JPS62170650U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62170650U JPS62170650U JP5881386U JP5881386U JPS62170650U JP S62170650 U JPS62170650 U JP S62170650U JP 5881386 U JP5881386 U JP 5881386U JP 5881386 U JP5881386 U JP 5881386U JP S62170650 U JPS62170650 U JP S62170650U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- insulating film
- channel region
- gate electrode
- region
- corner
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 1
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 1
Description
第1図は本考案の第1の実施例の断面図、第2
図は第1図の装置の製造工程図、第3図は本考案
の第2の実施例の断面図、第4図は第3図の装置
の製造工程図、第5図は本考案の第3の実施例の
断面図、第6図は第5図の装置の製造工程図、第
7図は従来装置の一例の断面図、第8図は従来装
置の部分拡大図である。 〈符号の説明〉、1…絶縁膜、2…ゲート電極
、7,7′…ゲート絶縁膜、8…ソース領域、9
…チヤネル領域、10…ドレイン領域、11…層
間絶縁膜、12…電極配線、13…パツシベーシ
ヨン膜。
図は第1図の装置の製造工程図、第3図は本考案
の第2の実施例の断面図、第4図は第3図の装置
の製造工程図、第5図は本考案の第3の実施例の
断面図、第6図は第5図の装置の製造工程図、第
7図は従来装置の一例の断面図、第8図は従来装
置の部分拡大図である。 〈符号の説明〉、1…絶縁膜、2…ゲート電極
、7,7′…ゲート絶縁膜、8…ソース領域、9
…チヤネル領域、10…ドレイン領域、11…層
間絶縁膜、12…電極配線、13…パツシベーシ
ヨン膜。
Claims (1)
- ゲート電極の上に形成された絶縁膜と、その上
にチヤネル領域となる部分を除いて形成されたソ
ース領域及びドレイン領域とを備えたMISトラ
ンジスタにおいて、上記絶縁膜の、チヤネル領域
部分以外の部分で少なくともゲート電極の角部を
含む部分の膜厚をチヤネル領域部分の膜厚より厚
く形成したことを特徴とする半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5881386U JPS62170650U (ja) | 1986-04-21 | 1986-04-21 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5881386U JPS62170650U (ja) | 1986-04-21 | 1986-04-21 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62170650U true JPS62170650U (ja) | 1987-10-29 |
Family
ID=30889722
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5881386U Pending JPS62170650U (ja) | 1986-04-21 | 1986-04-21 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62170650U (ja) |
-
1986
- 1986-04-21 JP JP5881386U patent/JPS62170650U/ja active Pending