JPS62191696A - タ−ボ分子ポンプの停止方法および装置 - Google Patents
タ−ボ分子ポンプの停止方法および装置Info
- Publication number
- JPS62191696A JPS62191696A JP3303286A JP3303286A JPS62191696A JP S62191696 A JPS62191696 A JP S62191696A JP 3303286 A JP3303286 A JP 3303286A JP 3303286 A JP3303286 A JP 3303286A JP S62191696 A JPS62191696 A JP S62191696A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- molecular pump
- turbo molecular
- brake
- piping
- power supply
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 5
- 230000005611 electricity Effects 0.000 abstract 1
- 230000011664 signaling Effects 0.000 abstract 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はターボ分子ポンプに係り、特にターボ分子ポン
プの停止時の強制停止に好適な停止方法および装置に関
する。
プの停止時の強制停止に好適な停止方法および装置に関
する。
ターボ分子ポンプは、毎分数万回転で回っているので、
停止させたい時フリーランで停止させると数時間を要し
、緊急時の際は特に困る。そこで、電気ブレーキなどを
設けたものもあるが、停止前回転数の1096以下はブ
レーキ制御が難しい。また、電気ブレーキは一様な制御
のため、停止時間の変更が難しいなどの問題点がある。
停止させたい時フリーランで停止させると数時間を要し
、緊急時の際は特に困る。そこで、電気ブレーキなどを
設けたものもあるが、停止前回転数の1096以下はブ
レーキ制御が難しい。また、電気ブレーキは一様な制御
のため、停止時間の変更が難しいなどの問題点がある。
その他、ターボ分子ポンプの排気側の圧力を上げてブレ
ーキをかける方法があるが、排気側からの油汚染の問題
がある。
ーキをかける方法があるが、排気側からの油汚染の問題
がある。
なお、この種のものとして関連するものには例えば、実
公昭57−115994号公報が挙げられる。
公昭57−115994号公報が挙げられる。
上記従来技術は、停止時間の可変性の点について配慮さ
れておらず、停止時間の制御を行うことができない。ま
た、排気側の圧力を上げる場合は、排気側についている
油回転ポンプの油分がターボ分子ポンプを経由して吸気
口側へ入り込み、超高真空系を油分で汚染するという虞
がある。
れておらず、停止時間の制御を行うことができない。ま
た、排気側の圧力を上げる場合は、排気側についている
油回転ポンプの油分がターボ分子ポンプを経由して吸気
口側へ入り込み、超高真空系を油分で汚染するという虞
がある。
本発明の目的は、停止時間を任意に制御可能にすること
にある。
にある。
上記目的は、吸気口側に設けたブレーキガス配管に2台
直列に配した弁を電源装置より開閉制御を行い、ブレー
キガス量をコントロールするコト1こより達成される。
直列に配した弁を電源装置より開閉制御を行い、ブレー
キガス量をコントロールするコト1こより達成される。
ブレーキガス配管に設置された2台の弁の開閉を電源装
置から制御することにより、ブレーキガス皿がコントロ
ールできる。すなわち、2台の弁を同時に開1とすれば
、連続的1こガスが流れそれにより大きなブレーキ力が
得られる。また、1台づつ開、閉をすれば断続的にガス
が流れ、弁と弁の間の配管にたまったガスを流せば一番
少ない量のガスを流すことになる。このような弁開閉の
組合せで任意のガス1を流して所要のブレーキるかける
ことができ、それ(こより、任意に停止時間を制御する
ことができる。
置から制御することにより、ブレーキガス皿がコントロ
ールできる。すなわち、2台の弁を同時に開1とすれば
、連続的1こガスが流れそれにより大きなブレーキ力が
得られる。また、1台づつ開、閉をすれば断続的にガス
が流れ、弁と弁の間の配管にたまったガスを流せば一番
少ない量のガスを流すことになる。このような弁開閉の
組合せで任意のガス1を流して所要のブレーキるかける
ことができ、それ(こより、任意に停止時間を制御する
ことができる。
以下、本発明の一実施例を第1図により説明する。真空
容器1とターボ分子ポンプ3の間は吸気配管2で結ばれ
、その途中に真空弁15か設置されている。ターボ分子
ポンプ3の排気側1こは、排気配管4を経て油回転真空
ポンプ5が設置されている。吸気配管2の途中にブレー
キガス配管6をつなぎこみ、この配管6の途中にブレー
キ弁7.8を直列に設置している。電源装置9は、商用
電力14を受け、ターボ分子ポンプ3へ出力電圧、電流
を電源ケーブル13で供給し、また、ターボ分子ポンプ
3の回転情報を信号ケーブル12で受は取り、ブレーキ
弁7,8への開閉の信号を各々信号線10゜11で送る
ものである。
容器1とターボ分子ポンプ3の間は吸気配管2で結ばれ
、その途中に真空弁15か設置されている。ターボ分子
ポンプ3の排気側1こは、排気配管4を経て油回転真空
ポンプ5が設置されている。吸気配管2の途中にブレー
キガス配管6をつなぎこみ、この配管6の途中にブレー
キ弁7.8を直列に設置している。電源装置9は、商用
電力14を受け、ターボ分子ポンプ3へ出力電圧、電流
を電源ケーブル13で供給し、また、ターボ分子ポンプ
3の回転情報を信号ケーブル12で受は取り、ブレーキ
弁7,8への開閉の信号を各々信号線10゜11で送る
ものである。
ターボ分子ポンプ3は、起動から定格回転に至るまで電
源装置9から電源ケーブル13で供給される出力電圧、
電流で制御され、温度や回転数などの回転情報は信号ケ
ーブル12で電源装置9へ入力される。停止時は電源装
置I9からの出力を0にしてターボ分子ポンプ3をフリ
ーラン状態にする。 4このとき、信号ケーブル12
で送られてくる回転情報によってブレーキ弁7,8の開
閉を制御してブレーキガス1をコントロールしてやる。
源装置9から電源ケーブル13で供給される出力電圧、
電流で制御され、温度や回転数などの回転情報は信号ケ
ーブル12で電源装置9へ入力される。停止時は電源装
置I9からの出力を0にしてターボ分子ポンプ3をフリ
ーラン状態にする。 4このとき、信号ケーブル12
で送られてくる回転情報によってブレーキ弁7,8の開
閉を制御してブレーキガス1をコントロールしてやる。
すなわち、定格に近い高回転時はブレーキ弁7と8の間
にあるガスをブレーキガスとして送り出し、回転が下る
につれて送り出す回数を増し、その後はブレーキ弁8を
開けたままでブレーキ弁7を断続的に開閉をするなどし
て供給するガス2を変えてブレーキ作用を変化させてい
(。
にあるガスをブレーキガスとして送り出し、回転が下る
につれて送り出す回数を増し、その後はブレーキ弁8を
開けたままでブレーキ弁7を断続的に開閉をするなどし
て供給するガス2を変えてブレーキ作用を変化させてい
(。
この弁の開閉パターンと回転数の関係は、ターボ分子ポ
ンプの特性に合せてソフトプログラムを組めば、容易に
制御できる。
ンプの特性に合せてソフトプログラムを組めば、容易に
制御できる。
本実施例によれば、ターボ分子ポンプのブレーキがコン
トロールでき、停止時間を任意に変えることができる効
果がある。
トロールでき、停止時間を任意に変えることができる効
果がある。
本発明によれば、ターボ分子ポンプのブレーキガス量を
コントロールしながら供給できるので、停止時間を任意
に変えることができる効果がある。
コントロールしながら供給できるので、停止時間を任意
に変えることができる効果がある。
第1図は本発明の一実施例を示す系統図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、ターボ分子ポンプと電源装置と吸入側につなぎこん
だブレーキガス配管において、ブレーキガス配管に2台
のブレーキ弁を直列に設置し、そのブレーキ弁の開閉を
電源装置より制御してブレーキガスの量をコントロール
するようにしたことを特徴とするターボ分子ポンプ停止
方法。 2、ターボ分子ポンプと電源装置と吸入側につなぎこん
だブレーキガス配管において、ブレーキガス配管に2台
のブレーキ弁を直列に設置し、ターボ分子ポンプと電源
装置を電源ケーブルで接続し、電源装置と2台のブレー
キ弁をターボ分子ポンプの回転情報を流す信号ケーブル
で接続したことを特徴とするターボ分子ポンプの停止装
置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3303286A JPS62191696A (ja) | 1986-02-19 | 1986-02-19 | タ−ボ分子ポンプの停止方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3303286A JPS62191696A (ja) | 1986-02-19 | 1986-02-19 | タ−ボ分子ポンプの停止方法および装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62191696A true JPS62191696A (ja) | 1987-08-22 |
Family
ID=12375452
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3303286A Pending JPS62191696A (ja) | 1986-02-19 | 1986-02-19 | タ−ボ分子ポンプの停止方法および装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62191696A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63239397A (ja) * | 1987-03-25 | 1988-10-05 | Shimadzu Corp | タ−ボ分子ポンプの磁気軸受装置 |
US5209631A (en) * | 1990-07-16 | 1993-05-11 | Arthur Pfeiffer Vakummtechnik Wetzlar Gmbh | Arrangement for flooding high speed vacuum pumps |
EP2053249A3 (de) * | 2007-10-25 | 2016-06-08 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Anordnung mit Vakuumpumpe und Verfahren |
EP4033516A1 (en) * | 2021-01-26 | 2022-07-27 | Jeol Ltd. | Ion beam processing apparatus and method for controlling operation thereof |
-
1986
- 1986-02-19 JP JP3303286A patent/JPS62191696A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63239397A (ja) * | 1987-03-25 | 1988-10-05 | Shimadzu Corp | タ−ボ分子ポンプの磁気軸受装置 |
US5209631A (en) * | 1990-07-16 | 1993-05-11 | Arthur Pfeiffer Vakummtechnik Wetzlar Gmbh | Arrangement for flooding high speed vacuum pumps |
EP2053249A3 (de) * | 2007-10-25 | 2016-06-08 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Anordnung mit Vakuumpumpe und Verfahren |
EP4033516A1 (en) * | 2021-01-26 | 2022-07-27 | Jeol Ltd. | Ion beam processing apparatus and method for controlling operation thereof |
US11929238B2 (en) | 2021-01-26 | 2024-03-12 | Jeol Ltd. | Ion beam processing apparatus and method for controlling operation thereof |
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