JPS62180257A - 湿度センサ - Google Patents
湿度センサInfo
- Publication number
- JPS62180257A JPS62180257A JP2207986A JP2207986A JPS62180257A JP S62180257 A JPS62180257 A JP S62180257A JP 2207986 A JP2207986 A JP 2207986A JP 2207986 A JP2207986 A JP 2207986A JP S62180257 A JPS62180257 A JP S62180257A
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- JP
- Japan
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- sintered body
- humidity sensor
- dust
- moisture sensitive
- sensitive part
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims abstract description 23
- 229920001169 thermoplastic Polymers 0.000 claims abstract description 5
- 239000004033 plastic Substances 0.000 claims description 17
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 claims description 17
- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract description 15
- 230000035699 permeability Effects 0.000 abstract description 6
- 239000004416 thermosoftening plastic Substances 0.000 abstract description 4
- 238000005245 sintering Methods 0.000 abstract description 3
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 abstract 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract 2
- 229910011312 Li3VO4 Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract 1
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 abstract 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 7
- -1 polyethylene Polymers 0.000 description 6
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 5
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 3
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 2
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 2
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000003595 mist Substances 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 1
- 229920002689 polyvinyl acetate Polymers 0.000 description 1
- 239000011118 polyvinyl acetate Substances 0.000 description 1
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 1
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は感湿部を多孔質プラスチック焼結体で覆った湿
度センサに関する。
度センサに関する。
従来、たとえばＺｎＯ，Ｌｉ、ＶＯ，、ＬｉＣｔ など
気体中の水分惜によって電気的特性が変化する性質を利
用した湿度センサが開発されている。その湿度センサは
長時間にわたって測定が行われるため、感湿部に該気体
中に含まれるオイルミスト、塵埃等（以下塵埃等と略称
する）が漸次付着し、感湿部の電気的特性が経時変化し
、ついには測定不能となる。
気体中の水分惜によって電気的特性が変化する性質を利
用した湿度センサが開発されている。その湿度センサは
長時間にわたって測定が行われるため、感湿部に該気体
中に含まれるオイルミスト、塵埃等（以下塵埃等と略称
する）が漸次付着し、感湿部の電気的特性が経時変化し
、ついには測定不能となる。
それを解決する方法として、塵埃等は捕捉するが、気体
と水分は通過するフィルタで感湿部を覆う方法が提案さ
れた。そのフィルタとして和紙、金網あるいは有機繊維
でつくったクロスるさい、気体の水分を吸着するだめ、
フィルタ内外の気体の水分が等しくなるのに時間がかか
り、湿度センサの応答速ＪＷが遅くなる欠点がある上、
クロスの場合にはさらに孔径が約１ｍｍと大き過ぎるだ
め塵埃等の捕捉も不十分であった。
と水分は通過するフィルタで感湿部を覆う方法が提案さ
れた。そのフィルタとして和紙、金網あるいは有機繊維
でつくったクロスるさい、気体の水分を吸着するだめ、
フィルタ内外の気体の水分が等しくなるのに時間がかか
り、湿度センサの応答速ＪＷが遅くなる欠点がある上、
クロスの場合にはさらに孔径が約１ｍｍと大き過ぎるだ
め塵埃等の捕捉も不十分であった。
また金網をフィルタとして用いた場合、金網の孔径より
小さい塵埃等の捕捉が不十分であった。
小さい塵埃等の捕捉が不十分であった。
リプロピレン、シリコン樹脂等でつくった孔径約１μｍ
以下のフィルムを利用する方法が開発された（特開昭５
８−８６４４７、特開昭６０−４６４５５ ）。
以下のフィルムを利用する方法が開発された（特開昭５
８−８６４４７、特開昭６０−４６４５５ ）。
しかし樹脂フィルムを用いたフィルタは従来の欠点であ
る吸湿性や塵埃等の捕捉は改良されたが、孔径が小さ過
ぎるため、フィルタの通気性が著しく悪い。それが原因
でフィルタ内外の気体が同一条件になるのに時間がかか
り過ぎて応答特性の悪い湿度センサであった。
る吸湿性や塵埃等の捕捉は改良されたが、孔径が小さ過
ぎるため、フィルタの通気性が著しく悪い。それが原因
でフィルタ内外の気体が同一条件になるのに時間がかか
り過ぎて応答特性の悪い湿度センサであった。
そこで本発明者らは通気性が良好で、かつ塵埃等を捕捉
できるフィルタについて研究した結果、下記に示す発明
に到達した。
できるフィルタについて研究した結果、下記に示す発明
に到達した。
すなわち、本発明は連通気孔を有する多孔質プラスチッ
ク焼結体で感湿部を覆った湿度センサを提供するもので
ある。
ク焼結体で感湿部を覆った湿度センサを提供するもので
ある。
本発明に使用されるプラスチックには熱可塑性プラスチ
ック、たとえばポリ塩化ビニル、ポリ酢酸ビニル、ポリ
スチレン、ポリアミド、ポリエチレン、ポリプロピレン
などが挙げられる。
ック、たとえばポリ塩化ビニル、ポリ酢酸ビニル、ポリ
スチレン、ポリアミド、ポリエチレン、ポリプロピレン
などが挙げられる。
前記プラスチックを用いて多孔質・焼結体をつくるには
、適当な粒度のプラスチック粉末を所要形状に加圧成形
したのち焼結する。その際使用したプラスチックの軟化
点よりやや低い温度から軟化点付近（たとえばポリプロ
ピレンの場合は１５０〜１７０℃）で、成形体の表面が
多孔質になるように適当に溶着させる。この場合、プラ
スチックの粒度、焼結温度、焼結時間によって孔径が異
なるので、所望の孔径に応じてこれらの条件を変化させ
る必要がある。
、適当な粒度のプラスチック粉末を所要形状に加圧成形
したのち焼結する。その際使用したプラスチックの軟化
点よりやや低い温度から軟化点付近（たとえばポリプロ
ピレンの場合は１５０〜１７０℃）で、成形体の表面が
多孔質になるように適当に溶着させる。この場合、プラ
スチックの粒度、焼結温度、焼結時間によって孔径が異
なるので、所望の孔径に応じてこれらの条件を変化させ
る必要がある。
かくして、連通気孔を有する多孔質焼結体が得られるが
、その平均孔径は５０〜８００μｍが好ましい。平均孔
径が５０μｍ未満であると気体の通気抵抗が犬きくなシ
、応答特性が悪くなる。
、その平均孔径は５０〜８００μｍが好ましい。平均孔
径が５０μｍ未満であると気体の通気抵抗が犬きくなシ
、応答特性が悪くなる。
一方８００μｍを超えると塵埃等を十分捕捉できないた
め、感湿部に塵埃等が付着して電気的特性を悪くするの
で好ましくない。
め、感湿部に塵埃等が付着して電気的特性を悪くするの
で好ましくない。
前記焼結体の肉厚は通気性および形゛状維持の観点から
０．５〜５ｍｍ、好ましくは０．８〜３調である。肉厚
が０．５ｍｍ未満では加圧成形が困難であるばかりでな
く、焼結体の強度か弱すぎて湿度センサのフィルタとし
て組立てるのが難しい。
０．５〜５ｍｍ、好ましくは０．８〜３調である。肉厚
が０．５ｍｍ未満では加圧成形が困難であるばかりでな
く、焼結体の強度か弱すぎて湿度センサのフィルタとし
て組立てるのが難しい。
また５？＋１＋＋１を超えると通気抵抗が大きくなりす
ぎて応答特性が悪く好ましくない。
ぎて応答特性が悪く好ましくない。
このようにして得られた本発明（ｃ、用いる焼結体は加
圧成形体表面に存在するプラスチック粉末が相互に部分
的に溶着しているため１表面は多数の孔を有し、かつ一
体的につながっている。
圧成形体表面に存在するプラスチック粉末が相互に部分
的に溶着しているため１表面は多数の孔を有し、かつ一
体的につながっている。
その内部は大部分が粉末状のまま密に詰っている。それ
故焼結体の連通気孔は厚さ方向に単−径で、直像的に通
じているのではなく、プラスチック粉末の間隙を曲折し
て両面に通じている。
故焼結体の連通気孔は厚さ方向に単−径で、直像的に通
じているのではなく、プラスチック粉末の間隙を曲折し
て両面に通じている。
したがって前記焼結体をフィルタとして用いたさい、焼
結体表面の孔径より小さい塵埃等がその表面の孔に入り
込んでも曲折する内部の連通気孔を通過中に粉末に衝突
したりして孔内に沈着して捕捉され、感湿部にまでは到
達しない。
結体表面の孔径より小さい塵埃等がその表面の孔に入り
込んでも曲折する内部の連通気孔を通過中に粉末に衝突
したりして孔内に沈着して捕捉され、感湿部にまでは到
達しない。
それゆえ焼結体裏面からは気体と水分のみが流出する。
またプラスチック粉末には吸湿性がないため焼結体表面
の水分はそのまま裏面に到達するので湿度に誤差を生じ
ない。
の水分はそのまま裏面に到達するので湿度に誤差を生じ
ない。
以上説明した本発明の多孔質プラスチック焼結体をフィ
ルタとして用いる一実施態様を図に示した。その形状、
大きさは適用する感湿部に合わせてつくればよく、本発
明においてそれらは特に限定されない。
ルタとして用いる一実施態様を図に示した。その形状、
大きさは適用する感湿部に合わせてつくればよく、本発
明においてそれらは特に限定されない。
〔実施例〕、〔比較例〕
８０〜２０００μｍのポリプロピレン粉末（昭和電工社
製）を加圧して一方を閉塞しだ円筒形の成形体をつくっ
た。この成形体を１４０℃で数分間・焼結して第１表に
示す平均孔径、肉厚を有する多孔質ポリプロピレン焼結
体を得た。なお肉厚０．２鴫の焼結体の作製を試みたが
作製できなかった。
製）を加圧して一方を閉塞しだ円筒形の成形体をつくっ
た。この成形体を１４０℃で数分間・焼結して第１表に
示す平均孔径、肉厚を有する多孔質ポリプロピレン焼結
体を得た。なお肉厚０．２鴫の焼結体の作製を試みたが
作製できなかった。
この・焼結体を、Ｌｉ５ＶＯ，系感湿部を取り付けたア
ルミナ質基板をセットしたペースにフィルタとして図に
示すように覆って湿度センサをつくった。
ルミナ質基板をセットしたペースにフィルタとして図に
示すように覆って湿度センサをつくった。
それぞれの湿度センサを４ Ｑ ％ Ｉ（，１１の気体
中に置いて指示値が一定となったとき、８Ｃ１ｒ（ｉ（
の気体中に置き換えて湿度センサの応答特性を測定し、
得られた結果を第１表に併記した。
中に置いて指示値が一定となったとき、８Ｃ１ｒ（ｉ（
の気体中に置き換えて湿度センサの応答特性を測定し、
得られた結果を第１表に併記した。
なお従来法としてポリプロピレンフィルム（孔径０．５
μｍ、肉厚０．８ｍｍ）を用いた場合についても測定し
、同表に比較例３として併記した。
μｍ、肉厚０．８ｍｍ）を用いた場合についても測定し
、同表に比較例３として併記した。
第 １ 表
〔発明の効果〕
本発明の湿度センサは、多孔質プラスチック焼結体で感
湿部を覆っているため、流入した塵埃等は曲折している
焼結体内部の連通気孔により捕捉されるが、通気性が良
いだめ従来に見られないきわめて速い応答特性を有して
いた。さらに前記フィルタは弾力性があるため感湿部へ
の取り付は作業も容易である。
湿部を覆っているため、流入した塵埃等は曲折している
焼結体内部の連通気孔により捕捉されるが、通気性が良
いだめ従来に見られないきわめて速い応答特性を有して
いた。さらに前記フィルタは弾力性があるため感湿部へ
の取り付は作業も容易である。
従って本発明の湿度センサを空調器機等と接続して用い
たとき、迅速に湿度の調整ができるので有用性が極めて
高い。
たとき、迅速に湿度の調整ができるので有用性が極めて
高い。
図は本発明の湿度センサにおけるプラスチック焼結体フ
ィルタの一実施態様を示す断面図である。 １・・・・・・・・・感湿部 ２・・・・・・・・・多孔質プラスチック焼結体３・・
・・・・・・・ベース
ィルタの一実施態様を示す断面図である。 １・・・・・・・・・感湿部 ２・・・・・・・・・多孔質プラスチック焼結体３・・
・・・・・・・ベース
Claims (3)
- （１） 連通気孔を有する多孔質プラスチック焼結体で
感湿部を覆ってなる湿度センサ - （２） 多孔質プラスチック焼結体が熱可塑性プラスチ
ックを焼結したものである特許請求の範囲第（１）項記
載の湿度センサ - （３） 多孔質プラスチック焼結体の孔径が５０〜８０
０μｍ、肉厚が０．５〜５ｍｍである特許請求の範囲第
（１）項記載の湿度センサ
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2207986A JPS62180257A (ja) | 1986-02-05 | 1986-02-05 | 湿度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2207986A JPS62180257A (ja) | 1986-02-05 | 1986-02-05 | 湿度センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62180257A true JPS62180257A (ja) | 1987-08-07 |
Family
ID=12072874
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2207986A Pending JPS62180257A (ja) | 1986-02-05 | 1986-02-05 | 湿度センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62180257A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2018179248A1 (ja) * | 2017-03-30 | 2019-07-04 | 三菱電機株式会社 | 換気装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5551347A (en) * | 1978-10-12 | 1980-04-15 | Shinei Kk | Moisture-sensitive element |
-
1986
- 1986-02-05 JP JP2207986A patent/JPS62180257A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5551347A (en) * | 1978-10-12 | 1980-04-15 | Shinei Kk | Moisture-sensitive element |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2018179248A1 (ja) * | 2017-03-30 | 2019-07-04 | 三菱電機株式会社 | 換気装置 |
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