JPS62182093A - 開放型薬液通い容器からの薬液移送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、半導体等の電子材料や精密機器部品等の薬液
処理工程に用いられる各１ｄ＋薬液の移送装置に関し、
さらに詳しくは、開放型通Ｑ）容器、Ｑ）ら薬液吸引方
式により、安全でかつ清浄な薬液を薬液処理工程に送液
することができる開放型薬液通い容器からの薬液移送装
置に関する。

従来の技術 集積回路、トランジスターなどの微細加工技術の進歩は
目覚ましいものであり、その製造に使用される各種薬液
の品質管理並びに人体への災害防止に対する要求は、と
みに厳しくなって来ている。

製品の歩留りに直接影響する微粒子、異物の混入は倶忌
であり、そのため該薬液は通常情密、濾過され、清浄な
環境下で清浄な容器に充填され製品となる。これらの製
品は流通段階を経て、使用者側においてクリーンルーム
（清浄室）内に設置された薬液処理工程に移しかえる手
間を必要とし、その際、折角稍密ン濾過し、て清浄にし
た内容物にゴミや異物を混入させるという問題を生ずる
。更に甚だしい場合には、該作業において薬液を人体に
掛けたり、発生ガスを吸入したりＴる危険性の問題が生
ずる。

発明が解決しようとする問題点 そこで、本発明者らはｎａ記間顆点を解決すべく鋭位研
究の結果、精密、濾過した７青浄な′！Ｊ５欣を充填し
た開放型薬液通い容器から薬液処理工程に薬液を移送す
るに当り、内容物にゴミや異物の混入を防止し、清浄な
薬液を薬液処理工程に移送すると共に、人体に対しての
危険を避けることのできる開放型薬液通い容器からの薬
液移送装置を完成するに到った。

問題点を解決するための手段 本発明の０）かる目的は、空気用フィルターを有する空
気取入口２．空気排出口３及び通い容器出入扉４を備え
た清浄室１内に、所定位置に搬入された通い容器の底部
まで挿入される吸液管５を設け、該吸液管と連結し吸液
管を通い容器に挿入及び引抜せしめる駆動装置６を設置
し、前記吸液管上端と薬液送液ライン９の清浄室内端末
との間に、前記吸液管の通い容器への挿入・引抜ストロ
ークに対応できる伸縮性接続管７を接続したことを特徴
とする開放型薬液通い容器からの薬液移送装置によって
達成される。

本箔明装置の実施例を図面に基いて説明すると第１図は
そのフローチャー１−で、適宜のパネル材で形成された
清浄室１に空気用フィルターを何する空気取入口２．空
気排出口３および通い容器出入扉４が設けられ、空気用
フィルターとしては一般に使用されるヘパフィルタ−を
用いることができる。清浄室の上部から薬液の吸液管５
が垂下しこの吸液管５は、腕１０を介して駆動装ｒｉ６
のシリンダー１１で支承され、駆ｍ装置を運転しシリン
ダーを上下運動させて吸液管５を、所定位置に搬入設置
した開放型薬液通い容器２１（図中、破線で図示）の上
端開口部力）ら容器内に挿入し、吸液口を通い容器の底
部に到達させ、又は通い容器から引抜くようになってい
る。駆動装置としては空気専の気体を駆動源としたもの
、電動式等の一般的なシリンダー昇降装置を用いること
ができる。

前記吸液管５の上端と、薬液送液ライン９の清浄室内端
末とは、伸縮性接続管７により接続されている。この伸
縮性接続管７は、吸液管５の上昇に伴い、吸液管端末と
輸送ライン端末間の距離を縮小し、また下降に伴い、そ
の距離を伸長できるフレキシブルな構造を有し、図面に
示すように弾性の管を螺旋状に捲回してバネ効果による
伸縮を利用し、あるいは別の方法として可撓性に富む耐
油性ゴムホース等を円弧状に弛ませて接続し、伸縮でき
るようにするなど適宜方法を採ることができる。

薬液送葭ライン９は、清浄室内に着かれた通い容器の薬
液を薬液槽及び薬液処理装置に輸送するもので、薬液量
検知器８．送液ポンプ１２．薬液用フィルター１３が必
要に応じて配設されでいる。

Ｗｉ液量検知器は、一般には、薬液送液ライン９または
通い容器内に設置され、通い容器内の薬液量はを検知し
、送液ラインの運転操作に連動しポンプの運転を停止さ
せる機能を汀し、静電容ｒａｔ式。

電極方式、光電管方式等の何れの形式も１史用できる。

なお、この検知器を設けないで、通い容器内のｇＢ液残
鼠を目視Ｔることも、もちろん可能である。送液ポンプ
は加圧式、減圧式の何れの形式も使用でき、ダイヤフラ
ム型、ベローズ型等を用いることができる。薬液用フィ
ルター１３は一般に薬液をン濾過Ｔるのに用いられるメ
ンブランフィルタ−を使用することができるが、特にそ
の皿類は限定されるものではない。なお、薬液用フィル
ターは、必ずしも設ける必要ＧｃＩないが、設けること
が万全を期する上で好ましい。

なお、本発明の用途に用いられる材質としては腐食によ
る錆等の異物を発生せず、かつ薬液に侵されて該薬液中
に溶出または分散して汚染するようなものであってはな
らず、その選択は目的とする薬液により常法により試験
を行なって、使用可能であることを確認されなければな
らない。一般的（こ例示すれば、５ＬＩＳ　３０４　、
　ＳＵＳ　３１６　、テフロシボリプロピレン、ポリエ
チレン、ポリ塩化ビニルあるいは５ＬＩＳ　３０４　、
　ＳＵＳ　３１６にテフロンライニングしたもの、繊維
補強されたポリプロピレン等のプラスチックスと言った
ものが挙げられるが、前述の如く、該薬液の性状に応じ
て使い分ければよく、材質が何ら本発明を規制するもの
ではないことは自明である。

作　　用 本発明薬液移送装置は、以下のようにして使用される。

空気取入口２Ｄ）ら空気用フィルターで濾過された清浄
な空気で占められたｆＪ浄室内に通い容器２１（第１図
中、破線で図示）を搬入し、所定位置にセットし、上端
の栓を外し、駆動装置６を運転し吸液管５を通い容器底
部まで挿入させ、駆動装置を停め出入扉を閉め薬液送液
用ポンプ１２を稼動させる。送液ラインに設けた薬液ン
濾過用フィルター１３を通して通い容器内の薬液は薬液
処理工程に移送される。通Ｑ１容器中の薬液が空になる
と、送液ライン中又は通い容器中に薬液ｍ検知器を設け
た場合は、これが空を検知することで送液ポンプ１２を
停止させ、駆動装置６をＭｍして吸液管５を通シ１容器
力）ら引抜き停止させる。その後、薬液のしたたりが無
くなる所定時間を経て、清浄案内に入り、通い容器に栓
をして清浄室から搬出する。更に新たな充填された薬液
通い容器から薬液処理工程に移送する場合は、上記の方
法を曝返して行なうことができる。

発明の効果 本発明装置に才６いてＣｊ１吸散管、吸液汀駆動装置お
よび伸縮性接続管を清浄案内に設けることにより、活浄
な空気雰囲気下で通い容器からｇ液の移送が行！まわれ
、内容物へのゴミや異物の混入を防止すると共に、たと
え異物等の混入があっても薬液、濾過用フィルターを設
けることにより除去され、清浄な薬液を薬液処理工程に
供給することができる。さらに、通い容品の開栓が清浄
室内で行なわれ、開放型通い容器からの薬液の移送が清
浄室内で行なわれることから、発生するガスは排気口を
経て除害され、人体を有害ガスで曝すことがなく安全で
ある。

また、開放型通い容器の栓の開閉が清浄な空気雰囲気下
で行なわれることから、通い容器内へのゴミや異物を混
入させることによる汚染がなく、清浄な状態に通い容器
を維持することができる。

一連の移送操作が薬液量検知器を使用することで自動的
に行なうことができ、作業に要する労力を大幅に低減す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明薬液移送装置実施例のフローチャートを
示す。 １・・・・清浄室、２・・・・空気取入口、３・・・・
空気排出口、４・・・・通い容器出入扉、５・・・・吸
液管。 ６・・・・駆動装置、７・・・・伸縮性接続管、８・・
・・薬液ｔｆｔ検知器、９・・・・薬液送液ライン、１
２・・・・送ｌ夜ポンプ、１３・・・・薬液用フィルタ
ー、２１・・・・通い容器。 特許出願人　日本ゼオン株式会社 同　　　富士通株式会社

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、空気用フィルターを有する空気取入口（２）、空気
   排出口（３）及び通い容器出入扉（４）を備えた清浄室
   （１）内に、所定位置に搬入された通い容器の底部まで
   挿入される吸液管（５）を設け、該吸液管と連結し吸液
   管を通い容器に挿入及び引抜きせしめる駆動装置（６）
   を設置し、前記吸液管上端と薬液送液ライン（９）の清
   浄室内端末との間に、前記吸液管の通い容器への挿入・
   引抜ストロークに対応できる伸縮性接続管（７）を接続
   したことを特徴とする開放型薬液通い容器からの薬液移
   送装置。