JPS62193538U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS62193538U JPS62193538U JP8116086U JP8116086U JPS62193538U JP S62193538 U JPS62193538 U JP S62193538U JP 8116086 U JP8116086 U JP 8116086U JP 8116086 U JP8116086 U JP 8116086U JP S62193538 U JPS62193538 U JP S62193538U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- pressure sensor
- measured
- stem
- cap
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 6
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims 2
- 238000005219 brazing Methods 0.000 claims 1
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 claims 1
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例に係る半導体圧力
検出器の断面図、第２図は他の実施例を示す断面
図、第３図は従来の半導体圧力検出器を示す断面
図である。 図において、１０はステム、１１はパイプ、１
３は圧力センサ素子、２０はキヤツプである。な
お、図中、同一符号は同一または相当部分を示す
。
検出器の断面図、第２図は他の実施例を示す断面
図、第３図は従来の半導体圧力検出器を示す断面
図である。 図において、１０はステム、１１はパイプ、１
３は圧力センサ素子、２０はキヤツプである。な
お、図中、同一符号は同一または相当部分を示す
。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) ステムに固着されたシリコン圧力センサ素
子により、被測定圧を大気圧との差圧で測定する
ピエゾ抵抗形の半導体圧力検出器において、被測
定圧導入側のパイプがハーメチツクシールを介し
て接続されたキヤツプを上記ステムに溶接接合し
、そのキヤツプ内に上記シリコン圧力センサ素子
を収納したことを特徴とする半導体圧力検出器。 (2) ダイヤフラムハウジングを構成するボデイ
およびその上側のベースと、これらのボデイとベ
ースの間に挾持されるダイヤフラムと、上記ボデ
イに接続されて被測定圧の圧力導入口を形成する
ネジ筒とをロー付して一体化した後、上記ベース
に被測定圧導入側のパイプを螺合し、その後、半
田付またはロー付してなることを特徴とする実用
新案登録請求の範囲第１項記載の半導体圧力検出
器。 (3) ステムとキヤツプの溶接接合部に補強部材
をカシメ付けしてなることを特徴とする実用新案
登録請求の範囲第１項記載の半導体圧力検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8116086U JPS62193538U (ja) | 1986-05-30 | 1986-05-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8116086U JPS62193538U (ja) | 1986-05-30 | 1986-05-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62193538U true JPS62193538U (ja) | 1987-12-09 |
Family
ID=30932646
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8116086U Pending JPS62193538U (ja) | 1986-05-30 | 1986-05-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62193538U (ja) |
-
1986
- 1986-05-30 JP JP8116086U patent/JPS62193538U/ja active Pending