JPS587111U - ステ−ジの回転微動装置 - Google Patents
ステ−ジの回転微動装置Info
- Publication number
- JPS587111U JPS587111U JP9141182U JP9141182U JPS587111U JP S587111 U JPS587111 U JP S587111U JP 9141182 U JP9141182 U JP 9141182U JP 9141182 U JP9141182 U JP 9141182U JP S587111 U JPS587111 U JP S587111U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stage
- spring
- fine movement
- deformed
- column
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は従来のステージ微動装置の実施例、第2図は本
考案のステニジの回転微動装置の実施例である。 1.8・・・ステージ、2・・・回転軸、3.15・・
・アーム、4.11・・・基体、5・・・マイクロメー
タヘッド、6五回転軸受、7・・・ボール、9・・・支
柱、10・・・板ばね、12・・・駆動ばね、13・・
・駆動用回転体、 ・14−・・軸受、16・・・ね
じ。
考案のステニジの回転微動装置の実施例である。 1.8・・・ステージ、2・・・回転軸、3.15・・
・アーム、4.11・・・基体、5・・・マイクロメー
タヘッド、6五回転軸受、7・・・ボール、9・・・支
柱、10・・・板ばね、12・・・駆動ばね、13・・
・駆動用回転体、 ・14−・・軸受、16・・・ね
じ。
Claims (2)
- (1) ステージに付与し得る左右、前後、上下、左
右傾斜、前後傾斜、回転の6種類の自由度の微動のうち
、該ステージが基体に対し、回転のみの1自由度の微動
だけをなし得るように該ステージを、微動自由度を得よ
うとする前記方向にのみ弾性的に変形し得、他方向には
該他方向に対し変形量を無視し得る程度しか変形し得な
いばねにより該基体に対して保持し、該ステージを微動
させるのに、該ばねの該方向のばね定数より遥かに小な
るばね定数を有する駆動ばねを介して前記ステージに駆
動力を加えるようになしたことを特徴とするステージの
回転微動装置。 - (2)ステージにとり付けた支柱を、該支柱を中心に放
射状に設けた3〜4枚の板ばね1こよって基体に懸架支
持し、該支柱に回転力を付与する時、該板ばねが弾性変
形して、該ステージが一体に対して微小量回動し得るよ
うにせしめ、該支柱を懸架支持した板ばねの剛性より遥
かに小さい剛性を有し、該支柱に渦巻状に巻かれた駆動
ばねを介して該支柱に回転力を加えることによ ′り陪
ステージの回転微動を得るようにしたことを特徴とする
実用新案登録請求の範囲第1項記載のステージの回転微
動装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9141182U JPS587111U (ja) | 1982-06-18 | 1982-06-18 | ステ−ジの回転微動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9141182U JPS587111U (ja) | 1982-06-18 | 1982-06-18 | ステ−ジの回転微動装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS587111U true JPS587111U (ja) | 1983-01-18 |
JPS6218038Y2 JPS6218038Y2 (ja) | 1987-05-09 |
Family
ID=29886492
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9141182U Granted JPS587111U (ja) | 1982-06-18 | 1982-06-18 | ステ−ジの回転微動装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS587111U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6373185A (ja) * | 1986-09-16 | 1988-04-02 | 株式会社 宮沢マシン | 精密測定器等の回転ステ−ジ |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4911074A (ja) * | 1972-05-26 | 1974-01-31 |
-
1982
- 1982-06-18 JP JP9141182U patent/JPS587111U/ja active Granted
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4911074A (ja) * | 1972-05-26 | 1974-01-31 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6373185A (ja) * | 1986-09-16 | 1988-04-02 | 株式会社 宮沢マシン | 精密測定器等の回転ステ−ジ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6218038Y2 (ja) | 1987-05-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPS587111U (ja) | ステ−ジの回転微動装置 | |
JPS60138676U (ja) | 産業用ロボツト | |
JPS6093199U (ja) | デイスクプレ−ヤ | |
JPS6035349U (ja) | デイスクのチヤツキング機構 | |
JPH073513Y2 (ja) | 磁気ヘッド | |
JPS60178552U (ja) | テ−ブル駆動装置の送りナツト機構 | |
JPS6116747U (ja) | 磁気デイスク装置における回転駆動機構 | |
JPS6071595U (ja) | 可動体破損防止装置 | |
JPH0421945B2 (ja) | ||
JPS59112587U (ja) | 工業用ロボツト | |
JPS59192136U (ja) | オ−バ−ヘツドプロジエクタ− | |
JPS63184445U (ja) | ||
JPS59173591U (ja) | 素材保持装置 | |
JPS6080517U (ja) | 光学ピツクアツプ装置 | |
JPS604773U (ja) | ピストン機構 | |
JPS59143604U (ja) | 切削工具支持機構 | |
JPS59180269U (ja) | 磁気デイスク装置 | |
JPS6332359U (ja) | ||
JPS5986956U (ja) | 平面研磨用治具 | |
JPS59171279U (ja) | 速度感応型慣性制振装置 | |
JPS6114508U (ja) | アンテナ保持装置 | |
JPS59176729U (ja) | 突起物を有する物体の位置決め装置 | |
JPS61180942A (ja) | 光ピツクアツプ | |
JPS6085759U (ja) | ビデオデイスクプレ−ヤのチヤツキング装置 | |
JPS6093121U (ja) | 光学ピツクアツプ装置 |