各弦４６．４７におけるそれぞれの中点ＭｌおよびＭ
２の座標位置を演算し、弦４６における垂直二等分線４
８、弦４７における垂直二等分線４９を設定する。この
状態で設定された垂直二等分線４８．４９の交点座標位
置を演算し、該位置をウェハ２６の中心座標Ｗに設定す
ることとしている。

上記のように設定された中心座標位置Ｗを用いてウェハ
２６の外径位置を検出する場合、該位置Ｗと例えば検出
実円周点Ｖ１間の座標間距離ｒを求め、位置Ｗを中心に
して半径ｒの円を設定する。なお、この半径ｒは、中心
座標位置Ｗと各検出実円周点ｖ１〜■３間のそれぞれの
座標間距離の相乗平均から求めてもいいし、検出実円周
点Ｖ２とＶ３の距離の半分として求めてもよい、こうし
て設定された円の円周位置をウェハ２６の外径位置と認
定し、該円周内に配設されるペレット２９の摘出をコレ
ット３１により行うようにしている。ペレット２９の摘
出を行うに際しては、予め第５図（Ｃ）に示すように整
列される各ペレット２９のうちＸ方向における隣接する
ペレット２９間のピッチＰ１およびＹ方向における隣接
するペレット２９間のピッチＰ２がそれぞれカメラ４３
を用いて認定される。こうして認定されたピッチＰ１お
よびＰ２によりＸＹテーブル２１をＸＹ方向にピッチ駆
動し、第６図に示すようにペレット摘出位置３３に順次
矢印Ｎ方向で対応するペレット２９を相対位置決めする
。この結果、位置決めされたペレット２９が順次コレラ
）３１により摘出されることとなる。

次に、上記実施例の作用を説明する。

上記実施例に係るウェハ外径の検出方法によれば、オリ
フラ部３０に対応する部分以外の検出実円周点Ｖｌ−Ｖ
３を基準にウェハ中心位置Ｗ並びにウェハ径が算出され
るため、該外径ウェハ２６の正確な中心位置が把握され
ることとなり、さらに、外径中心位置Ｗとウェハ径とに
より、円形ウェハ２６の正確な外径位置を検出すること
が四■能となる。これにより、オリフラ部３０の影響を
受けることなく、円形ウェハ２６の外径位置を確実かつ
容易に検出することがＯｆ能となる。このため、例えば
従来のように、ペレット２９の取り残し等の不具合が解
消されることとなる。

［発明の効果］ 以上のように、本発明は、素子片としての各ペレットに
分割され、円周方向での所定の円弧位置にオリフラ部を
備えてなる円形ウェハのウェハの外径検出方法であって
、オリフラ部の位置を認定し、認定されるオリフラ部以
外の複数の円周座標位置を検出し、検出された各円周座
標位置を基準にウェハ中心位置を検出し、該ウェハ中心
位置並びにウェハ径を演算し、この演算により求めたウ
ェハ中心位置並びにウェハ径を基準にウェハの外径を検
出可能とするようにし、たため、オリフラ部の影響を受
けることなく、円形ウェハの外径位置を確実かつ容易に
検出することができるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図（Ａ）〜第１図（Ｃ）はそれぞれ木発明の一実施
例に係るウェハ外径の検出過程を示す平面図、第２図は
ベレット装着装置の要部を示す平面図、第３図は第２図
の■−■線に沿う断面図、第４図は第２図のＩＶ−ＩＶ
線に沿う断面図、第５図（Ａ）〜第５図（Ｃ）はそれぞ
れ工業用テレビカメラによりウェハを視認する状態を示
すモニタ図、第６図は整列されるベレットの摘出過程を
示す平面図、第７図（Ａ）〜第７図（Ｃ）はそれぞれ従
来のウェハ外径の検出過程を示す平面図である。 ２６・・・ウェハ、２９・・・ベレット、３０・・・オ
リフラ部、Ｕ１〜Ｕ４・・・初期基準円周点、■１〜ｖ
３・・・実円周点、Ｗ・・・ウェハ中心位置。 代理人　弁理士　　塩　川　修　冶 第３図 第４図 第５図（Ａ） 第５図（Ｂ）

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）素子片としての各ペレットに分割され、円周方向
   での所定の円弧位置にオリフラ部を備えてなる円形ウエ
   ハのウエハの外径検出方法であって、オリフラ部の位置
   を認定し、認定されるオリフラ部以外の複数の円周座標
   位置を検出し、検出された各円周座標位置を基準にウエ
   ハ中心位置並びにウエハ径を演算し、この演算により求
   めたウエハ中心位置並びにウエハ径を基準にウエハの外
   径を検出可能とするウエハ外径の検出方法。