JPS62186013U - - Google Patents

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JPS62186013U
JPS62186013U JP7387786U JP7387786U JPS62186013U JP S62186013 U JPS62186013 U JP S62186013U JP 7387786 U JP7387786 U JP 7387786U JP 7387786 U JP7387786 U JP 7387786U JP S62186013 U JPS62186013 U JP S62186013U
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JP
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temperature
position detection
sliding body
detection scale
detects
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JP7387786U
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  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第1図は本考案の一実施例に係る位置検出スケ
ール温度補正装置を装備した送り装置の平面図、
第2図は第1図に示すものの縦断面図、第3図は
第1図に示すものの横断面図である。 図面中、1はスライドテーブル、2は摺動台、
3はボールスクリユ、4は位置検出スケール、5
はサーボモータ、6はカバー、7Aは第1の温度
検出器、7Bは第2の温度検出器、8は電線、9
はA/Dコンバータ、10は演算装置、11はD
/Aコンバータである。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 摺動台上をサーボモータにより位置制御されて
    駆動される摺動体の位置を検出する位置検出スケ
    ールと、該位置検出スケールに取り付けられてそ
    の温度を検出する第1の温度検出器と、上記摺動
    体に取り付けられてその温度を検出する第2の温
    度検出器と、上記第1及び第2の温度検出器の測
    定情報を入力して、上記位置検出スケールと上記
    摺動体の温度差に基づく上記摺動体の位置寸法誤
    差を計算し、上記摺動体の位置寸法誤差を補正す
    る信号を上記サーボモータへ出力する演算装置を
    具備したことを特徴とする位置検出スケール温度
    補正装置。
JP7387786U 1986-05-19 1986-05-19 Pending JPS62186013U (ja)

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JP7387786U JPS62186013U (ja) 1986-05-19 1986-05-19

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JP7387786U JPS62186013U (ja) 1986-05-19 1986-05-19

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JPS62186013U true JPS62186013U (ja) 1987-11-26

Family

ID=30918594

Family Applications (1)

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JP7387786U Pending JPS62186013U (ja) 1986-05-19 1986-05-19

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JP (1) JPS62186013U (ja)

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