JPS6218317Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 技術分野 この考案は空気汚染を嫌う物品を収納して作業
室間、製造装置間等を移動させる物品搬送装置に
関する。

背景技術 半導体製造産業や精密機械製造産業などの超高
精度作業を必要とする産業界においては作業室内
の空気汚染を最も嫌うので作業室は無塵、無菌の
清浄空気雰囲気に保つよう努めている。しかし、
人や物品に出入りで作業室が汚染されることがあ
り、そこで高精度加工処理を必要とする物品の作
業室内での運搬や作業室間での運搬には特別な搬
送装置を使つて行うことが多い。

上記物品搬送装置として一般的なものに自走式
搬送台にエアーフイルターを天井に装置したボツ
クスと、当ボツクス内の外部の空気をエアーフイ
ルターを通して供給する送風機を取付けたものが
ある。前記エアーフイルターは99.99％といつた
高い集塵率を有するもので、これを介して作業室
内の空気をボツクス内に送れば作業室内の空気が
多少汚染されていてもボツクス内は常に高精度の
精浄空気雰囲気に保たれ、ボツクス内の物品を汚
染から守ることができる。しかし、送風機を常時
稼動させる必要から電池内蔵タイプでは電池の消
耗が激しくて不経済であり、電力をレール等に介
して外部から取り入れるタイプであれば搬送装置
全体が大型化して作業室内を走り回るための空間
スペースに大きなものが必要で、且つ設備投資金
額が大きく、一旦敷設すると、容易に変更できな
い不便がある。

考案の開示 本考案は上記問題を解決したもので、搬送車上
に物品を収容する密閉型ボツクスと、当該ボツク
ス内に不活性ガスを常時陽圧の状態で供給する手
段を搭載した小型軽量の物品搬送装置を提供す
る。前記搬送車は手押し車タイプや自走式のもの
などが使用され、この上に不活性ガスが陽圧で充
満したボツクスを搭載して物品を搬送することに
より物品を簡単な装置で常に外部の汚染空気から
守ることができる。使用する不活性ガスは安価な
窒素ガスが有効である。

考案を実施するための最良の状態 図面において、１は箱型の手押し式搬送車、
２，２……は搬送車１の下面に取付けた例えば計
４つの車輪、３は搬送車１を押して移動させたり
任意方向に移動させる際に使用する取手である。
４は搬送車室、５は搬送車室４の上に搭載された
物品収納用の密閉型ボツクス、６及び７は搬送車
室４内に収納されたガスボンベ及びガス流量制御
装置である。ボツクス５は天井板が上下方向に開
閉する蓋板８で、これを開いて物品９の出し入れ
が行われる。蓋板８はボツクス上部開口をパツキ
ング１０を介して密閉する。物品９は高精度加工
処理を必要とする例えば半導体ウエーハ１１の複
数枚をキヤリア１２に整列支持させたものであ
る。ガスボンベ６は不活性ガス例えば窒素ガスを
圧縮封入したもので、そのガス供給管１３はボツ
クス５内へ導入されている。ガス流量制御装置７
はボツクス５内のガス圧を大気圧より少し高目の
陽圧に常時制御するもので、ガス供給管１３に取
付けたバルブ１４とボツクス５内のガス圧を検出
してその検出値と大気圧の比較でバルブ１４を開
閉を制御する圧力検出器１５とで構成される。

上記装置によるとボツクス５内に常に窒素ガス
が陽圧で封入されているので搬送体１を作業室内
や作業室外で移動させてもボツクス５内の物品９
は窒素ガスによつて外部の空気から常に保護さ
れ、汚染される心配はない。また搬送車１に搭載
するもので重量的に大きなものはガスボンベ６程
度であり、且つ搭載品が少ないので全体が極めて
小型軽量化されて小回り等が自由で便利である。

尚、図面のガスボンベ６は立てたものを示した
が、横にして全体をより小型化することも可能で
ある。

以上のように、本考案によれば自ら内蔵するガ
スボンベからの不活性ガスで物品が外部の汚染空
気から常時保護されるので、ボツクス内を精浄空
気雰囲気に保つ等の複雑な手段が不要になり、小
型軽量で取扱いの便利な、且つ形状等の変更が容
易で設備的に有利な物品搬送装置が提供できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示す部分断面側面
図、第２図は第１図の右側面図である。 １……搬送体、５……ボツクス、６……ガスボ
ンベ、７……ガス流量制御装置、９……物品。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 搬送車上に物品を収容する密閉型ボツクスと、
   当該ボツクス内に不活性ガスを供給するガスボン
   ベ及び前記ボツクス内のガス圧を常時陽圧に制御
   するガス流量制御装置とを搭載したことを特徴と
   する物品搬送装置。