JPS62186910A - 固液分離槽 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、粉粒体と液体との懸濁液から、効果的に液体
を分離するための固液分離槽に関する。

（従来の技術） 印刷回路基盤の製造に於いて、パターン形成にフォトレ
ジストが用いられている。パターン形成後のフォトレジ
ストは、剥離工程に於いてアルカリ水溶液や有機溶媒等
の剥離液によって印刷回路基盤から剥される。この剥離
工程を経た剥離液中には、フォトレジスト片が懸濁して
おり、剥離液の再利用の観点から、剥離液を分離するこ
とが行なわれている。

フォトレジスト片と剥離液との懸濁液から剥離液の分離
については、次のような装置が用いられている。即ち、
第３図に示すように印刷回路基盤製造の剥離工程からの
フォトレジスト片と剥離液との懸濁液の吸入口１が設け
られた吸入部２と、分離された剥離液の印刷回路基盤製
造の剥離工程への排出口３が設けられた排出部４とが平
坦なフィルター７を介して接続されており、且つ、吸入
部２には懸濁液からフォトレジスト片を分離するための
分離器８への°供給口６が設けられてなる固液分離槽で
ある。上記の分離器８で分離された剥離液は、通常吸入
部２に回収されている。これは、分離器８のフォトレジ
スト片の分離が不完全であるか、又は完全であっても分
離器の異常によりフォトレジスト片が排出部４に混入す
るのを防止するためである。

（発明が解決しようとする問題点） しかしながら、このような固液分離槽を用いた場合、吸
入部２の剥離液は、平坦なフィルター７を通して排出部
４に流れ込み、この際に平坦なフィルター７にフォトレ
ジスト片が詰まり、長時間の運転が不可能であるという
欠点があった。

（問題点を解決するための手段） 本発明者らは、このような従来の固液分離槽の欠点を克
服するために種々の実験を重ねた結果、フィルターにフ
ォトレジスト片が詰まりにくい構造の固液分離槽の開発
に成功した。

即ち、本発明は、粉粒体の懸濁液の吸入口を有する吸入
部と、懸濁液から分離された液体の排出口Ｉを有する排
出部とが、該吸入口に一端が接続された筒状フィルター
を介して連結されてなり、且つ、筒状フィルターの他端
が懸濁液から粉粒体を分離するための分離器への懸濁液
の供給口と接続されてなる固液分離槽である。

以下に本発明の固液分離槽を添付図面に従って説明する
。

第１図は、本発明の固液分離槽の代表的な態様を示す概
略図であ′る。粉粒体の懸濁液の吸入口１を有する吸入
部２と、懸濁液から分離された液体の排出口３を有する
排出部４とは、筒状フィルター５を介して連結されてい
る。フィルターの形状は筒状であれば特に限定されない
。しかし、吸入口１に導入される懸濁液の液量によって
最適の径及び長さが存在するため、液量にあった径及び
長さの筒状フィルターを採用することが好ましい。

一般には、筒状フィルターの径及び長さは、懸濁液の液
量に応じて、下記（１）式で示される範囲から選択する
ことが好ましい。

筒状フィルターの径及び長さは、さらに下記（２）式で
示される範囲から選択することがより好ましい。

筒状フィルター５の目の粗さは、分離する粉粒体の径に
応じて決定すれば良い。

上記の筒状フィルター５は、一端が吸入部２の吸入口ｌ
に接続されている。また、他端は、懸濁液から粉粒体を
分離するための分離器への懸濁液の供給口６に接続され
ている。

筒状フィルター５は、懸濁液の流れ方向を変えないよう
に一端から他端まで直線上にあることが好ましいが、懸
濁液の流れ方向を極端に変えない範囲、例えば、懸濁液
の吸入口１での流れ方向に対して９０°以内の角度で交
わる直線の方向に屈曲していても良く、また蛇行してい
ても良い。

本発明の固液分離槽と接続する分離器８は、粉粒体の懸
濁液を粉粒体と液体に分離する公知の分離器が何ら制限
なく採用される。上記の分離器には、本発明の固液分離
槽の吸入部からの懸濁液が供給される。一方、該分離器
で分離された液体は、固液分離槽の吸入部へ回収しても
よく、排出部に回収しても良い。また、上記の分離され
た液体は、固液分離槽を経由することなく、直接、懸濁
液を排出する工程に回収することもできる。しかし、一
般に、該分離器での分離の不完全さによる排出部への粉
粒体の混入を極力避けるために、第１図に示すように固
液分離槽の吸入部へ回収することが好ましい。

第２図は、本発明の他の態様を示す部分破断斜視図であ
る。吸入部２に吸入口ｌが２個設けられており、夫々の
吸入口１には筒状フィルター５の一端が接続されている
。そして、２個の筒状フィルター５は、他端に於いて互
いに接続されており、且つ、他端に於いて懸濁液から粉
粒体を分離するだめの分離器への懸濁液の供給口６と接
続されている。

このような構造にすることにより、２個の吸入口１から
導入される懸濁液が筒状フィルター５の他端で合流する
。この合流位置に粉粒体が集められるため、分離器へ送
られる粉粒体の量が多くなり、筒状フィルター５への粉
粒体の詰まりをより軽減させることができる。

吸入口の数は、第２図のように２個に限定されるもので
はなく、３個以上であっても良い。

本発明に於いて、粉粒体が自重によって懸濁液中に沈降
する場合には、筒状フィルター５の他端の下部に粉粒体
が堆積する傾向にある。従って、第２図に示すように、
筒状フィルター５の他端の下部と分離器への供給口６と
を接続することが好ましい。

本発明の固液分離槽は、前記した印刷回路基盤の製造に
於いて排出されるフォトレジスト片と剥離液との懸濁液
の分離に用いられることは勿論、これ以外の粉粒体と液
体との懸濁液の分離にも用いることができる。特に、平
均粒径が０．１〜１００ｍｍの範囲である比較的大きい
粉粒体を含む懸濁液の分離に適している。

（効果） 本発明の固液分離槽によれば、吸入口に導入された懸濁
液中の粉粒体が、懸濁液の流れによって筒状フィルター
の他端に集められ、そして分離器へ送られる。従って、
分離器へ送られる粉粒体の量が増加し、筒状フィルター
への粉粒体の詰まりを低減することができる。また、筒
状フィルターに沿って流れる懸濁液の流れによって粉粒
体の筒状フィルターへの詰まりを防止することもできる
。

従って、本発明の固液分離槽は、フィルターの詰まりに
よる取替えを頻繁に行なう必要はなく、長時間にわたる
運転が可能である。

実施例１ 印刷回路基盤製造のフォトレジストの剥離工程から排出
されるフォトレジスト片と５％ＮａＯＨ水溶液との懸濁
液を、第１図に示す構造の固液分離槽と分離器として液
体サイクロンとを用いて処理し、フォトレジスト片の分
離を行なった。懸濁液中のフォトレジスト片の量は２５
・ｇ／ｌであり、ｕ、’Ｅｒ液の固液分離槽への供給量
は８００１、／ｍｉｎであった。

用いた固液分離槽の筒状フィルターとしては、横断面が
直径１５．２　ｃｒａの円形で、長さ８０ｃｍの１６メ
ツシユフイルターを用いた。

フォトレジスト片の分離を４力月間連続に運転したが、
筒状フィルターの目詰まりもなく引き続き良好に運転可
能であった。

実施例２ 実施例１と同様の懸濁液を、第２図に示す構造の固液分
離槽と液体サイクロンとを用いて処理し、フォ］・レジ
スト片の分離を行なった。懸濁液の固液分離槽への供給
量は１０００　ｊ！／ｍｉｎであった。

用いた固液分離槽の筒状フィルターとしては、横断面が
一端で直径１２．３　ｃｍ、他端で直径２０．３ｃｍの
円形で、長さ８５ｃｒｎの３５メツシユの筒状フィルタ
ー２本を直径の大きい方の端部で互いに接続して用いた
。

フォトレジスト片の分離を６力月間連続して運転したが
、筒状フィルターの目詰まりもなく、引き続いての運転
が可能な状態であった。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の固液分離槽の代表的な態様を示す概
略図である。また、第２図は、本発明の別の態様を示す
部分破断斜視図である。第３図は、従来の固液分離槽の
概略図である。 図中、■は吸入口、２は吸入部、３は排出口、４は排出
部、５は筒状フィルター、６は分離器への懸濁液の供給
口、７は平坦フィルター、８は分離器を夫々示す。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）粉粒体の懸濁液の吸入口を有する吸入部と、懸濁
   液から分離された液体の排出口を有する排出部とが、該
   吸入口に一端が接続された筒状フィルターを介して連結
   されてなり、且つ筒状フィルターの他端が懸濁液から粉
   粒体を分離するための分離器への懸濁液の供給口と接続
   されてなる固液分離槽。
2. （２）吸入口が複数あり、夫々の吸入口に一端が接続さ
   れた複数の筒状フィルターの他端が互いに接続されてな
   る特許請求の範囲第（１）項記載の固液分離槽。