JPS62211569A - 電子部品の測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、ＩＣ，ＬＳＩ等の複数の端子を備えた電子部
品の各特性を測定可能とする電子部品の測定装置に関す
る。

［従来の技術］ 従来、例えば、ＩＣ，ＬＳＩのＡＣ特性、ＤＣ特性等電
子部品の各特性を測定する場合、電子部品の測定装置を
用いて行なうようにしている。電子部品の測定装置には
、例えば実公昭５８−１８５４５号や実開昭５９−１８
３９７２号の各公報に記載されるような電子部品の測定
装置が用いられ、該測定装置は、電子部品の複数の端子
のそれぞれに接触可能とされる測定子を備える。

第７図は、従来の電子部品の測定装置を示す正面図であ
る。この電子部品の測定装！１１０はＩＣの特性測定用
に係り、基板１１上に一対の測定体１２を支持してなる
。一対の測定体１２の間には、ＩＣｌ３が順次位置決め
可能とされ、該ＩＣｌ３は本体部の両側部に複数の端子
１４を下方に向けて突出するＤＩＰ型とされる。各測定
体１２には、位置決めされるＩＣｌ３の各端子１４にそ
れぞれ対応配置する測定子１５が備えられる。各測定子
１５は、導電性の金属板材をビン状に切断して形成され
、さらに各測定子１５は基板１１に対する支持状態にお
いて、それぞれ測定部１６に導通可能とされる。測定子
１５の外方には、押動手段としてのシリンダ装置１７が
配設される。シリンダ装置１７には、矢示Ａ方向に駆動
するピストンロッド１８が備えられ、該ピストンロッド
１８の先端部には押え棒１９が取着される。シリンダ装
置１７はピストンロフト１８の前進駆動により、各測定
子１５を２点鎖線に示すように押動可能とし、該押動は
押え棒１９により行なわれる。この結果、各測定子１５
の先端部を対応するＩＣｌ３の各端子１４に接触させる
ことが可能となる。各測定子１５が対応する端子１４に
接触されると、測定部１６は、各端子１４との間で測定
信号を送受可能としている。この結果、測定部１６は該
測定信号の送受状態によりＩＣｌ３の特性を測定するこ
とが可能となる。ＩＣｌ３の特性が測定されるとシリン
ダ装置１７のピストンロッド１８が後退駆動され、各測
定子１５の押動状態が解除されることとなる。この結果
、端子１４に接触されていた測定子１５が第７図の実線
に示す位置に復元移動されることとなる。測定の完了し
たＩＣｌ３は、不図示の移送位置に移送され、これにか
えて各測定体１２の間には、次に測定の行なわれるＩＣ
ｌ３が移送され、かつ測定されることとなる。

［発明が解決しようとする問題点］ しかしながら、上記従来の測定装置１０にあっては、各
測定子１５がそれぞれ独立したピン形状とされていたた
め、長期使用することによりそれぞれの測定子１５の先
端部位置にばらつきを生じることがあった。この結果、
特定の測定子１５が対応する端子１４に接触されなかっ
たりする不具合があった。このような不具合は位置決め
されるＩＣｌ３の端子１４の位置にばらつきがある場合
も同様に生じていた。また、各測定子１５は、薄い金属
板材をピン形状に切断して形成していたため、長い間に
わたって押動および押動解除を繰り返すことで曲げ疲労
を起こし易いものとされた。

この結果、測定装置の寿命がその分短いものとされてい
た。

本発明は、測定装置の各測定子と電子部品の端子の接触
を確実にし、電子部品の特性測定を確実かつ容易に行う
ことを目的としている。

［問題点を解決するための手段］ 上記目的を達成するために、本発明は、本体部の両側部
にそれぞれ複数の端子を備えてなる電子部品を各端子に
対応する測定子に接触させる状態で電子部品の特性を測
定可能とする電子部品の測定装置において、電子部品の
本体部を支持し、弾性変形材料で形成される支持台を備
え、支持台の両側部に支持台上に支持される電子部品の
各端子に対向する状態で測定子を配設するとともに、支
持台に外力を加えて支持台を弾性変形し、各測定子を対
応する端子に接触可能とする加圧子を備えることとして
いる。

［作用］ 本発明によれば、各測定子は、支持台の両側部にそれぞ
れ配設され、支持されるため、従来のように長期使用に
より各測定子間にばらつきを生じることがない、また、
加圧子による加圧作動により支持台を弾性変形し、これ
により各測定子を対応する端子に確実に接触させること
が可能となる。この結果、測定装置の各測定子と電子部
品の端子の接触を確実にし、電子部品の特性測定を確実
かつ容易に行うことが可能となる。

［実施例］ 以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。

第１図は本発明の一実施例に係るＩＣの測定装置を示す
斜視図、ｗ４ｚ図は第１１Ｎの要部斜視図、第３図は基
板上に配設される接続子を拡大して示す斜視図、第４図
（Ａ）、ＣＢ）はそれぞれ第１図のＩＶ−ＩＶ線に係り
、第４図（Ａ）は支持台の弾性変形前の状態を示す断面
図、第４図（Ｂ）は支持台の弾性変形状態を示す断面図
である。

ＩＣの測定装置２０は、非導電性材料で形成される基板
２１上に支持台２２を配設してなる。支持台２２は断面
台形状とされ、長手方向をＹ方向として配設してなる。

支持台２２は、全体を弾性変形可能とされ、かつ非導電
性材料からなる材質１例えば可撓性を有する樹脂または
ゴム等の材料にて形成される。支持台２２の上面はＩＣ
２３の滑走面２４とされてなり、ＩＣ２３は滑走面２４
を滑走する状態で矢示Ｂ方向に搬送される。

すなわち、支持台２２を支持する基板２１は、ＩＣ２３
が滑走面２４を矢示Ｂ方向に下降されるように傾斜状態
として配設される。

滑走面２４を滑走されるＩＣ２３は、本体部２５の両側
部にそれぞれ６つの端子２６を下方に向けて突出するＤ
ＩＰ型とされる。このため、ＩＣ２３は、各端子２６を
それぞれ支持台２２の各側部と対向する状態で滑走面２
４上に支持され、滑走されることとなる。また、ＩＣ２
３はＹ方向における端子２６の配列ピッチをＰｉとして
なる。

矢示Ｂ方向に滑走されるＩＣ２３は停留位置２７で停留
され、ＩＣ２３の特性測定が行われる。停留位置２７へ
のＩＣ２３の停留は進退ロー２ド２８の駆動により行わ
れる。該ロッド２８は滑走されるＩＣ２３の先頭部分に
対して矢示Ｚ方向に進退駆動可能とされる。すなわち、
ＩＣ２３は１本体部２５の先頭部分に進退ロッド２８を
第１図に示すように前進駆動することで停留位置２７に
停留させることが可能となる。停留位置２７における支
持台２２の両側部の表面には、複数の測定子２９がＹ方
向に配列ピッゲＰ２をもって配設される。この測定子２
９の配列ピッチＰ２は、上記ＩＣ２３の端子２６の配列
ピッチＰｉよりも小さいものとされ、停留位置２７に停
留されるＩＣ２３は、各端子２６がそれぞれ複数の各測
定子２９と対向されるようにしている。各測定子２９は
、支持台２２の各側部から底部に向けて延設される状態
で配設される。各測定子２９は、導電性金属材料にて形
成され、非導電性材料からなる支持台２２の表面にエツ
チング、蒸着等の方法によりパターン状に形成される。

支持台２２の基板２１に対する配設は、支持台２２の底
部を第４図（Ａ）に示すように基板２１上に載置し、さ
らに該支持台２２を不図示の固定手段により基板２１に
対して固定することにより行われる。支持台２２が載置
される基板２１の表面Ｙ方向には、６つの接続体３０が
連続状態で配設される。６つの接続体３０は、停留位置
２７のＩＣ２３の各端子２６に対応する状態で基板２１
上のＹ方向に並列して配設される。すなわち、６つの接
続体３０のＹ方向における配列ピッチは、上記ＩＣ２３
の端子２６の配列ピッチと同じＰｌとされ、各接続体３
０はＩＣ２３の各端子２６と１対１に対応することとな
る。各接続体３０は、第３図に示すように一端部に接触
部３１を、他端部にピン接続部３２を備えてなる。基板
ｚｌ上の各ピン接続部３２には、各々接続ピン３３が接
続可能とされる。各接続ピン３３は、各接続体３０に対
応する状態で基板２１上に配設され、各接続ピン３３は
第１図に示すように基板２１を貫通する状態で該基板２
１に支持されてなる。基板２１の裏面側の各接続ピン３
３は各々プローブピン３４に接続され、各プローブピン
３４は、第４図（Ａ）に示すように測定部３５に接続可
能とされる。この結果、基板２１の表面に形成される各
接続体３０は、各々測定部３５に導通されることとなる
。

基板２１に対する支持台２２の蔵置は、第２図に示すよ
うに底部に配設される各測定子２９をＹ方向に沿って配
設される各接続体３０の接触部３１に接触させる状態で
行われる。この際、直径りを有する接触部３１は、小さ
いピッチＰ２をもって配設される各測定子２９の複数と
導通状態となる。この結果、停留されるＩＣ２３の各端
子２６に対向する複数の測定子２９が、それぞれ測定部
３５に導通される状態となる。

停留位置２７に停留されるＩＣ２３の上方位置には、矢
示Ｚ方向に駆動される加圧子３６が備えられる。加圧子
３６は、停留位１１２７にＩＣ２３が停留された状態で
下降駆動し、ＩＣ２３の本体部２５に当接可使・とされ
る、先端を本体部２５に当接してなる加圧子３６は、さ
らに下降されることとなり、これにより、支持台２２は
基板２１とＩＣ２３の本体部２５間に挟持されることと
なる。支持台２２に対してこのような外力［挟持力］が
加わると、支持台２２は弾性変形材料で形成されるため
、各側部を外方に膨出する状態で変形されることとなる
［第４図ＣＢ）参照］、このようにして、支持台２２に
弾性変形が生じると、端子２６に対向され、対応する接
続体３０に接続される複数°の測定子２９が各端子２６
と接触されることとなる。この状態で測定部３５は、接
続体３０を介して、それぞれ対応する端子２６との間で
測定信号を送受可能としてなる。この結果、測定部３５
は該信号の送受状態により、停留位置２７に停留される
ＩＣ２３の特性を測定可能としてなる。

このようにして、停留されるＩＣ２３の特性が測定され
ると、加圧子３６は、再び第４図（Ａ）に示す状態に上
昇移動する。加圧子３６が上昇移動されると進退ロッド
２８が後退駆動され、続いてＩＣ２３は滑走面２４を滑
走する状態で矢示Ｂ方向に搬送される。続いて、滑走面
２４の上流側からは、次に特性測定の行１われるＩＣ２
３が滑走され、該ＩＣ２３は進退ロッド２８の前進駆動
により停留位置２７に停留されることとなる。このよう
に、ＩＣの測定装置２０は、矢示Ｂ方向に滑走されるＩ
Ｃ２３を順次停留位２ｔ２７に停留させ、ＩＣ２３の特
性測定を行うことが可能となる。また、上記ＩＣの測定
装置２０においては、特性測定を行なう様々の大きさの
ＩＣ２３の隣接する端子２６間の間隔Ｐｉに対応して基
板２１上に配設されるＹ方向における接続体３０間の配
列ピッチを調整すればよい、すなわち、例えば、ＩＣの
隣接する端子間の間隔が上記ＩＣ２３よりも小さいビッ
チツｘとされる場合、接続体３０間の配列ピッチをＰｘ
とすればよい、この結果、停留位８１２７に位置決めさ
れるＩＣの各端子に対向する１つまたは複数の測定子２
９が、それぞれ対応する接続体３０に接続され、さらに
該接続体３０は測定部３５に接続されることとなる。こ
のように、本装置２０は各測定子２９の１つまたは複数
を対応する接続体３０に接続することで、様々な大きさ
のＩＣの特性測定を行なうことが可能となる。

なお、支持台２２の滑走面２４の長手方向には、導電性
材料からなるＩＣ支持体２４Ａが備えられる。このＩＣ
支持体２４Ａは、滑走面２４を滑走されるＩＣ２３の本
体部２５の底部な当接し、支持可能としている。このＩ
Ｃ支持体２４Ａは、支持台２２の一側部から底部に向け
て延設されるアース部３８と接続され、さらに該アース
部３８は、支持台２２が基板２１に支持された状態で基
板ｚｌ上に配設される接続体３０Ａに接触される［第１
図参照］、この接続体３０Ａは基板ｚｌ上に配設される
アース端子３９と接続され、この結果ＩＣ支持体２４Ａ
は、該アース端子３９と電気的に接続されることとなる
。したがって、ＩＣ２３が滑走される際に発生する摩擦
電流は、ＩＣ支持体２４Ａ→ア一ス部３８→接続体３０
Ａへと流れ、アース端子３９へ接地されることとなる。

次に、上記実施例の作用を説明する。

上記実施例に係るＩＣの測定装置２０によれば、各測定
子２９が支持台２２の両側部の表面にそれぞれ配設され
、支持されるため、従来のように長期使用により各測定
子間にばらつきを生じることがない、また、加圧子３６
による加圧作動により支持台２２を弾性変形し、これに
より支持台２２に備えられる測定子２９を対応するＩＣ
２３の端子２６偏に膨出させ、測定子２９を端子２６に
接触させることが可能となる。この結果、装置２０の各
測定子２９と対応するＩＣ２３の端子２６の接触を確実
にし、ＩＣ２３の特性測定を確実かつ容易に行うことが
可能となる。

第５図は第４図（Ａ）に示す支持台の変形例を示す正面
断面図である。この支持台２ｚは、上面の長手方向に沿
って板材３７を貼着してなり、該板材３７はセラミック
ス、金属等の耐摩耗性材料にて形成される。すなわち、
支持台２２は、板材３７の上面を滑走面２４としてなり
、ＩＣ２３は該滑走面２４に沿って滑走されることとな
る０本変形例によれば、ＩＣ２３の滑らかな滑走状態を
得ることが可能となり、また、滑走面２４の耐摩耗性を
向上させることが可能となる。

第６図（Ａ）および第６図（Ｂ）は本発明の他の実施例
に係り、第６図（Ａ）は第４図（Ａ）と同様の断面図、
第６図（Ｂ）は第４図（Ｂ）と同様の断面図である。

第６図（Ａ）、（Ｂ）に示すＩＣの測定装置４０は、支
持台２２の左右両側部に、それぞれ補助測定体４１を備
えてなる。各補助測定体４１は、ゴム、可撓樹脂等の弾
性変形材料にて形成され、基板２１の上面に固着されて
なる。各補助測定体４１は、停留位置２７に停留される
ＩＣ２３の端子２６との対向面に複数の補助測定子４２
を備えてなる。補助測定子４２は、ＩＣ２３の滑走方向
に沿って、上記測定子２９に対向する状態で複数備えら
れる。各補助測定子４２も測定子２９と同様に補助測定
体４１の底部に延設されてなり、該底部の補助測定子４
２は対応する接続体３０に接続されてなる。停留位置２
７の上方位置には、加圧子４３が備えられる。加圧子４
３は、上下方向に駆動される作動ロフト４４の下端部に
支持されてなり、該加圧子４３は、停留位置２７にＩＣ
２３が停留された段階で第６図（Ａ）に示す状態から下
降駆動される。加圧子４３は、ＩＣ２３の本体部２５に
向けて下降される主加圧部４５と、主加圧部４５のＸ方
向での両側部にそれぞれ備えられ、各補助測定体４１に
向けて下降される補助加圧部４６とから構成される。こ
のうち、主加圧部４５は、上記実施例に係る加圧子３６
と同様に支持台２２に対して外力を加え、第６図（Ｂ）
に示すように支持台２２を弾性変形可能としてなる。一
方、補助加圧部４６は、弾性変形材料で形成される補助
測定体４１に外力を加え、第６図（Ｂ）に示すように補
助測定体４１を弾発変形可能としている。この結果、各
端子２６は、測定子２９と補助測定子４２間に挟持され
る状態で確実に各測定子に接触されることとなる。　　
。

これにより、測定部３５と対応する端子２６との間の測
定信号の送受により、より確実なＩＣ２３の特性測定を
行うことが可能となる。その他の構成および作用は、前
記実施例と同様である。

［発明の効果］ 以上のように１本発明は、本体部の両側部にそれぞれ複
数の端子を備えてなる電子部品を各端子に対応する測定
子に接触させる状態で電子部品の特性を測定可能とする
電子部品の測定装置において、電子部品の本体部を支持
し１弾性変形材料で形成される支持台を備え、支持台の
両側部に支持台上に支持される電子部品の各端子に対向
する状態で測定子を配設するとともに、支持台に外力を
加えて支持台を弾性変形し、各測定子を対応する端子に
接触可能とする加圧子を備えることしたため、測定装置
の各測定子と電子部品の端子の接触を確実にし、電子部
品の特性測定を確実かつ容易に行うことができるという
効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例に係るＩＣの測定装置を示す
斜視図、第２図は第１図の要部斜視図、第３図は基板上
に配設される接続子を拡大して示す斜視図、第４図（Ａ
）、ＣＢ）はそれぞれ第１図のＩＶ−ＩＶ線に係り、第
４図（Ａ）は支持台の弾性変形前の状態を示す断面図、
第４図（Ｂ）は支持台の弾性変形状態を示す断面図、第
５図は第４図（Ａ）に示す支持台の変形例を示す正面断
面図、第６図（Ａ）および第６図ＣＢ）は本発明の他の
実施例に係り、第６図（Ａ）は第４図（Ａ）と同様の断
面図、第６図（Ｂ）は第４図（Ｂ）と同様の断面図、第
７図は、従来の電子部品の測定装置を示す正面図である
。 ２０．４０・・・ＩＣの測定装置、２２・・・支持台、
２３・・−ＩＣ［電子部品］、２５、・・・本体部、２
６・・・端子、２９・・・測定子、３６．４３・・・加
圧子。 代理人　　弁理士　　塩　川　修　治 第４図（Ａ）　　　　　第４゜（８） 第５図 第６図（Ａ） 第６図（８）

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）本体部の両側部にそれぞれ複数の端子を備えてな
   る電子部品を各端子に対応する測定子に接触させる状態
   で電子部品の特性を測定可能とする電子部品の測定装置
   において、電子部品の本体部を支持し、弾性変形材料で
   形成される支持台を備え、支持台の両側部に支持台上に
   支持される電子部品の各端子に対向する状態で測定子を
   配設するとともに、支持台に外力を加えて支持台を弾性
   変形し、各測定子を対応する端子に接触可能とする加圧
   子を備えることを特徴とする電子部品の測定装置。