JPS6218038Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6218038Y2 JPS6218038Y2 JP1982091411U JP9141182U JPS6218038Y2 JP S6218038 Y2 JPS6218038 Y2 JP S6218038Y2 JP 1982091411 U JP1982091411 U JP 1982091411U JP 9141182 U JP9141182 U JP 9141182U JP S6218038 Y2 JPS6218038 Y2 JP S6218038Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stage
- spring
- rotation
- column
- fine movement
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 241000638935 Senecio crassissimus Species 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は、高密度集積回路の微細パタン加工に
用いるマスクアライナや顕微鏡等のステージを高
精度に回転微動させるステージの回転微動装置に
関するものである。
用いるマスクアライナや顕微鏡等のステージを高
精度に回転微動させるステージの回転微動装置に
関するものである。
従来のこの種の微動装置はステージを回転微動
させるにあたり、マイクロメータヘツド等の精密
ねじを用いて該ステージ又は該ステージに突設し
たアーム等を直接押すことにより、その駆動力を
加えていた。
させるにあたり、マイクロメータヘツド等の精密
ねじを用いて該ステージ又は該ステージに突設し
たアーム等を直接押すことにより、その駆動力を
加えていた。
第１図はこのような従来の微動装置の従来例で
あり、１はステージ、２は回転軸、３はアーム、
４は基体、５はマイクロメータヘツド、６は回転
軸受、７はボールである。
あり、１はステージ、２は回転軸、３はアーム、
４は基体、５はマイクロメータヘツド、６は回転
軸受、７はボールである。
ステージ１の回転軸２にとり付けたアーム３の
先端を基体４にとり付けたマイクロメータヘツド
５で押すると、ステージ１は基体４に対し、回転
軸受６により保持されているので、マイクロメー
タヘツド５の送り量に対応して微動する。なおマ
イクロメータヘツド５の先端とアーム３との間に
はボール７を介在させる。
先端を基体４にとり付けたマイクロメータヘツド
５で押すると、ステージ１は基体４に対し、回転
軸受６により保持されているので、マイクロメー
タヘツド５の送り量に対応して微動する。なおマ
イクロメータヘツド５の先端とアーム３との間に
はボール７を介在させる。
このような従来の装置の場合、マイクロメータ
ヘツド等の駆動機構の精度がそのままステージの
微動精度となる。したがつて、ステージをばねで
一方向に押し付ける等、ガタやバツクラツシユを
極力軽減する手法を講じたとしても、安定して得
られる微動精度は0.5〜１μｍのオーダーであ
り、分解能として0.1〜0.2μｍオーダーを得るの
が限界であつた。
ヘツド等の駆動機構の精度がそのままステージの
微動精度となる。したがつて、ステージをばねで
一方向に押し付ける等、ガタやバツクラツシユを
極力軽減する手法を講じたとしても、安定して得
られる微動精度は0.5〜１μｍのオーダーであ
り、分解能として0.1〜0.2μｍオーダーを得るの
が限界であつた。
本考案は、微動ステージを基体に対してばねで
保持し、該ばねのばね定数より遥かに小さいばね
定数を有する駆動ばねを介して、該ステージを駆
動する装置により、駆動ばねの大変形量を制御す
ることによつて該ステージのわずかの動きを制御
可能としたものであり、ステージの回転に関する
微動精度、分解能の大幅向上を目的とする。
保持し、該ばねのばね定数より遥かに小さいばね
定数を有する駆動ばねを介して、該ステージを駆
動する装置により、駆動ばねの大変形量を制御す
ることによつて該ステージのわずかの動きを制御
可能としたものであり、ステージの回転に関する
微動精度、分解能の大幅向上を目的とする。
第２図は、本考案の実施例である。８はステー
ジ、９は支柱、１０は板ばね、１１は基体、１２
は渦巻状の駆動ばね、１３は駆動用回転体、１４
は軸受、１５はアーム、１６はねじを示す。ステ
ージ８はステージ８の下面に突設した支柱９のま
わりに放射状に設けた３〜４枚の垂直方向の板ば
ね１０により、基体１１に懸架支持される。
ジ、９は支柱、１０は板ばね、１１は基体、１２
は渦巻状の駆動ばね、１３は駆動用回転体、１４
は軸受、１５はアーム、１６はねじを示す。ステ
ージ８はステージ８の下面に突設した支柱９のま
わりに放射状に設けた３〜４枚の垂直方向の板ば
ね１０により、基体１１に懸架支持される。
渦巻状の駆動ばね１２は一端を支柱９に固着さ
れ、他端を駆動用回転体１３に固着される。駆動
用回転体１３は軸受１４によつて基体１１に対し
回転自在に支持される。駆動用回転体１３から突
設したアーム１５を基体１１に螺合貫通したねじ
１６を回動することによつてその先端で押す。
れ、他端を駆動用回転体１３に固着される。駆動
用回転体１３は軸受１４によつて基体１１に対し
回転自在に支持される。駆動用回転体１３から突
設したアーム１５を基体１１に螺合貫通したねじ
１６を回動することによつてその先端で押す。
これによつて、駆動用回転体１３が回転して、
駆動ばね１２が巻き締められ、支柱９にトルクが
加わつて板ばね１０が弾性変形し、ステージ８が
回転微動する。
駆動ばね１２が巻き締められ、支柱９にトルクが
加わつて板ばね１０が弾性変形し、ステージ８が
回転微動する。
この場合、駆動ばね１２の変形角すなわち、駆
動用回転体１３の回転角とステージ８の回転角と
の比は全板ばね１０の合成ばね定数に対する渦巻
状の駆動ばね１２のばね定数の比に等しくなる。
そして今、駆動ばね１２のばね定数は、板ばね１
０のばね定数に比して遥かに小さくしてある。し
たがつて、駆動ばね１２の大変形すなわち、駆動
用回転体１３の大回転変位を制御することによ
り、ステージの微小回転を制御することができ
る。
動用回転体１３の回転角とステージ８の回転角と
の比は全板ばね１０の合成ばね定数に対する渦巻
状の駆動ばね１２のばね定数の比に等しくなる。
そして今、駆動ばね１２のばね定数は、板ばね１
０のばね定数に比して遥かに小さくしてある。し
たがつて、駆動ばね１２の大変形すなわち、駆動
用回転体１３の大回転変位を制御することによ
り、ステージの微小回転を制御することができ
る。
以上の第２図の実施例においては、駆動ばねの
駆動をねじの回動により行うようにしたが、この
ようなねじの回動をモータにより駆動するように
してもよく、また、駆動ばねを電磁力、気体圧、
液体圧で駆動するようにしてもよい。
駆動をねじの回動により行うようにしたが、この
ようなねじの回動をモータにより駆動するように
してもよく、また、駆動ばねを電磁力、気体圧、
液体圧で駆動するようにしてもよい。
本考案によれば、以上説明したように、ステー
ジを支持基体に対し保持するように設けたばねに
対し、ばね定数の遥かに小さい駆動用ばねを介し
てステージを駆動するようになしたものであるか
ら駆動用ばねの大きな変位に対しステージを微調
整することができ、ステージの回転に関する微動
精度、分解能が優れたものとなり、従来と同程度
の装置製作技術、組立技術により、0.05〜0.2μ
ｍオーダーの微動精度、0.01〜0.05μｍオーダー
の分解能が比較的容易に得られる。
ジを支持基体に対し保持するように設けたばねに
対し、ばね定数の遥かに小さい駆動用ばねを介し
てステージを駆動するようになしたものであるか
ら駆動用ばねの大きな変位に対しステージを微調
整することができ、ステージの回転に関する微動
精度、分解能が優れたものとなり、従来と同程度
の装置製作技術、組立技術により、0.05〜0.2μ
ｍオーダーの微動精度、0.01〜0.05μｍオーダー
の分解能が比較的容易に得られる。
第１図は従来のステージ微動装置の実施例、第
２図は本考案のステージの回転微動装置の実施例
である。 １，８……ステージ、２……回転軸、３，１５
……アーム、４，１１……基体、５……マイクロ
メータヘツド、６……回転軸受、７……ボール、
９……支柱、１０……板ばね、１２……駆動ば
ね、１３……駆動用回転体、１４……軸受、１６
……ねじ。
２図は本考案のステージの回転微動装置の実施例
である。 １，８……ステージ、２……回転軸、３，１５
……アーム、４，１１……基体、５……マイクロ
メータヘツド、６……回転軸受、７……ボール、
９……支柱、１０……板ばね、１２……駆動ば
ね、１３……駆動用回転体、１４……軸受、１６
……ねじ。
Claims (1)
- ステージに付与し得る左右、前後、上下、左右
傾斜、前後傾斜、回転の６種類の自由度の微動の
うち、該ステージが基体に対し、回転のみの１自
由度の微動だけをなし得るように、前記ステージ
にとり付けた支柱を、該支柱を中心に放射状に設
けた３〜４枚の板ばねによつて微動自由度を得よ
うとする前記回転方向にのみ弾性的に変形し得、
他方向には該他方向に対し変形量を無視し得る程
度しか変形し得ないように該基体に懸架支持し、
前記ステージを微動させるのに前記支柱を懸架支
持した板ばねの剛性より遥かに小さい剛性を有
し、前記支柱に渦巻状に巻かれた駆動ばねを介し
て前記支柱に回転力を加えることにより前記ステ
ージの回転微動を得るようにしたことを特徴とす
るステージの回転微動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9141182U JPS587111U (ja) | 1982-06-18 | 1982-06-18 | ステ−ジの回転微動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9141182U JPS587111U (ja) | 1982-06-18 | 1982-06-18 | ステ−ジの回転微動装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS587111U JPS587111U (ja) | 1983-01-18 |
| JPS6218038Y2 true JPS6218038Y2 (ja) | 1987-05-09 |
Family
ID=29886492
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9141182U Granted JPS587111U (ja) | 1982-06-18 | 1982-06-18 | ステ−ジの回転微動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS587111U (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0731259B2 (ja) * | 1986-09-16 | 1995-04-10 | 株式会社宮沢マシン | 回転テーブル |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4911074A (ja) * | 1972-05-26 | 1974-01-31 |
-
1982
- 1982-06-18 JP JP9141182U patent/JPS587111U/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4911074A (ja) * | 1972-05-26 | 1974-01-31 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS587111U (ja) | 1983-01-18 |
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