JP3159058B2 - 基板検査装置 - Google Patents
基板検査装置Info
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- JP3159058B2 JP3159058B2 JP15096696A JP15096696A JP3159058B2 JP 3159058 B2 JP3159058 B2 JP 3159058B2 JP 15096696 A JP15096696 A JP 15096696A JP 15096696 A JP15096696 A JP 15096696A JP 3159058 B2 JP3159058 B2 JP 3159058B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示装置ガラ
ス基板（以下、ＬＣＤ基板という）等の配線回路の電気
検査を行う基板検査装置に関するものである。
ス基板（以下、ＬＣＤ基板という）等の配線回路の電気
検査を行う基板検査装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ＬＣＤ基板の製造工程において、配線回
路の断線や短絡並びに電気的特性を調べるために、プロ
ービングテストが行われている。
路の断線や短絡並びに電気的特性を調べるために、プロ
ービングテストが行われている。
【０００３】従来、プロービングテストを行う基板検査
装置は、特開平５−２１８１５０号公報，特開平５−１
８８０８５号公報等に開示されている。
装置は、特開平５−２１８１５０号公報，特開平５−１
８８０８５号公報等に開示されている。
【０００４】特開平５−２１８１５０号公報に開示され
た基板検査装置は、支持板にコンタクトがクッション材
でバックアップされて支持され、コンタクトがプリント
回路のパッドに接触され、クッション材が弾性変形する
ようにしたものであった。
た基板検査装置は、支持板にコンタクトがクッション材
でバックアップされて支持され、コンタクトがプリント
回路のパッドに接触され、クッション材が弾性変形する
ようにしたものであった。
【０００５】また特開平５−１８８０８５号公報に開示
された基板検査装置は、検査パッドと接触させるパッド
がフレキシブル回路板に設けられ、フレキシブル回路板
の前記パッドの裏面とそれ以外の裏面に弾性力の異なる
弾性体が設けられ、検査パッドを傷付けないようにした
ものであった。
された基板検査装置は、検査パッドと接触させるパッド
がフレキシブル回路板に設けられ、フレキシブル回路板
の前記パッドの裏面とそれ以外の裏面に弾性力の異なる
弾性体が設けられ、検査パッドを傷付けないようにした
ものであった。
【０００６】また図４に示す基板検査装置は、支持ブロ
ック４０に弾性体４１が設けられ、上下する支持ブロッ
ク４０で弾性体４１を弾性変形させ、その弾性力をもっ
てフレキシブルプリント配線板４２のバンプを被検査パ
ネル４３の検査パッド４４に圧着させる構造になってい
た。
ック４０に弾性体４１が設けられ、上下する支持ブロッ
ク４０で弾性体４１を弾性変形させ、その弾性力をもっ
てフレキシブルプリント配線板４２のバンプを被検査パ
ネル４３の検査パッド４４に圧着させる構造になってい
た。
【０００７】ところで、ＬＣＤ基板の配線回路の形成技
術においても、微細加工化が進んでおり、かつ検査の感
度の向上も著しい傾向にある。
術においても、微細加工化が進んでおり、かつ検査の感
度の向上も著しい傾向にある。
【０００８】そのため、微細配線回路に対応でき、検査
パッドとの接触安定性の高い基板検査装置が望まれてい
る
パッドとの接触安定性の高い基板検査装置が望まれてい
る
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、特開平
５−２１８１５０号公報及び特開平５−１８８０８５号
公報に開示された基板検査装置は、検査パッドとの接触
が不均等であり、コンタクトの信頼性に乏しいという問
題があった。また検査パッドへのコンタクトが不均等で
あるため、部分的に接触抵抗値が増大し、微小信号を感
度良く促えることができないという問題があった。
５−２１８１５０号公報及び特開平５−１８８０８５号
公報に開示された基板検査装置は、検査パッドとの接触
が不均等であり、コンタクトの信頼性に乏しいという問
題があった。また検査パッドへのコンタクトが不均等で
あるため、部分的に接触抵抗値が増大し、微小信号を感
度良く促えることができないという問題があった。
【００１０】また図４に示す基板検査装置は、パッドを
設ける間隔が０．０５ｍｍ程度までであり、それ以上の
微細化には不向きであるとともに、弾性体でフレキシブ
ルプリント配線板を圧下するため、弾性体があてがわれ
た状態によっては、フレキシブルプリント配線板を損傷
してしまうという問題があった。
設ける間隔が０．０５ｍｍ程度までであり、それ以上の
微細化には不向きであるとともに、弾性体でフレキシブ
ルプリント配線板を圧下するため、弾性体があてがわれ
た状態によっては、フレキシブルプリント配線板を損傷
してしまうという問題があった。
【００１１】本発明の目的は、ＬＣＤ基板の高精細化に
伴う微細化した配線回路に対して、均等かつ安定な検査
パッドとの接触を実現した基板検査装置を提供すること
にある。
伴う微細化した配線回路に対して、均等かつ安定な検査
パッドとの接触を実現した基板検査装置を提供すること
にある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明に係る基板検査装置は、支持ブロックと、弾
性体と、金属板とを有し、フレキシブルプリント配線板
の複数のバンプを検査対象の検査パッドに押圧しコンタ
クトさせる基板検査装置であって、前記支持ブロック
は、下面縁側角部に横方向に伸びる溝部が設けられたも
のであり、前記弾性体は、前記支持ブロックの溝部に一
部が該支持ブロックの下面より下方に突き出るように接
着されており、前記金属板は、前記複数のバンプが並ん
でいる方向につながっており、前記突き出た弾性体の下
面と前記支持ブロックの下面後縁側とにそれぞれ接合し
て、該支持ブロックの下面側との対向面間に空間部を形
成し、該支持ブロックの下面後縁側の接合部を支点とす
るバネ性を有しており、前記バンプを有するフレキシブ
ルプリント配線板は、前記金属板の下面にバンプの反対
側面が貼り付けられているものである。
め、本発明に係る基板検査装置は、支持ブロックと、弾
性体と、金属板とを有し、フレキシブルプリント配線板
の複数のバンプを検査対象の検査パッドに押圧しコンタ
クトさせる基板検査装置であって、前記支持ブロック
は、下面縁側角部に横方向に伸びる溝部が設けられたも
のであり、前記弾性体は、前記支持ブロックの溝部に一
部が該支持ブロックの下面より下方に突き出るように接
着されており、前記金属板は、前記複数のバンプが並ん
でいる方向につながっており、前記突き出た弾性体の下
面と前記支持ブロックの下面後縁側とにそれぞれ接合し
て、該支持ブロックの下面側との対向面間に空間部を形
成し、該支持ブロックの下面後縁側の接合部を支点とす
るバネ性を有しており、前記バンプを有するフレキシブ
ルプリント配線板は、前記金属板の下面にバンプの反対
側面が貼り付けられているものである。
【００１３】
【００１４】
【作用】弾性体からの圧着力をバネ性をもつ金属板で受
けて、この圧着力をフレキシブルプリント配線板の各パ
ッドに均等に分散させ、各パッドを検査パッドに接触さ
せる。
けて、この圧着力をフレキシブルプリント配線板の各パ
ッドに均等に分散させ、各パッドを検査パッドに接触さ
せる。
【００１５】弾性体による圧着力は、各パッドに均等に
分散して負荷することとなり、全てのパッドと検査パッ
ドが安定して接触することとなる。
分散して負荷することとなり、全てのパッドと検査パッ
ドが安定して接触することとなる。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態を図に
より説明する。図１は、本発明の一実施形態に係る基板
検査装置を示す斜視図、図２（ａ）は、本発明の一実施
形態に係る基板検査装置を示す縦断面図、（ｂ）は基板
検査装置に用いるフレキシブルプリント配線板を示す正
面図である。
より説明する。図１は、本発明の一実施形態に係る基板
検査装置を示す斜視図、図２（ａ）は、本発明の一実施
形態に係る基板検査装置を示す縦断面図、（ｂ）は基板
検査装置に用いるフレキシブルプリント配線板を示す正
面図である。
【００１７】図において、支持ブロック３０ｂは、その
上面側に図示しないプロービング装置への取付用ブロッ
ク３０ａが設けられ、その下面側にゴム状に弾性体３
１，バネ性をもつ金属３２，フレキシブルプリント配線
板３３ａが設けられている。
上面側に図示しないプロービング装置への取付用ブロッ
ク３０ａが設けられ、その下面側にゴム状に弾性体３
１，バネ性をもつ金属３２，フレキシブルプリント配線
板３３ａが設けられている。
【００１８】具体的に説明すると、支持ブロック３０ｂ
は、その下面前縁側角部に横方向に延びる溝３５が設け
られており、断面角型の弾性体３１は、溝３５内に接着
剤３４ａにより接着され、その一部が支持ブロック３０
ｂの下面より下方に突き出ている。
は、その下面前縁側角部に横方向に延びる溝３５が設け
られており、断面角型の弾性体３１は、溝３５内に接着
剤３４ａにより接着され、その一部が支持ブロック３０
ｂの下面より下方に突き出ている。
【００１９】また、金属板３２は、その後縁側が支持ブ
ロック３０ｂの下面後縁側に接合されており、その前縁
側が弾性体３１の下面前縁側に延在しており、その金属
板３２の前縁側が弾性体３１の下面に接着剤３４ｂで接
着されている。
ロック３０ｂの下面後縁側に接合されており、その前縁
側が弾性体３１の下面前縁側に延在しており、その金属
板３２の前縁側が弾性体３１の下面に接着剤３４ｂで接
着されている。
【００２０】また、フレキシブルプリント配線板３３ａ
は、検査対象のＬＣＤ基板１０とプロービング装置（図
示略）との間に電気信号の授受を行うものであり、フレ
キシブルプリント配線板３３ａは、金属板３２の下面に
接着剤３４ｃで貼り合わされている。
は、検査対象のＬＣＤ基板１０とプロービング装置（図
示略）との間に電気信号の授受を行うものであり、フレ
キシブルプリント配線板３３ａは、金属板３２の下面に
接着剤３４ｃで貼り合わされている。
【００２１】また、図２（ａ）及び（ｂ）に示すよう
に、フレキシブルプリント配線板３３ａは、金属板３２
で圧下される端縁下面に複数のバンプ３３ｂが検査対象
のＬＣＤ基板１０の検査パッド１１に対応して設けられ
ている。
に、フレキシブルプリント配線板３３ａは、金属板３２
で圧下される端縁下面に複数のバンプ３３ｂが検査対象
のＬＣＤ基板１０の検査パッド１１に対応して設けられ
ている。
【００２２】また支持ブロック３０ｂ及び取付用ブロッ
ク３０ａは、軽量化を考慮して、その素材にアルミ合金
やジュラルミン合金などの非鉄金属の素材を選定してお
り、ゴム状弾性体３１は、シリコンやウレタン性のゴム
素材を使用している。また、バネ性金属板３２は、薄板
形状のステンレス鋼板を使用し、これを支持ブロック３
０ｂの素材と電子ビーム溶接にて接合している。またフ
レキシブルプリント配線板３３ａは、ポリイミド材に銅
パターンが充填されたものを用いている。
ク３０ａは、軽量化を考慮して、その素材にアルミ合金
やジュラルミン合金などの非鉄金属の素材を選定してお
り、ゴム状弾性体３１は、シリコンやウレタン性のゴム
素材を使用している。また、バネ性金属板３２は、薄板
形状のステンレス鋼板を使用し、これを支持ブロック３
０ｂの素材と電子ビーム溶接にて接合している。またフ
レキシブルプリント配線板３３ａは、ポリイミド材に銅
パターンが充填されたものを用いている。
【００２３】次に、本発明の実施形態の動作について、
図３を参照して詳細に説明する。図３において、本発明
の一実施形態に係る基板検査装置の支持ブロック３３ｂ
は、図示しないプロービング装置に取付用ブロック３０
ａを介して装着され、上下動される。
図３を参照して詳細に説明する。図３において、本発明
の一実施形態に係る基板検査装置の支持ブロック３３ｂ
は、図示しないプロービング装置に取付用ブロック３０
ａを介して装着され、上下動される。
【００２４】ＬＣＤ基板１０に対して検査を行うには、
先ず検査対象物としてのＬＣＤ基板１０の検査パッド１
１に対して、検査パッド１１の中心にフレキシブルプリ
ント配線板３３ａのバンプ３３ｂの位置を合わせ、支持
ブロック３０ｂを垂直に下方に降下させる。このとき、
ＬＣＤ基板１０の検査パッド１１にフレキシブルプリン
ト配線板３３ａのバンプ３３ｂが最初に接触する。この
時点では、全てのバンプ３３ｂが検査パッド１１に均等
に接触しているとは限らず、その接触抵抗値にバラツキ
があり、正確な検査を行うには、その接触抵抗値を均一
にする必要がある。
先ず検査対象物としてのＬＣＤ基板１０の検査パッド１
１に対して、検査パッド１１の中心にフレキシブルプリ
ント配線板３３ａのバンプ３３ｂの位置を合わせ、支持
ブロック３０ｂを垂直に下方に降下させる。このとき、
ＬＣＤ基板１０の検査パッド１１にフレキシブルプリン
ト配線板３３ａのバンプ３３ｂが最初に接触する。この
時点では、全てのバンプ３３ｂが検査パッド１１に均等
に接触しているとは限らず、その接触抵抗値にバラツキ
があり、正確な検査を行うには、その接触抵抗値を均一
にする必要がある。
【００２５】そこで、支持ブロック３０ｂをさらに降下
させて、弾性体３１による圧着力を金属板３２で受け、
金属板３２を介してフレキシブルプリント配線板３３ａ
のバンプ３３ｂに負荷する。
させて、弾性体３１による圧着力を金属板３２で受け、
金属板３２を介してフレキシブルプリント配線板３３ａ
のバンプ３３ｂに負荷する。
【００２６】この場合、本発明では、弾性体３１の下面
には、その全体に金属板３２が貼り付けてあり、さらに
金属板３２の下面にフレキシブルプリント配線板３３ａ
が貼り付けることから、弾性体３１による圧着力が金属
板３２に受けられ、金属板３２によりフレキシブルプリ
ント配線板３３ａの全てのバンプ３３ｂに均等に分散さ
れ、各バンプ３３ｂに負荷する圧着力は均等となり、全
てのバンプ３３ｂと検査パッド１１との間での接触抵抗
値が等しくなる。
には、その全体に金属板３２が貼り付けてあり、さらに
金属板３２の下面にフレキシブルプリント配線板３３ａ
が貼り付けることから、弾性体３１による圧着力が金属
板３２に受けられ、金属板３２によりフレキシブルプリ
ント配線板３３ａの全てのバンプ３３ｂに均等に分散さ
れ、各バンプ３３ｂに負荷する圧着力は均等となり、全
てのバンプ３３ｂと検査パッド１１との間での接触抵抗
値が等しくなる。
【００２７】また支持ブロック３ｂを降下させると、一
定の圧力にて検査パッド１１にコンタクトするが、弾性
体３１による圧着力は金属板３２で受けて、これをフレ
キシブルプリント配線板３３ａに伝達するため、フレキ
シブルプリント配線板３３ａに直接コンタクト力が伝達
されず、フレキシブルプリント配線板３３ａが保護され
ることとなる。
定の圧力にて検査パッド１１にコンタクトするが、弾性
体３１による圧着力は金属板３２で受けて、これをフレ
キシブルプリント配線板３３ａに伝達するため、フレキ
シブルプリント配線板３３ａに直接コンタクト力が伝達
されず、フレキシブルプリント配線板３３ａが保護され
ることとなる。
【００２８】さらに、金属板３２にて検査パッド１１に
対して平行かつ均等にフレキシブルプリント配線板３３
ａのバンプ部３３ｂを密着させることとなり、繰り返し
コンタクトする場合に発生する弾性体３１の劣化及び局
部的な弾性体３１の変形を金属板３２の持つバネ性によ
って防止することができ、フレキシブルプリント配線板
３３ａのバンプ部３３ｂが安定かつ均等に検査パッド１
１にコンタクトされる。さらに安定かつ均等な検査パッ
ド１１へのコンタクトによりミスコンタクトを防止する
ことができ、しかも局部的な接触抵抗値の増加を防止す
ることにより信頼性の高い電気的特性検査を行うことが
できる。
対して平行かつ均等にフレキシブルプリント配線板３３
ａのバンプ部３３ｂを密着させることとなり、繰り返し
コンタクトする場合に発生する弾性体３１の劣化及び局
部的な弾性体３１の変形を金属板３２の持つバネ性によ
って防止することができ、フレキシブルプリント配線板
３３ａのバンプ部３３ｂが安定かつ均等に検査パッド１
１にコンタクトされる。さらに安定かつ均等な検査パッ
ド１１へのコンタクトによりミスコンタクトを防止する
ことができ、しかも局部的な接触抵抗値の増加を防止す
ることにより信頼性の高い電気的特性検査を行うことが
できる。
【００２９】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、Ｌ
ＣＤ基板の高精細化に対応する安定した配線回路へのコ
ンタクトを得ることができ、コンタクト不良の中で約５
０％を占める不均一なコンタクトによる接触抵抗値増加
が招く誤検出をなくして、検出精度を５０％向上するこ
とができる。その理由は、バネ性金属板を挿入したこと
により、ＬＣＤ基板の検査パッドの均一なオーバードラ
イブ量が得られコンタクト性が向上するためである。
ＣＤ基板の高精細化に対応する安定した配線回路へのコ
ンタクトを得ることができ、コンタクト不良の中で約５
０％を占める不均一なコンタクトによる接触抵抗値増加
が招く誤検出をなくして、検出精度を５０％向上するこ
とができる。その理由は、バネ性金属板を挿入したこと
により、ＬＣＤ基板の検査パッドの均一なオーバードラ
イブ量が得られコンタクト性が向上するためである。
【００３０】さらに本発明によれば、弾性体の経時変化
によるコンタクトの不安定性を、バネ性金属板を挿入し
たことにより、通常のライフサイクルより４０％の耐久
性向上を図ることができる。その理由は、弾性体に直接
コンタクトの加重がかからず、経時変化による弾性体の
変形等が減少するためである。
によるコンタクトの不安定性を、バネ性金属板を挿入し
たことにより、通常のライフサイクルより４０％の耐久
性向上を図ることができる。その理由は、弾性体に直接
コンタクトの加重がかからず、経時変化による弾性体の
変形等が減少するためである。
【図１】本発明の一実施形態に係る基板検査装置を示す
斜視図である。
斜視図である。
【図２】（ａ）は、図１の縦断面図、（ｂ）は、同底面
図である。
図である。
【図３】本発明の一実施形態に係る基板検査装置の動作
状態を示す断面図である。
状態を示す断面図である。
【図４】従来例を示す斜視図である。
１０ ＬＣＤ基板 １１ 検査パッド ３０ａ 取付用ブロック ３０ｂ 支持ブロック ３１ 弾性体 ３２ バネ性金属板 ３３ａ フレキシブルプリント配線板 ３３ｂ バンプ ３４ａ，３４ｂ，３４ｃ 接着剤
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01R 1/06 - 1/073
Claims (1)
- 【請求項１】 支持ブロックと、弾性体と、金属板とを
有し、フレキシブルプリント配線板の複数のバンプを検
査対象の検査パッドに押圧しコンタクトさせる基板検査
装置であって、 前記支持ブロックは、下面縁側角部に横方向に伸びる溝
部が設けられたものであり、 前記弾性体は、前記支持
ブロックの溝部に一部が該支持ブロックの下面より下方
に突き出るように接着されており、 前記金属板は、前記複数のバンプが並んでいる方向につ
ながっており、前記突き出た弾性体の下面と前記支持ブ
ロックの下面後縁側とにそれぞれ接合して、該支持ブロ
ックの下面側との対向面間に空間部を形成し、該支持ブ
ロックの下面後縁側の接合部を支点とするバネ性を有し
ており、 前記バンプを有するフレキシブルプリント配線板は、前
記金属板の下面にバンプの反対側面が貼り付けられてい
るものであることを特徴とする基板検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15096696A JP3159058B2 (ja) | 1996-06-12 | 1996-06-12 | 基板検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15096696A JP3159058B2 (ja) | 1996-06-12 | 1996-06-12 | 基板検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09329625A JPH09329625A (ja) | 1997-12-22 |
| JP3159058B2 true JP3159058B2 (ja) | 2001-04-23 |
Family
ID=15508337
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15096696A Expired - Fee Related JP3159058B2 (ja) | 1996-06-12 | 1996-06-12 | 基板検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3159058B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101712124B1 (ko) * | 2009-10-16 | 2017-03-03 | 폭스브레인 주식회사 | 프로브 유닛 및 이를 제조하는 방법 |
| KR102447833B1 (ko) * | 2018-02-09 | 2022-09-27 | 주성엔지니어링(주) | 전력 인터페이스 |
-
1996
- 1996-06-12 JP JP15096696A patent/JP3159058B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH09329625A (ja) | 1997-12-22 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
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