JPS587111U - ステ−ジの回転微動装置 - Google Patents

ステ−ジの回転微動装置

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JPS587111U
JPS587111U JP9141182U JP9141182U JPS587111U JP S587111 U JPS587111 U JP S587111U JP 9141182 U JP9141182 U JP 9141182U JP 9141182 U JP9141182 U JP 9141182U JP S587111 U JPS587111 U JP S587111U
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JP
Japan
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stage
spring
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deformed
column
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JP9141182U
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JPS6218038Y2 (ja
Inventor
敏行 堀内
Original Assignee
日本電信電話株式会社
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Publication date
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Publication of JPS587111U publication Critical patent/JPS587111U/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来のステージ微動装置の実施例、第２図は本
考案のステニジの回転微動装置の実施例である。 １．８・・・ステージ、２・・・回転軸、３．１５・・
・アーム、４．１１・・・基体、５・・・マイクロメー
タヘッド、６五回転軸受、７・・・ボール、９・・・支
柱、１０・・・板ばね、１２・・・駆動ばね、１３・・
・駆動用回転体、　　・１４−・・軸受、１６・・・ね
じ。

Claims (2)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. （１）　　ステージに付与し得る左右、前後、上下、左
    右傾斜、前後傾斜、回転の６種類の自由度の微動のうち
    、該ステージが基体に対し、回転のみの１自由度の微動
    だけをなし得るように該ステージを、微動自由度を得よ
    うとする前記方向にのみ弾性的に変形し得、他方向には
    該他方向に対し変形量を無視し得る程度しか変形し得な
    いばねにより該基体に対して保持し、該ステージを微動
    させるのに、該ばねの該方向のばね定数より遥かに小な
    るばね定数を有する駆動ばねを介して前記ステージに駆
    動力を加えるようになしたことを特徴とするステージの
    回転微動装置。
  2. （２）ステージにとり付けた支柱を、該支柱を中心に放
    射状に設けた３〜４枚の板ばね１こよって基体に懸架支
    持し、該支柱に回転力を付与する時、該板ばねが弾性変
    形して、該ステージが一体に対して微小量回動し得るよ
    うにせしめ、該支柱を懸架支持した板ばねの剛性より遥
    かに小さい剛性を有し、該支柱に渦巻状に巻かれた駆動
    ばねを介して該支柱に回転力を加えることによ　′り陪
    ステージの回転微動を得るようにしたことを特徴とする
    実用新案登録請求の範囲第１項記載のステージの回転微
    動装置。
JP9141182U 1982-06-18 1982-06-18 ステ−ジの回転微動装置 Granted JPS587111U (ja)

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JP9141182U JPS587111U (ja) 1982-06-18 1982-06-18 ステ−ジの回転微動装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9141182U JPS587111U (ja) 1982-06-18 1982-06-18 ステ−ジの回転微動装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS587111U true JPS587111U (ja) 1983-01-18
JPS6218038Y2 JPS6218038Y2 (ja) 1987-05-09

Family

ID=29886492

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP9141182U Granted JPS587111U (ja) 1982-06-18 1982-06-18 ステ−ジの回転微動装置

Country Status (1)

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JP (1) JPS587111U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6373185A (ja) * 1986-09-16 1988-04-02 株式会社　宮沢マシン 精密測定器等の回転ステ−ジ

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4911074A (ja) * 1972-05-26 1974-01-31

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4911074A (ja) * 1972-05-26 1974-01-31

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6373185A (ja) * 1986-09-16 1988-04-02 株式会社　宮沢マシン 精密測定器等の回転ステ−ジ

Also Published As

Publication number Publication date
JPS6218038Y2 (ja) 1987-05-09

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