JPS62168414U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62168414U JPS62168414U JP5729886U JP5729886U JPS62168414U JP S62168414 U JPS62168414 U JP S62168414U JP 5729886 U JP5729886 U JP 5729886U JP 5729886 U JP5729886 U JP 5729886U JP S62168414 U JPS62168414 U JP S62168414U
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す構成図、第２
図は間隙基準部材の一例を示す説明図、第３図は
参照部材２３と間隙および干渉色の関係を示す図
、第４図、第７図は接眼レンズ５から見た像を示
す図、第５図、第６図は間隙基準部材の他の実施
例を示す図、第８図は本考案を薄膜の膜厚測定に
応用することを説明する図、第９図、第１０図は
従来例を示す説明図。 ２……ガラスデイスク、３……ヘツド、４……
白色光源、６，１７……ハーフミラー、８……間
隙基準部材、２１……オプテイカルフラツト、２
３，３１……参照部材、２９ａ，２９ｂ，３２…
…圧電素子。
図は間隙基準部材の一例を示す説明図、第３図は
参照部材２３と間隙および干渉色の関係を示す図
、第４図、第７図は接眼レンズ５から見た像を示
す図、第５図、第６図は間隙基準部材の他の実施
例を示す図、第８図は本考案を薄膜の膜厚測定に
応用することを説明する図、第９図、第１０図は
従来例を示す説明図。 ２……ガラスデイスク、３……ヘツド、４……
白色光源、６，１７……ハーフミラー、８……間
隙基準部材、２１……オプテイカルフラツト、２
３，３１……参照部材、２９ａ，２９ｂ，３２…
…圧電素子。
Claims (1)
- 光源と該光源からの出力光を被測定物に照射す
る光学手段を有し、上記被測定物の異つた２面か
らの反射光の干渉を測定して上記２面間の微小間
隙を測定する微小間隙測定装置において、一定ま
たは可変な間隙を有する間隙基準部材と、前記被
測定物からの反射光と前記間隙基準部材からの反
射光を同一視野内に投影する光学系とを具備した
ことを特徴とする微小間隙測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5729886U JPH05815Y2 (ja) | 1986-04-16 | 1986-04-16 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5729886U JPH05815Y2 (ja) | 1986-04-16 | 1986-04-16 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62168414U true JPS62168414U (ja) | 1987-10-26 |
| JPH05815Y2 JPH05815Y2 (ja) | 1993-01-11 |
Family
ID=30886880
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5729886U Expired - Lifetime JPH05815Y2 (ja) | 1986-04-16 | 1986-04-16 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05815Y2 (ja) |
-
1986
- 1986-04-16 JP JP5729886U patent/JPH05815Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05815Y2 (ja) | 1993-01-11 |