JPS62184818A - 真空加圧材料の密封方法とそれに用いられるバツギングキヤツプ及び真空吸着装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、真空プレスやホットプレスにおいて準備作業
として行われる加圧材料の密封作業の方法とそれに用い
る物に関するもので、特に、その加圧材料を柔軟なバッ
ギング材によって密封する方法と、その密封に用いられ
るバッギングキャップ、及びその密封作業に用いられる
真空吸着装置に関するものである。

（従来の技術） 例えば、多層プリント配線基板は、プリント配線板、プ
リプレグ、銅貼り樹脂板などの樹脂板を積み重ね、加熱
・加圧してプリプレグを溶融させ、更に熱硬化させるこ
とにより、多層積層板として成形される。このように樹
脂板を積層する場合、積み重ねられた樹脂板間の空気や
プリプレグ中に含まれていた空気が完全に除かれないと
、製品中にボイドが残ることになり、品質が低下してし
まう。そこで、プラテン上に積み重ねられた樹脂板、す
なわち加圧材料を、バッギング材によって気密に覆い、
その内部を真空化することにより、樹脂板間などに残る
空気を吸い出すようにすることが行われている。

ｐ；空プレスの場合には、次いで、そのバッギング材の
外周囲に高温・高圧のガスが導入され、樹脂板が全周か
ら加熱・加圧される。また、ホットプレスの場合には、
加熱されたハイドロリックプレスの押金により、バッギ
ング材とともに樹脂板が上下から加圧され、加熱される
。

そのような場合、従来は、バッギング材として、フィル
ム等のような柔軟で気密性のある平面状シートを用い、
手作業によってそのバッギングシートを樹脂板等の加圧
材料にかぶせた後、その周辺部全周をプラテンに接着す
るようにしていた。

（発明が解決しようとする問題点） しかしながら、そのような平面状のバッギングシートを
、プラテン上に４！置された加圧材料にかぶせるように
した場合には、その裾部にひだが生じることは避けられ
ない、そのために、パッギングシートの周辺部を平板状
のプラテンに接着したときに、バッギングシートとプラ
テンとの間にすきまが生じてしまう、そのようなすきま
があると、バッギングシートで覆われた内部を真空化す
ることが難しくなる。

また、加圧材料が樹脂板のように角の鋭いものである場
合には、バッギングシートをかぶせるときにそのバッギ
ングシートを緊張させると、その角によってバッギング
シートが破れてしまうことがある。

このようなことから、従来は、加圧材料の周囲を密封す
る作業にはかなりの熟練を要するものとなっていた。そ
して、そのために、その作業を自動化することもできな
かった。

本発明は、このような問題に鑑みてなされたものであっ
て、その目的は、プラテン上に装置された加圧材料を容
易に密封することができるようにすることである。

また１本発明の他の目的は、その密封作業を自動化する
ことができるようにすることである。

本発明の更に他の目的は、その密封作業を自動的に行う
ことができるようにするための、構造の簡単な装置を得
ることである。

（問題点を解決するための手段） この目的を達成するために、本発明では、加圧材料を覆
うバッギング材として、凸形状に成形されたパッギング
キャップを用いるようにしている。

そのパッギングキャップは、柔軟な気密シートからなり
、中央部が余裕をもって加圧材料を覆い得る凸形状に成
形されているとともに、周辺部がプラテンに密着させ得
る平面形状に成形されている。

そして、その／ヘンギングキャップは、真空吸着装置に
よって吸着して移送され、プラテン上に載置された加圧
材料にかぶせた後、その真空吸着装置によって周辺部が
プラテンに圧着される。その周辺部がプラテンに接着さ
れた後、その真空吸着装置とバンギングキャップとの間
に空気が送られ、バッギングキャンプが真空吸着装置か
ら離される。

その真空吸着装置は、内部に中空室が設けられ、下面が
バッギングキャップとほぼ同様の形状とされている。そ
して、その下面には、中空室と連通ずる多数の通気孔が
全面に設けられている。その中空室は、給排気装置によ
って空気を給排し得るようにされている。

（作用） パフギングキャップをこのような構成とすることにより
、加圧材料にそのバッギングキャップをかぶせると、加
圧材料はそのバッギングキャップの中央部内に納まるよ
うになる。したがって、バッギングキャップの周辺部に
ひだが生じることはなく、その周辺部は全周がプラテン
に確実に密着するようになる。

また、そのパッギングキャップを真空吸着装置によって
吸着させるとともに、その真空吸着装置によってバ７ギ
ングキャップの周辺部をプラテンに圧着させるようにす
ることにより、真空吸着装置の操作のみによってバッギ
ングキャップの移送から加圧材料の密封までが行われる
ようになる。したがって、その自動化が可能となる。

更に、その真空吸着装置を上述のように構成することに
より、バッギングキャップの上面に真空吸着装置を位置
させ、中空室内の空気を排出すると、真空吸着装置とバ
ッギングキャップとの間の空気が通気孔を通して排出さ
れるので、バッギングキャップが加圧材料を覆い得る形
状を保ったまま吸着されるようになる。そして、その状
態で真空吸着装置をプラテンに押圧すると、パッギング
キャップの周辺部がプラテンに圧着される。また、真空
吸着装置の中空室に空気を供給すると、その空気が通気
孔を通してバッギングキャップとの間に噴出するので、
バッギングキャップが外される。

（実施例） 以下、図面を用いて本発明の詳細な説明する。

図中、第１図は本発明による真空加圧材料の密封方法の
一実施状態を示す縦断面図であり、第２図はそれに用い
られるバッギングギャップの斜視図である。

第１図から明らかなように、プラテンｌ上にはディスパ
ージョンプレート２が設置されている。ディスバージ鳶
ンプレート２の下面には排気溝２ａが形成されており、
プラテンｌに設けられた排気孔１ａに適宜の真空配管（
図示せず）を接続することにより、その上面側の空気が
吸引されるようになっている。

真空プレスによって多層プリント配ｍ基板を成形すると
きには、その材料であるプリント配線板、プリプレグ、
銅貼り樹脂板などを所定の順に重ね合わせたボード３を
、間に鏡面板４や離型フィルム等を挟んで複数組積み重
ね、ブック５とする。そして、そのブック５をディスパ
ージョンプレート２上に載置する。更に、そのブック５
を、ディスパージョンプレート２とともに、プリーザシ
ート６によって覆う、このブリーザシート６は、ナイロ
ン、ポリエステル等からなる不織布で、通気性及びクッ
ション性を有するものとされている。

プラテンｌの上面には、ディスパージョンプレート２の
全周を取り囲むようにして、両面接着テープであるシー
ラントテープ７を貼り付けておく、そして、プラテン１
上にａｍされたブック５、すなわち加圧材料に、バッギ
ングキャップ８をかぶせる。このバッギングギャップ８
は、ナイロン等の樹脂フィルム、アンキュアラバーシー
ト、あるいは樹脂をコーティングしたアルミ箔のような
柔軟かつ気密性を有する薄肉シートからなるもので、第
２図に示されているようにつば付き凸形状に成形されて
いる。

すなわち、その中央部８ａが、深絞りにより下面が開放
された箱形の凸形状に成形されるとともに、その周辺部
８ｂが平面形状に成形されている。その中央部８ａは、
ブリーザシート６によって覆われたブック５及びディス
パージョンプレート２全体を、余裕をもって覆い得る大
きさとされている。また、周辺部８ｂは、プラテン１の
上面に貼り付けられたシーラントテープ７に密着させ得
るようにされている。

このバッギングキャップ８は、第１図に示されているよ
うな真空吸着装置９によって移送される。この真空吸着
装置９のハウジングｌＯは、硬質樹脂からなる中空板状
のもので、バッギングキャップ８と同様な形状とされて
いる。

すなわち、その下面１１は、中央部１１ａがプラテン１
上に載置されたブック５を余裕をもって覆い得る形状と
されるとともに、周辺部１１ｂがプラテンｌに沿う平面
とされている。

そして、その下面１１には、全面に、ハウジング１０の
内部の中空室１２と連通ずる多数の通気孔１３，１３．
・・・が形成されている。中空室１２は、可撓性を有す
る空気パイプ１４によって給排気装置、例えば可逆空気
ポンプ１５に接続され、その内部に対して空気が給排さ
れるようになっている。

このような真空吸着装置９によって、プラテンｌ上に載
置されたブック５に八ツポンプキャップ８をかぶせると
きには、多数積み玉枠て保管されたバッギングキャップ
８の上面、に。

真空吸着装置９のハウジングｌＯを位置させる。そして
、ポンプ１５を作動させ、中空室１２内の空気を排出す
る。すると、ハウジングｌＯの下面ｌｌとバッギングキ
ャップ８との間の空気が通気孔１３，１３．・・・を通
して吸引され、バッギングキャップ８が１枚だけ吸着さ
れる。このとき、バッギングキャップ８は、ハウジング
１０の下面１１に密着する。すなわち、そのバッギング
キャップ８は、成形されたとおりの形状に保たれる。

そこで、この状態で、真空吸着装Ｍ９のハウジングｌＯ
を、プラテンｌ上に載置されたブック５の上方に移動さ
せる。それによって、バッギングキャップ８がその位置
まで移送される。

次いで、ハウジングｌＯを下降させ、その下面１１の周
辺部ｔｉｂをプラテンｌに押し付ける。すると、バッギ
ングキャップ８の周辺部８ｂ全周が、プラテンｌの上面
に貼り付けられたシーラントテープ７に押圧され、プラ
テンｌに接着される。このとき、バッギングキャップ８
の周辺部８ｂは平面形状に成形されているので、その周
辺部８ｂにしわ等が生じることはない。したがって、そ
のバッギングキャップ８とプラテンｌとの間は完全に密
封される。また、バッギングキャップ８の中央部８ａは
、ディスパージョンプレート２、ブック５．及びブリー
ザシート６を、余裕をもって覆い得る大きさに形成され
ているので、このときにもバッギングキャップ８が緊張
されることはない。

こうして、真空加圧材料であるブック５は、バシギング
キャップ８によって気密に密封される。

次いで、真空吸着装置９のポンプ１５を逆転させ、ハウ
ジングｌＯの内部の中空室１２に空気を供給する。する
と、その空気は、ハウジングｌＯの下面１１に形成され
た通気孔１３゜１３、・・・から噴出し、バッギングキ
ャップ８との間に流れ込む、したがって、バッギングキ
ャップ８の吸着が解かれ、バッギングキャップ８と真空
吸着装置９とが切り離される。そこで、真空吸着装置９
を外せば、加圧材料、すなわちブック５の密封作業は完
了する。

こうしてバッギングキャップ８によって密封されたブッ
ク５を載置したプラテンｌは、次に真空プレスのプレス
チャンバ内に収納される。

そして、プラテンｌの排気孔１ａに真空配管を接続し、
真空ポンプによってバッギングキャップ８内の空気を吸
引する。すると、柔軟なバッギングキャップ８は、外圧
によってブリーザシート６に密着し、更にブリーザシー
ト６を圧縮して、ブック５に密着する。この間において
、バッギングキャップ８とブック５との間に設けられた
ブリーザシート６によって、その間の通気性が確保され
、また、ノ〜ツポングキャ、。

プ８が保護される。次いで、プレスチャン／へ内に高温
・高圧のガスを導入することにより、ブック５が全周か
ら加圧されるとともに、ブック５内のプリプレグが加熱
されて溶融し、更に熱硬化する。こうして、積み重ねら
れた樹脂板が積層され、多層プリント配線基板が成形さ
れる。

このように、バッポングキャップ８を凸形状の成形品と
することにより、プラテン１上に載置されたブック５に
かぶせたときにも、その周辺の裾部にひだが形成される
ようなことはなくなり、その周辺部８ｂ全周がプラテン
ｌに確実に気密に接着されるようになる。また、その／
＜、ラギングキャップ８の移送とその周辺部８ｂのプラ
テンｌへの圧着とを真空吸着装置９によって行うように
することにより、バッポングキャップ８によるブック５
の密封をその真空吸着装置９の操作のみによって行うこ
とができるようになり、容易に自動化が可能となる。更
に、その真空吸着袋２１９を、バッポングキャップ８と
同形状の下面１１を有し、その下面１１、レバラギング
キャップ８との間の空気を給排することができるものと
することにより、八ツポングキャップ８が所定の形状を
保ったまま移送されるようになり、容易にブック５にか
ぶせることができるようになる。

ｗＳ３図及び第４図は、本発明によるバッポングキャッ
プのそれぞれ異なる実施例を示す縦断面図である。

第３図の実施例では、バッポングキャップ８の周辺部８
ｂ下面にシーラントテープ７が接着されている。

このようにすることにより、プラテン１にシーラントテ
ープ７を貼り付ける作業が不要となり、バッポングキャ
ップ８による密封作業の自動化が一層促進されるように
なる。

また、第４図の実施例では、バッポングキャップ８の周
辺部８ｂ下面にシーラントテープ７が接着されていると
ともに、中央部８ａの内面にブリーザシート６が接着さ
れている。

このようなバッポングキャップ８を用いることにより、
ブック５をブリーザシート６によって覆う作業も不要と
なり、真空プレスの準備作業を完全に自動化することが
可能となる。

以上の実施例において、図示されているように、シーラ
ントテープ７は内外二重に設けることが望ましい、その
場合、それらがそれぞれ異なる温度で接着性を発揮する
ものとすることができる。

なお、上記実施例においては、真空吸着装置９のハウジ
ング１０の下面１１が、バッポングキャップ８と同形状
であるものとしているが、ハウジングｌＯの下面中央部
１１ａの高さは。

バッポングキャップ８の中央部８ａの高さより小さくて
もよい。要するに、その下面１１の中央部１１ａが、プ
ラテンｌ上に載置されたブック５等を十分に覆い得る形
状とされていさえすればよい。

また、上記実施例においては、積み重ねた樹脂板を真空
プレスすることによって多層プリント配線基板を成形す
るものとしているが、本発明はこれに限らず、粉粒状な
どの加圧材料をバッポングキャップ８によって密封し、
その内部を真空化して、ホットプレスにより加熱・加圧
するような場合にも、適用することができるものである
。

（発明の効果） 以上の説明から明らかなように、本発明によれば、プラ
テン上に載置された真空加圧材料を密封するバッポング
材として、中央部が凸形状に成形され、周辺部が平面形
状に成形されたバッポングキャップを用いるようにして
いるので、加圧材料にかぶせたときにも周辺部にひだ等
が生じることはなく、その周辺部全周を確実にプラテン
に密着させることが可能となる。したがって、加圧材料
を容易に気密に密封することができるようになる。

また、そのバッポングキャップを、それとほぼ同様な形
状の下面を有する真空吸着装置によって吸着させるよう
にしているので、柔軟なバッポングキャー、プでありな
がら、プラテン上に載６された加圧材料を覆い得る形状
を保ったまま移送することができ、その加圧材料にかぶ
せ、その周辺部をプラテンに圧着させることができる。

したがって、そのバッキングキャップによる加圧材料の
密封作業を、容易に自動化することができるようになる
。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明による真空加圧材料の密封方法の一実
施例を示すもので、その方法の一過程における状態を示
す縦断面図、 第２図は、その密封に用いられるバッキングキャップの
斜視図。 第３図は、本発明によるバッキングキャップの他の実施
例を示すもので、第２図のｍ−■線に対応する切断面で
切断した断面図、第４図は、本発明によるバッキングキ
ャップの更に異なる実施例を示す、第３図と同様の断面
図である。 ｌ・・・プラテン ５・・・ブック（加圧材料） ６・・・プリーザシート ７・・・シーラントテープ ８・・・バッキングキャップ ８ａ・・・バッキングキャップの中央部８ｂ・・・バッ
キングキャップの周辺部９・・・真空吸着装置 １１・・・真空吸着装置の下面 １１ａ・・・下面中央部　　　１１ｂ・・・下面周辺部
１２・・・中空室　　　　　　１３・・・通気孔１５・
・・空気ポンプ（給排気装置） 特許出願人　　株式会社日本製鋼所 代　理　人　　弁理士　　森　下　端　侑第１図 ／　　　　７　　　　　　　　　ｌａ　　　ｌａ　　　
　　　Ｚ　　　　　　’／　　　　　’／第２図

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. （１）凸形状に成形された気密なバッギングキャップを
   真空吸着装置により吸着して移送し、プラテン上に載置
   された加圧材料にかぶせた後、そのバッギングキャップ
   の周辺部全周を前記真空吸着装置により押圧して前記プ
   ラテンに接着させ、 次いで、前記真空吸着装置と前記バッギングキャップと
   の間に空気を送り、その真空吸着装置を外すことを特徴
   とする、 真空加圧材料の密封方法。
2. （２）柔軟な気密シートからなり、 中央部が、プラテン上に載置された加圧材料を、余裕を
   もって覆い得る凸形状に成形されているとともに、 周辺部が、前記プラテンに密着させ得る平面形状に成形
   されている、 真空加圧材料の密封に用いられるバッギングキャップ。
3. （３）前記バッギングキャップの中央部内面に、通気性
   を有するクッション材からなるブリーザシートが接着さ
   れている、 特許請求の範囲第２項記載のバッギング キャップ。
4. （４）前記バッギングキャップの周辺部下面に、前記プ
   ラテンに接着させ得るシーラントテープが接着されてい
   る、 特許請求の範囲第２項又は第３項記載のバッギングキャ
   ップ。
5. （５）内部に中空室が設けられ、 下面の中央部が、プラテン上に載置された加圧材料を覆
   い得る形状とされるとともに、その周辺部が前記プラテ
   ンに沿う平面とされていて、 その下面全面に、前記中空室と連通する多数の通気孔が
   形成されており、 前記中空室に対して空気を給排し得る給排気装置が設け
   られている、 バッギングキャップによる真空加圧材料の密封に用いら
   れる真空吸着装置。