JPS62212291A - 種結晶支持治具 - Google Patents
種結晶支持治具Info
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- JPS62212291A JPS62212291A JP5576686A JP5576686A JPS62212291A JP S62212291 A JPS62212291 A JP S62212291A JP 5576686 A JP5576686 A JP 5576686A JP 5576686 A JP5576686 A JP 5576686A JP S62212291 A JPS62212291 A JP S62212291A
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- Japan
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- seed crystal
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- jig
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Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、引上法による単結晶製造において使用する種
結晶支持治具の構造に関するものである。
結晶支持治具の構造に関するものである。
（従来の技術とその問題点）
引上法における単結晶の成長は第５図のような装置によ
って行われる。すなわちルツボ１に溶かしたメルト２に
１種結晶支持治具３に支持した種結晶４を一旦浸漬して
引き上げ、単結晶５を成長させる。
って行われる。すなわちルツボ１に溶かしたメルト２に
１種結晶支持治具３に支持した種結晶４を一旦浸漬して
引き上げ、単結晶５を成長させる。
種結晶支持治具３は成長した単結晶５の重量を保持する
に十分な強度をもち、また種結晶４の着脱が容易であり
、さらに高重量単結晶を成長させた場合に種結晶支持治
具により種結晶を破断させないことが必要条件となる。
に十分な強度をもち、また種結晶４の着脱が容易であり
、さらに高重量単結晶を成長させた場合に種結晶支持治
具により種結晶を破断させないことが必要条件となる。
従来の種結晶支持治具には、第６図のような、種結晶支
持治具６に種結晶４を金属線７で緊縛するもの、また第
７図（ａ）、（ｂ）のような１種結晶支持治具８に横手
方向に穴を開け、金属ピン９を差し込み種結晶４を支持
するものがあった。
持治具６に種結晶４を金属線７で緊縛するもの、また第
７図（ａ）、（ｂ）のような１種結晶支持治具８に横手
方向に穴を開け、金属ピン９を差し込み種結晶４を支持
するものがあった。
しかし近・年は、単結晶の大直径化に伴い、その重量が
増大して従来の種結晶支持治具では支持が困難となった
。
増大して従来の種結晶支持治具では支持が困難となった
。
たとえば、第６図の場合には。
ａ）高重量単結晶を成長させたとき、金属線が延び種結
晶の支持がゆるくなり種結晶が抜は落ちる。
晶の支持がゆるくなり種結晶が抜は落ちる。
ｂ）金属線が破断し種結晶が落下する。
Ｃ）支持治具と種結晶の着脱が容易でない。
等の問題があった。
また第７図の場合は、高重量単結晶を成長させたとき、
金属ピン９と種結晶４の接触部分１０に負荷が集中し、
クラックが入り種結晶が破断落下するというような問題
を生じた。
金属ピン９と種結晶４の接触部分１０に負荷が集中し、
クラックが入り種結晶が破断落下するというような問題
を生じた。
（問題点を解決するための手段）
以上の問題点を解決するため１本発明者は種々検討を重
ねた結果本発明を達成したもので、これは引上法により
単結晶を製造する際に用いる種結晶支持治具であって、
下端面中央に種結晶挿入孔を有する種結晶支持治具本体
、本体側方から挿入され種結晶を圧接するコマおよびテ
ーパー付き本体と下方で密着するコマ脱出防止り゛ング
とからなり、該コマは圧接面にテーパーを有し種結晶と
密着してこの脱落を防止することを特徴とする種結晶支
持治具である。
ねた結果本発明を達成したもので、これは引上法により
単結晶を製造する際に用いる種結晶支持治具であって、
下端面中央に種結晶挿入孔を有する種結晶支持治具本体
、本体側方から挿入され種結晶を圧接するコマおよびテ
ーパー付き本体と下方で密着するコマ脱出防止り゛ング
とからなり、該コマは圧接面にテーパーを有し種結晶と
密着してこの脱落を防止することを特徴とする種結晶支
持治具である。
つぎに本発明の種結晶支持治具を、例示する第１〜３図
によって詳細に説明する。
によって詳細に説明する。
まず、側面に下向きのテーパー面１１を形成した種結晶
４を１種結晶支持治具本体１２の下部に設けた種結晶挿
入孔１３に挿入する。つぎに、先端に上向きのテーパー
面を備えたコマ１４を１本体下部に横手方向に設けた穴
に挿入し、リング１５を下げて穴をふさぎコマの脱出を
防ぐ。種結晶のテーパー面はコマのテーパー面に密着す
る方向に加工されているので、種結晶は支持治具本体に
確実に支持される。
４を１種結晶支持治具本体１２の下部に設けた種結晶挿
入孔１３に挿入する。つぎに、先端に上向きのテーパー
面を備えたコマ１４を１本体下部に横手方向に設けた穴
に挿入し、リング１５を下げて穴をふさぎコマの脱出を
防ぐ。種結晶のテーパー面はコマのテーパー面に密着す
る方向に加工されているので、種結晶は支持治具本体に
確実に支持される。
種結晶支持治具本体１２の側面はテーパーをつけ下方に
向かって先太になっているので、リング１５の引き上げ
が容易であるとともに、リングを下げて穴をふさぐ位置
に達したとき、リングは本体と固着してコマの脱出、し
たがって種結晶の脱落を防止することができる。
向かって先太になっているので、リング１５の引き上げ
が容易であるとともに、リングを下げて穴をふさぐ位置
に達したとき、リングは本体と固着してコマの脱出、し
たがって種結晶の脱落を防止することができる。
この場合１種結晶とコマとの接触面積が広いため、高重
量単結晶を成長させても種結晶が接触部分より破断する
ことはない、しかもテーパー構造のため、結晶成長が進
み単結晶重量が増大するにつれ、種結晶の支持が一層堅
固になるという利点がある。
量単結晶を成長させても種結晶が接触部分より破断する
ことはない、しかもテーパー構造のため、結晶成長が進
み単結晶重量が増大するにつれ、種結晶の支持が一層堅
固になるという利点がある。
種結晶挿入孔１３は種結晶の形状により丸形でも角形で
もよい。
もよい。
種結晶を種結晶支持治具から離脱させるには。
リング１５を上方向に上げることにより、コマ１４が横
手方向に移動が可能となるため、種結晶４を下方向に抜
いて容易に種結晶を離脱させることができる。
手方向に移動が可能となるため、種結晶４を下方向に抜
いて容易に種結晶を離脱させることができる。
また種結晶支持治具の素材としては金属、非金属、セラ
ミックスまたは黒鉛等が好適である。
ミックスまたは黒鉛等が好適である。
（実施例）本発明の種結晶支持治具（素材は鉄）に種結
晶を支持し、引張り力を加えて丸形種結晶が破断すると
きの力を調べ、この結果を第４図に示す、このときのコ
マのテーパー面の角度は８６、テーパー面の面積は１．
３ ａＪ、種結晶の直径は１２．７園であった。
晶を支持し、引張り力を加えて丸形種結晶が破断すると
きの力を調べ、この結果を第４図に示す、このときのコ
マのテーパー面の角度は８６、テーパー面の面積は１．
３ ａＪ、種結晶の直径は１２．７園であった。
（比較例）従来形ピン挿入式種結晶支持治具（素材は鉄
、第７図参照）に丸形種結晶を支持し、実施例と同じ方
法で種結晶が破断するときの力を調べ、結果を第４図に
示す。このときの金属ピンの直径は５■、種結晶の直径
は１２．７ｎｗａ、種結晶に設けた四部の半径は５１１
１１、であった。図面より明らかなように、本発明の治
具によれば、２００ ｋｇ／Ｊの荷重まで種結晶は破断
せず、従来法のものに対し４倍以上の強度を示した。
、第７図参照）に丸形種結晶を支持し、実施例と同じ方
法で種結晶が破断するときの力を調べ、結果を第４図に
示す。このときの金属ピンの直径は５■、種結晶の直径
は１２．７ｎｗａ、種結晶に設けた四部の半径は５１１
１１、であった。図面より明らかなように、本発明の治
具によれば、２００ ｋｇ／Ｊの荷重まで種結晶は破断
せず、従来法のものに対し４倍以上の強度を示した。
（発明の効果）
本発明の種結晶支持治具を使用すれば、高重量の単結晶
でも破断脱落すること−なく引き上げることができ、し
かも構造が簡単で、種結晶の着脱も容易であり、実用上
きわめて有用なものである。
でも破断脱落すること−なく引き上げることができ、し
かも構造が簡単で、種結晶の着脱も容易であり、実用上
きわめて有用なものである。
第１図は本発明の種結晶支持治具の斜視図を、第２図は
本発明の種結晶支持治具の縦断面図を、第３図は第２図
の１−１線を通る横断面図を、第４図は本発明と従来の
種結晶支持治具の強度の比較図を、第５図は引上法によ
る単結晶製造装置の概略図を、第６図は従来の種結晶支
持治具の一例の正面図を、第７図（ａ）は従来の種結晶
支持治具の他の例の正面図を、（ｂ）はその縦断面図を
示す。 １・・・ルツボ、 ２・・・メルト、３・・・種結晶
支持治具、 ４・・・種結晶、５・・・単結晶、６・・
・種結晶支持治具、７・・・金属線、 ８・・・種結晶
支持治具。 ９・・・金属ピン 、１０・・・接触部分、１１・・・
テーパー面、１２・・・種結晶支持治具本体。 １３・・・種結晶挿入孔、 １４・・・コマ、１５・・
・リング。 特許出願人 信越半導体株式会社 第１図 、！−４ｔ、１月 名り宋彰ピン特入孔゛第
５図 第６図
本発明の種結晶支持治具の縦断面図を、第３図は第２図
の１−１線を通る横断面図を、第４図は本発明と従来の
種結晶支持治具の強度の比較図を、第５図は引上法によ
る単結晶製造装置の概略図を、第６図は従来の種結晶支
持治具の一例の正面図を、第７図（ａ）は従来の種結晶
支持治具の他の例の正面図を、（ｂ）はその縦断面図を
示す。 １・・・ルツボ、 ２・・・メルト、３・・・種結晶
支持治具、 ４・・・種結晶、５・・・単結晶、６・・
・種結晶支持治具、７・・・金属線、 ８・・・種結晶
支持治具。 ９・・・金属ピン 、１０・・・接触部分、１１・・・
テーパー面、１２・・・種結晶支持治具本体。 １３・・・種結晶挿入孔、 １４・・・コマ、１５・・
・リング。 特許出願人 信越半導体株式会社 第１図 、！−４ｔ、１月 名り宋彰ピン特入孔゛第
５図 第６図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）引上法により単結晶を製造する際に用いる種結晶支
持治具であって、下端面中央に種結晶挿入孔を有する種
結晶支持治具本体、本体側方から挿入され種結晶を圧接
するコマおよびテーパー付き本体と下方で密着するコマ
脱出防止リングとからなり、該コマは圧接面にテーパー
を有し種結晶と密着してこの脱落を防止することを特徴
とする種結晶支持治具。 ２）種結晶挿入孔の断面形状が丸形あるいは角形の特許
請求の範囲第１項記載の種結晶支持治具。 ３）種結晶支持治具の素材が金属、非金属、高純度セラ
ミックスおよび黒鉛から選ばれる特許請求の範囲第１項
記載の種結晶支持治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5576686A JPS62212291A (ja) | 1986-03-13 | 1986-03-13 | 種結晶支持治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5576686A JPS62212291A (ja) | 1986-03-13 | 1986-03-13 | 種結晶支持治具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62212291A true JPS62212291A (ja) | 1987-09-18 |
| JPH0536395B2 JPH0536395B2 (ja) | 1993-05-28 |
Family
ID=13007981
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5576686A Granted JPS62212291A (ja) | 1986-03-13 | 1986-03-13 | 種結晶支持治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62212291A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5948164A (en) * | 1997-09-02 | 1999-09-07 | Shin Etsu Handotai Co., Ltd. | Seed crystal holder |
| CN102051681A (zh) * | 2010-12-31 | 2011-05-11 | 镇江荣德新能源科技有限公司 | 一种用于制备单晶硅的籽晶 |
| CN110230093A (zh) * | 2019-07-10 | 2019-09-13 | 深圳市全普科技有限公司 | 一种用于单晶硅生长炉的籽晶夹持提拉装置 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54123477A (en) * | 1978-03-10 | 1979-09-25 | Tokai Tanpaku Shiryo Kk | Production of feed based on feather |
| JPS59131596A (ja) * | 1983-01-18 | 1984-07-28 | Hitachi Metals Ltd | 種結晶支持具 |
| JPS59174594A (ja) * | 1983-03-18 | 1984-10-03 | Hamamatsu Photonics Kk | 種結晶保持装置 |
| JPS60239390A (ja) * | 1984-05-10 | 1985-11-28 | Mitsui Mining & Smelting Co Ltd | 単結晶育成用種結晶の保持方法 |
| JPS6110098A (ja) * | 1984-06-25 | 1986-01-17 | Fujitsu Ltd | 単結晶成長装置 |
-
1986
- 1986-03-13 JP JP5576686A patent/JPS62212291A/ja active Granted
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54123477A (en) * | 1978-03-10 | 1979-09-25 | Tokai Tanpaku Shiryo Kk | Production of feed based on feather |
| JPS59131596A (ja) * | 1983-01-18 | 1984-07-28 | Hitachi Metals Ltd | 種結晶支持具 |
| JPS59174594A (ja) * | 1983-03-18 | 1984-10-03 | Hamamatsu Photonics Kk | 種結晶保持装置 |
| JPS60239390A (ja) * | 1984-05-10 | 1985-11-28 | Mitsui Mining & Smelting Co Ltd | 単結晶育成用種結晶の保持方法 |
| JPS6110098A (ja) * | 1984-06-25 | 1986-01-17 | Fujitsu Ltd | 単結晶成長装置 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5948164A (en) * | 1997-09-02 | 1999-09-07 | Shin Etsu Handotai Co., Ltd. | Seed crystal holder |
| CN102051681A (zh) * | 2010-12-31 | 2011-05-11 | 镇江荣德新能源科技有限公司 | 一种用于制备单晶硅的籽晶 |
| CN110230093A (zh) * | 2019-07-10 | 2019-09-13 | 深圳市全普科技有限公司 | 一种用于单晶硅生长炉的籽晶夹持提拉装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0536395B2 (ja) | 1993-05-28 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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