JPS62205476A - 画像処理装置 - Google Patents
画像処理装置Info
- Publication number
- JPS62205476A JPS62205476A JP61047874A JP4787486A JPS62205476A JP S62205476 A JPS62205476 A JP S62205476A JP 61047874 A JP61047874 A JP 61047874A JP 4787486 A JP4787486 A JP 4787486A JP S62205476 A JPS62205476 A JP S62205476A
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- Japan
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- Pending
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- 230000015654 memory Effects 0.000 claims abstract description 24
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 claims abstract description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 13
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 102100029469 WD repeat and HMG-box DNA-binding protein 1 Human genes 0.000 description 2
- 101710097421 WD repeat and HMG-box DNA-binding protein 1 Proteins 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、画像処理装置に係り、特にある１度特定され
た測定対象物の面積、欠陥あるいは形状などを例えばオ
ンラインで測定する画像処理装置に関する。
た測定対象物の面積、欠陥あるいは形状などを例えばオ
ンラインで測定する画像処理装置に関する。
〈従来の技術〉
第３図はこの種の従来の画像処理装置の構成を示す。測
定対象物に適当な光を当てこれをテレビカメラＴＶＣで
撮影し、そのビデオ信号ＶＤＳをアンド回路ＡＮＤ１を
介して画像計測装置ＰＰＵに入力しここで測定対象物の
形状２面積、欠陥などの計測を行なう。この場合に、測
定対象物の近傍にきずなどの不要画像があるとこれも同
時に計測してし甘い測定対象物の属性を正確に把握する
ことができない。そこで、この様な場合に備えてウィン
ド発生回路ＷＤＣを設けてウィンド信号ＷＤＩＩＩをア
ンド回路ＡＮＤ １に入力させ、その出力を使用して画
像計測とすることにより不要画像を除去している。
定対象物に適当な光を当てこれをテレビカメラＴＶＣで
撮影し、そのビデオ信号ＶＤＳをアンド回路ＡＮＤ１を
介して画像計測装置ＰＰＵに入力しここで測定対象物の
形状２面積、欠陥などの計測を行なう。この場合に、測
定対象物の近傍にきずなどの不要画像があるとこれも同
時に計測してし甘い測定対象物の属性を正確に把握する
ことができない。そこで、この様な場合に備えてウィン
ド発生回路ＷＤＣを設けてウィンド信号ＷＤＩＩＩをア
ンド回路ＡＮＤ １に入力させ、その出力を使用して画
像計測とすることにより不要画像を除去している。
次に、第４図を用いてこのウィンド発生回路ＷＤＣにつ
いて説明する。第４図に示す例はカウンタを用いてウィ
ンド信号ＷＤＳを発生させるものである。ＸＹＡは画面
上の水平■）と垂直僕）のアドレスを発生させるアドレ
ス発生器である。このアドレス信号ＸＡ、ＹＡはそれぞ
れＸ方向カウンタＸＣＴとＹ方向カウンタＹＣＴに入力
される。Ｘ方向カウンタＸＣＴは、例えば第４図（イ）
Ｋ示すようにアドレス発生器ＸＹＡからのアドレス信号
ＸＡ、ＹＡをカウントし斜線部分にアドレスがある場合
は１．それ以外の部分の場合は０の２値信号を出力端Ｑ
ｎよりアンド回路ＡＮＤ２の入力の一端に出力する。一
方、Ｙ方向カウンタＹＣＴは、例えば第４図（ロ）に示
すようにアドレス発生器ＸＹＡからのアドレス信号ＸＡ
、ＹＡが、同時に入力されており、これをカウントしな
がら図示の斜線部分にアドレスがある場合は１、それ以
外の部分の場合はＯの２値信号を出力端Ｑｎよりアンド
回路ＡＮＤ ２の入力の他端に出力する。
いて説明する。第４図に示す例はカウンタを用いてウィ
ンド信号ＷＤＳを発生させるものである。ＸＹＡは画面
上の水平■）と垂直僕）のアドレスを発生させるアドレ
ス発生器である。このアドレス信号ＸＡ、ＹＡはそれぞ
れＸ方向カウンタＸＣＴとＹ方向カウンタＹＣＴに入力
される。Ｘ方向カウンタＸＣＴは、例えば第４図（イ）
Ｋ示すようにアドレス発生器ＸＹＡからのアドレス信号
ＸＡ、ＹＡをカウントし斜線部分にアドレスがある場合
は１．それ以外の部分の場合は０の２値信号を出力端Ｑ
ｎよりアンド回路ＡＮＤ２の入力の一端に出力する。一
方、Ｙ方向カウンタＹＣＴは、例えば第４図（ロ）に示
すようにアドレス発生器ＸＹＡからのアドレス信号ＸＡ
、ＹＡが、同時に入力されており、これをカウントしな
がら図示の斜線部分にアドレスがある場合は１、それ以
外の部分の場合はＯの２値信号を出力端Ｑｎよりアンド
回路ＡＮＤ ２の入力の他端に出力する。
従ってアンド回路ＡＮＤ２の出力端には第４図（ハ）の
斜線で示す部分のみ１となるウィンド信号ＷＤＳが出力
される。このためアンド回路人ＮＤ１の出力端にはウィ
ンド信号ＷＤＳでウィンドがかけられた範囲の外にある
不要画面の信号が除去されて出力される。
斜線で示す部分のみ１となるウィンド信号ＷＤＳが出力
される。このためアンド回路人ＮＤ１の出力端にはウィ
ンド信号ＷＤＳでウィンドがかけられた範囲の外にある
不要画面の信号が除去されて出力される。
また、カウンタを使用する第３図に示すウィンド発生回
路のほかにプロセッサ、グラフィックデスプレイコント
ロール、テキストメモリなどを用いてソフトウェアによ
りウィンドを形成する場合もある。
路のほかにプロセッサ、グラフィックデスプレイコント
ロール、テキストメモリなどを用いてソフトウェアによ
りウィンドを形成する場合もある。
〈発明が解決しようとする問題点〉
しかしながら、第３図に示すウィンド発生回路を用いて
ウィンドをかける場合には複雑なウィンドを作るためＫ
は数多くのＸ方向カウンタ、Ｙ方向カウンタを必要とし
実際上実現するのが困難であり、またソフトウェアを用
いてウィンドをかける場合にはソフトウェアの負担が大
きく複雑なウィンドをかけるのが困難である。
ウィンドをかける場合には複雑なウィンドを作るためＫ
は数多くのＸ方向カウンタ、Ｙ方向カウンタを必要とし
実際上実現するのが困難であり、またソフトウェアを用
いてウィンドをかける場合にはソフトウェアの負担が大
きく複雑なウィンドをかけるのが困難である。
〈問題点を解決するための手段〉
この発明は、簡単な手段で複雑なウィンドでも容易にか
けられるようにするため、測定対象物を撮影してビデオ
信号に変換するビデオ変換手段と、このビデオ信号を２
値化する２値化手段と、この２値化手段によって得られ
た２値画像を若干拡大した近似画像をあらかじめ記憶し
ておく第１ウインドメモリと、測定対象物の近傍の不要
画像を除去する範囲を示すマスクを２値化手段によって
２値化して記憶しておく第２ウインドメモリと、測定対
象物から得られたビデオ信号の中の同期信号に同期して
第１および第２ウインドメモリの中の画像メモリを取り
出しこれ等と測定対象物から得られたビデオ信号との論
理積をとる論理積手段と、この論理積手段の出力を同期
信号で同期がとられた画像計測手段へ送出し測定対象物
の所定の属性を計測する構成としたものである。
けられるようにするため、測定対象物を撮影してビデオ
信号に変換するビデオ変換手段と、このビデオ信号を２
値化する２値化手段と、この２値化手段によって得られ
た２値画像を若干拡大した近似画像をあらかじめ記憶し
ておく第１ウインドメモリと、測定対象物の近傍の不要
画像を除去する範囲を示すマスクを２値化手段によって
２値化して記憶しておく第２ウインドメモリと、測定対
象物から得られたビデオ信号の中の同期信号に同期して
第１および第２ウインドメモリの中の画像メモリを取り
出しこれ等と測定対象物から得られたビデオ信号との論
理積をとる論理積手段と、この論理積手段の出力を同期
信号で同期がとられた画像計測手段へ送出し測定対象物
の所定の属性を計測する構成としたものである。
〈作 用〉
あらかじめ測定対象物を用いてこの測定対象物の画像を
若干拡大した近似画像を第１ウインドメモリに記憶して
おき、更に不要画像を除去する範囲を決めるマスクを用
いてその画像を第２ウインドメモリにあらかじめ記憶し
ておき、これ等とビデオ信号との論理積をとることによ
り測定対象物を正確にかつ簡単に把握することができる
。
若干拡大した近似画像を第１ウインドメモリに記憶して
おき、更に不要画像を除去する範囲を決めるマスクを用
いてその画像を第２ウインドメモリにあらかじめ記憶し
ておき、これ等とビデオ信号との論理積をとることによ
り測定対象物を正確にかつ簡単に把握することができる
。
〈実施例〉
図である。
ＥＸ８は外部同期信号であり、例えば回転テーブル上の
多数の測定対象物Ｍｌ が所定の撮影位置に来たときな
どにその位置を知らせるために出される。
多数の測定対象物Ｍｌ が所定の撮影位置に来たときな
どにその位置を知らせるために出される。
この外部同期信号によりテレビカメラＴＶＣが起動して
測定対象物ＭＢｎを撮影しビデオ信号ＶＤＳに変換する
。このビデオ信号ＶＤＳは２値化回路ＢＶＣに入力され
、例えば測定対象物があるときはＪｌレベル、ないとき
は“０ルベルに対応させた２値画像とする２値画像信号
ＵＶＳ＊出力する。この２値化回路ＢＶＣにはビデオ信
号ＶＤＳの中に含まれる同期信号を分離する同期分離部
ＳＳＣがあり、これより映像同期信号ＩＳ８を出力する
。
測定対象物ＭＢｎを撮影しビデオ信号ＶＤＳに変換する
。このビデオ信号ＶＤＳは２値化回路ＢＶＣに入力され
、例えば測定対象物があるときはＪｌレベル、ないとき
は“０ルベルに対応させた２値画像とする２値画像信号
ＵＶＳ＊出力する。この２値化回路ＢＶＣにはビデオ信
号ＶＤＳの中に含まれる同期信号を分離する同期分離部
ＳＳＣがあり、これより映像同期信号ＩＳ８を出力する
。
拡大回路ＥＬＣは２値画像信号ｎｖｓを若干拡大する。
この拡大の程度は測定対象物ＭＢｎの属性などを考慮し
て適宜に決定する。拡大回路ＥＬＣによつて測定対象物
の画像を若干拡大した近似画像人ｐｐはスイッチＳ Ｗ
ｌを介してウィンドメモリＷＤＭ１に格納される。
て適宜に決定する。拡大回路ＥＬＣによつて測定対象物
の画像を若干拡大した近似画像人ｐｐはスイッチＳ Ｗ
ｌを介してウィンドメモリＷＤＭ１に格納される。
また、不要画像をあらかじめ除去する範囲を決めるマス
クＭＳＫの画像はテレビカメラＴＶＣで撮影してこれを
２値化回路ＢＶＣにより２値化して２値のマスク画像Ｍ
ＳＰとしスイッチＳＷ２を介してウィンドメモリＷＤＭ
２に格納される。
クＭＳＫの画像はテレビカメラＴＶＣで撮影してこれを
２値化回路ＢＶＣにより２値化して２値のマスク画像Ｍ
ＳＰとしスイッチＳＷ２を介してウィンドメモリＷＤＭ
２に格納される。
ウィンドメモＩＪＷＤＭ１に格納された近似画像ＡＰＰ
はウィンド信号ＡＷＳとして、またウィンドメモリＷＤ
Ｍ ２に格納されたｉスク画像ＭＳＰはウィンド信号
ＮＷ８として同期信号ＩＳＳと同期してそれぞれ取り出
され、更に測定対象物ＭＢｎの画像は２値化画像信号Ｂ
ＶＳとして取り出され、これ等の論理積がアンド回路人
ＮＤ３で演算されて画像計測装置ＰＰＵ Ｋ入力され、
例えば測定対象物ＭＢ の面積が計測される。
はウィンド信号ＡＷＳとして、またウィンドメモリＷＤ
Ｍ ２に格納されたｉスク画像ＭＳＰはウィンド信号
ＮＷ８として同期信号ＩＳＳと同期してそれぞれ取り出
され、更に測定対象物ＭＢｎの画像は２値化画像信号Ｂ
ＶＳとして取り出され、これ等の論理積がアンド回路人
ＮＤ３で演算されて画像計測装置ＰＰＵ Ｋ入力され、
例えば測定対象物ＭＢ の面積が計測される。
次に、以上の如く構成された画像処理装置の動作につき
第２図を用いて説明する。
第２図を用いて説明する。
第２図は測定対象物をテレビカメラで撮影したときの画
像を示している。ＦＬＭはテレビカメラＴＶＣが測定対
象物ＭＢ を撮影する範囲を示している。この場合は
多数の測定対象物ＭＢ（ｎ＝１〜）が例えば回転テーブ
ル上に１列に載せられて矢印の方に移動している場合を
想定している。
像を示している。ＦＬＭはテレビカメラＴＶＣが測定対
象物ＭＢ を撮影する範囲を示している。この場合は
多数の測定対象物ＭＢ（ｎ＝１〜）が例えば回転テーブ
ル上に１列に載せられて矢印の方に移動している場合を
想定している。
従って、画面としては回転テーブルからの外部同期信号
ＥＸＳにより測定対象物ＭＢｎが中心に撮影されている
が、そのほかにこの前後の測定対象物ＭＢｎ−１’
ｎ＋１ も含まれている。これ等Ｂ は当面計測の対象とはなっていないが同時に画面に現わ
れている。従って、これ等の画面はマスクして除去する
必要があるが、このマスクＭＳＫは他の測定対象物ＭＢ
ｎ−１’ ｎ＋１と区別するこＢ とができれば良いので単純な形状、例えば矩形状のもの
で良い。
ＥＸＳにより測定対象物ＭＢｎが中心に撮影されている
が、そのほかにこの前後の測定対象物ＭＢｎ−１’
ｎ＋１ も含まれている。これ等Ｂ は当面計測の対象とはなっていないが同時に画面に現わ
れている。従って、これ等の画面はマスクして除去する
必要があるが、このマスクＭＳＫは他の測定対象物ＭＢ
ｎ−１’ ｎ＋１と区別するこＢ とができれば良いので単純な形状、例えば矩形状のもの
で良い。
先ず、このマスクＭＳＫをテレビカメラＴＶＣの前に配
置して撮影し、２値化回路ＢＶＣで２値化して矩形状の
マスク画像ＭＳＰ（第２図）としてスイッチＳＷ２を介
してウィンドメモリＷＤＭ２に格納する。
置して撮影し、２値化回路ＢＶＣで２値化して矩形状の
マスク画像ＭＳＰ（第２図）としてスイッチＳＷ２を介
してウィンドメモリＷＤＭ２に格納する。
次に、測定対象物ＭＢ （ｎ＝＋１〜）のうちの任意の
１つをテレビカメラＴＶＣで撮影し２値化回路ＢＶＣで
２値化したｚ値画像信号ｎｖｓを拡大回路ＥＬＣで各測
定対象物ＭＢ （ｎ＝１〜）のバラツキを若干越えた程
度まで拡大し、これをスイッチＳＷ１を閉じて近似画像
ＡＰＰ（第２図）としてウィンドメモリＷＤＭ に格
納する。従ってウィンドメモリＷＤ Ｍ ２゜ＷＤＭｌ
にはそれぞれウィンド信号ＮＷＳ、 ＡＷＳとして取り
出される画像が格納された状態になる。
１つをテレビカメラＴＶＣで撮影し２値化回路ＢＶＣで
２値化したｚ値画像信号ｎｖｓを拡大回路ＥＬＣで各測
定対象物ＭＢ （ｎ＝１〜）のバラツキを若干越えた程
度まで拡大し、これをスイッチＳＷ１を閉じて近似画像
ＡＰＰ（第２図）としてウィンドメモリＷＤＭ に格
納する。従ってウィンドメモリＷＤ Ｍ ２゜ＷＤＭｌ
にはそれぞれウィンド信号ＮＷＳ、 ＡＷＳとして取り
出される画像が格納された状態になる。
以上の状態において、スイッチｓｗ１． ｓｗ２ をオ
フとして測定対象物ＭＢｎをテレビカメラＴＶＣで撮影
し２値化回路ＢＶＣで２値化された２値画像信号ＢＶＳ
と、アンド回路ＡＮＤ ３で映像同期信号Ｉｔｓと同期
がとられたウィンド信号ＡＷＳ、 ＮＷＳと、の論理積
をとるとアンド回路Ａ Ｎ Ｄ ３の出力端には測定対
象物ＭＢ のみが正確に取り出される。この場合に、
第２図に示すように測定対象物ＭＢｎの近傍にある不要
画像ＮＺ ＮＺ などはアンド回路ＡＮＤ ３１’
２ で除去される。
フとして測定対象物ＭＢｎをテレビカメラＴＶＣで撮影
し２値化回路ＢＶＣで２値化された２値画像信号ＢＶＳ
と、アンド回路ＡＮＤ ３で映像同期信号Ｉｔｓと同期
がとられたウィンド信号ＡＷＳ、 ＮＷＳと、の論理積
をとるとアンド回路Ａ Ｎ Ｄ ３の出力端には測定対
象物ＭＢ のみが正確に取り出される。この場合に、
第２図に示すように測定対象物ＭＢｎの近傍にある不要
画像ＮＺ ＮＺ などはアンド回路ＡＮＤ ３１’
２ で除去される。
〈発明の効果〉
以上、実施例と共に具体的に説明した様に本発明によれ
ば、測定対象物あるいはマスクを撮影してこれをウィン
ドメモリに格納し、これを用いて測定対象物の画像にウ
ィンドをかけて不用画像を除去する構成としたので、複
雑な形状のウィンドでも簡単な構成で容易に実現できる
。
ば、測定対象物あるいはマスクを撮影してこれをウィン
ドメモリに格納し、これを用いて測定対象物の画像にウ
ィンドをかけて不用画像を除去する構成としたので、複
雑な形状のウィンドでも簡単な構成で容易に実現できる
。
第１図は本発明の一実施例を示すブロック図、第２図は
第１図におけるテレビカメラによって撮影された画像を
説明する説明図、第３図は従来の画像処理装置の構成を
示すプロ、り図、第４図は第３図に示すウィンド発生回
路の動作を説明する説明図である。 ＴＶＣ・・・テレビカメラ、 ＢＶＣ・・・２値化回路
、ＥＬＣ・・・拡大回路、ＷＤＭｌ、 ＷＤＭ２・・・
ウィンドメモリ、ＰＰＵ・・・画像計測装置、ＶＤＳ・
・・ビデオ信号、ＩＳＳ・・・映像同期信号、ｎｖｓ・
・・２値画像信号。 代理人 弁理士 小 沢 信 ＃Ｊ１′ｔパ ・ぐニエ゛
第１図におけるテレビカメラによって撮影された画像を
説明する説明図、第３図は従来の画像処理装置の構成を
示すプロ、り図、第４図は第３図に示すウィンド発生回
路の動作を説明する説明図である。 ＴＶＣ・・・テレビカメラ、 ＢＶＣ・・・２値化回路
、ＥＬＣ・・・拡大回路、ＷＤＭｌ、 ＷＤＭ２・・・
ウィンドメモリ、ＰＰＵ・・・画像計測装置、ＶＤＳ・
・・ビデオ信号、ＩＳＳ・・・映像同期信号、ｎｖｓ・
・・２値画像信号。 代理人 弁理士 小 沢 信 ＃Ｊ１′ｔパ ・ぐニエ゛
Claims (1)
- 測定対象物を撮影してビデオ信号に変換するビデオ変
換手段と、このビデオ信号を２値化する２値化手段と、
この２値化手段によって得られた２値画像を若干拡大し
た近似画像をあらかじめ記憶しておく第１ウインドメモ
リと、前記測定対象物の近傍の不要画像を除去する範囲
を示すマスクを前記２値化手段によって２値化して記憶
しておく第２ウインドメモリと、前記測定対象物から得
られたビデオ信号の中の同期信号に同期して第１および
第２ウインドメモリの中の画像メモリを取り出しこれ等
と前記測定対象物から得られたビデオ信号との論理積を
とる論理積手段と、この論理積手段の出力を前記同期信
号で同期がとられた画像計測手段へ送出し前記測定対象
物の所定の属性を計測することを特徴とする画像処理装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61047874A JPS62205476A (ja) | 1986-03-05 | 1986-03-05 | 画像処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61047874A JPS62205476A (ja) | 1986-03-05 | 1986-03-05 | 画像処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62205476A true JPS62205476A (ja) | 1987-09-10 |
Family
ID=12787525
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61047874A Pending JPS62205476A (ja) | 1986-03-05 | 1986-03-05 | 画像処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62205476A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6051460A (en) * | 1997-11-12 | 2000-04-18 | Advanced Micro Devices, Inc. | Preventing boron penetration through thin gate oxide of P-channel devices by doping polygate with silicon |
-
1986
- 1986-03-05 JP JP61047874A patent/JPS62205476A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6051460A (en) * | 1997-11-12 | 2000-04-18 | Advanced Micro Devices, Inc. | Preventing boron penetration through thin gate oxide of P-channel devices by doping polygate with silicon |
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