JPS6216587A - ガスレ−ザ発振器 - Google Patents
ガスレ−ザ発振器Info
- Publication number
- JPS6216587A JPS6216587A JP15648485A JP15648485A JPS6216587A JP S6216587 A JPS6216587 A JP S6216587A JP 15648485 A JP15648485 A JP 15648485A JP 15648485 A JP15648485 A JP 15648485A JP S6216587 A JPS6216587 A JP S6216587A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- output
- mirror
- output mirror
- mirrors
- holder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/08—Construction or shape of optical resonators or components thereof
- H01S3/086—One or more reflectors having variable properties or positions for initial adjustment of the resonator
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明はガスレーザ発振器に関する。更に詳しくいえば
、累積動作時間が長くなり、レーザ管の特性変化が生じ
た場合にも所定の最大出力を容易に得ることのできるガ
スレーザ発振器に関する。
、累積動作時間が長くなり、レーザ管の特性変化が生じ
た場合にも所定の最大出力を容易に得ることのできるガ
スレーザ発振器に関する。
従来の技術
レーザ発振器の各種特性において重要なものとしてはレ
ーザ光出力、発振しきい値、スペクトル特性、出射パタ
ーンと広がり角などがあるが、特にレーザ光出力はレー
ザ共振器における利得と損失との釣り合いによって定ま
り、また長時間の動作後にはレーザ管自体の劣化にも大
きく影響される。レーザ発振器の設計・製造においては
この光出力を単一モード（ガウスモード）で長時間に亘
り安定して得られるように工夫する必要がある。
ーザ光出力、発振しきい値、スペクトル特性、出射パタ
ーンと広がり角などがあるが、特にレーザ光出力はレー
ザ共振器における利得と損失との釣り合いによって定ま
り、また長時間の動作後にはレーザ管自体の劣化にも大
きく影響される。レーザ発振器の設計・製造においては
この光出力を単一モード（ガウスモード）で長時間に亘
り安定して得られるように工夫する必要がある。
ガスレーザ発振器は、レーザ管内に封入したガスをポン
ピング、例えば放電により励起し、誘導放出を得、レー
ザ発振するものであるが、従来この種のガスレーザ発振
器としては、ガスレーザ管と、このガスレーザ管を保持
固定するためのフレームと、フレーム両端に設けられた
１対のミラーホルダと、そのミラーホルダに装着された
全反射ミラーと出力ミラーで構成される光共振器とを具
備するものであった。
ピング、例えば放電により励起し、誘導放出を得、レー
ザ発振するものであるが、従来この種のガスレーザ発振
器としては、ガスレーザ管と、このガスレーザ管を保持
固定するためのフレームと、フレーム両端に設けられた
１対のミラーホルダと、そのミラーホルダに装着された
全反射ミラーと出力ミラーで構成される光共振器とを具
備するものであった。
しかしながら、このような従来のガスレーザ発振器にお
ける共振器は、１対の光共振器ミラー、即ち約１００％
の反射率を有する全反射ミラーと、数％の透過率を有す
る単一の出力ミラーを具備する構成となっているので、
累積動作時間が長くなるに伴い、レーザ管の特性、特に
損失が変化した場合には、出力ミラーの透過率が所定の
最大の出力を与える値からズしてくるために、累積動作
時間が長時間になった時点で当然得られるはずの可能な
最大出力が得られないという欠点を有している。レーザ
管の損失は例えば封入したガスのもれ、あるいはグラフ
ァイトなどのディスク細管（プラズマ細管）を用いた場
合にみられるディスクの崩れ等に基く細管径の変化など
によって生ずるものと思われる。
ける共振器は、１対の光共振器ミラー、即ち約１００％
の反射率を有する全反射ミラーと、数％の透過率を有す
る単一の出力ミラーを具備する構成となっているので、
累積動作時間が長くなるに伴い、レーザ管の特性、特に
損失が変化した場合には、出力ミラーの透過率が所定の
最大の出力を与える値からズしてくるために、累積動作
時間が長時間になった時点で当然得られるはずの可能な
最大出力が得られないという欠点を有している。レーザ
管の損失は例えば封入したガスのもれ、あるいはグラフ
ァイトなどのディスク細管（プラズマ細管）を用いた場
合にみられるディスクの崩れ等に基く細管径の変化など
によって生ずるものと思われる。
このレーザ管の損失増加に伴って所定の最大出力が得ら
れなくるという問題は、出力ミラーの交換、即ち出力ミ
ラーの透過率を変えることにより解決できるものと考え
られる。
れなくるという問題は、出力ミラーの交換、即ち出力ミ
ラーの透過率を変えることにより解決できるものと考え
られる。
ところで、最大出力を得るため透過率の異る出力ミラー
を装着しようとする場合、即ち出力ミラーを交換しよう
とする場合、従来のガスレーザ発振器では、ミラーアラ
イメントを最初から行わなければならず、更にガスレー
ザ発振器を含めた光学系の再アライメント等を実施しな
ければならない等のために多大の時間と労力とを要する
という問題がある。
を装着しようとする場合、即ち出力ミラーを交換しよう
とする場合、従来のガスレーザ発振器では、ミラーアラ
イメントを最初から行わなければならず、更にガスレー
ザ発振器を含めた光学系の再アライメント等を実施しな
ければならない等のために多大の時間と労力とを要する
という問題がある。
発明が解決しようとする問題点
以上述べたように、ガスレーザ発振器の設計・製造にお
いては、安定した出力を長期に亘り保証するように工夫
する必要がある。そのためにはレーザ管の損失増に伴う
出力変動に応じて使用中の出力ミラーを、透過率の異な
る別の出力ミラーと交換することが有利であるが、従来
の上記の如き構成のガスレーザ発振器では、既に述べた
ような各種の問題点があり、実用的でない。
いては、安定した出力を長期に亘り保証するように工夫
する必要がある。そのためにはレーザ管の損失増に伴う
出力変動に応じて使用中の出力ミラーを、透過率の異な
る別の出力ミラーと交換することが有利であるが、従来
の上記の如き構成のガスレーザ発振器では、既に述べた
ような各種の問題点があり、実用的でない。
そこで、これらの問題を解決し、累積動作時間が長くな
っても所定の最大出力を保証するガスレーザ発振器、あ
るいはまた動作中に任意に出力を変えることのできるガ
スレーザ発信器の開発に対する大きな要望があり、本発
明の目的もこの点にある。
っても所定の最大出力を保証するガスレーザ発振器、あ
るいはまた動作中に任意に出力を変えることのできるガ
スレーザ発信器の開発に対する大きな要望があり、本発
明の目的もこの点にある。
問題点を解決するための手段
本発明者は長期に亘る累積動作時間の後にも所定の最大
出力を維持し得る改良されたガスレーザ発振器を開発す
べく種々検討、研究し、上記従来のガスレーザ発振器の
、特に共振器における改良を行い、上記目的が回転し得
る出力ミラーホルダに、複数の透過率の異る出力ミラー
を装着し、必要に応じてミラーホルダを固転させて所定
の透過率の出力ミラーを選択して使用することにより有
利に達成し得ることを見出し、・本発明を完成した。
出力を維持し得る改良されたガスレーザ発振器を開発す
べく種々検討、研究し、上記従来のガスレーザ発振器の
、特に共振器における改良を行い、上記目的が回転し得
る出力ミラーホルダに、複数の透過率の異る出力ミラー
を装着し、必要に応じてミラーホルダを固転させて所定
の透過率の出力ミラーを選択して使用することにより有
利に達成し得ることを見出し、・本発明を完成した。
即ち、本発明のガスレーザ発振器はガスレーザ管と、こ
のガスレーザ管を保持固定するためのフレームと、フレ
ームの両端に設置された１対のミラーホルダと、これら
ミラーホルダに夫々装着された光共振器を構成する全反
射ミラーおよび出力ミラーとを具備するガスレーザ発振
器であって、上記共振器が、回転でき、所定の位置で固
定できる出力ミラーホルダ上に装着された複数の透過率
の異なる出力ミラーと、他方のミラーホルダに装着され
た約１００％の反射率を有する全反射ミラーとで構成さ
れていることを特徴とする。
のガスレーザ管を保持固定するためのフレームと、フレ
ームの両端に設置された１対のミラーホルダと、これら
ミラーホルダに夫々装着された光共振器を構成する全反
射ミラーおよび出力ミラーとを具備するガスレーザ発振
器であって、上記共振器が、回転でき、所定の位置で固
定できる出力ミラーホルダ上に装着された複数の透過率
の異なる出力ミラーと、他方のミラーホルダに装着され
た約１００％の反射率を有する全反射ミラーとで構成さ
れていることを特徴とする。
本発明のガスレーザ発振器において、複数の出力ミラー
を装着したミラーホルダは回転並びに所定の位置で固定
することができ、その結果前記の複数の透過率を異にす
る出力ミラーのうちから任意の一つを選択し、新たにア
ライメント等を行うことなしに出力ミラーとして使用で
きるようになっている。
を装着したミラーホルダは回転並びに所定の位置で固定
することができ、その結果前記の複数の透過率を異にす
る出力ミラーのうちから任意の一つを選択し、新たにア
ライメント等を行うことなしに出力ミラーとして使用で
きるようになっている。
九月
ガスレーザ発振器における出力安定性、特に累積動作時
間が長くなり、レーザ管の損失が増大した場合に所定の
最大出力を維持するためには、出力ミラーの透過率を変
える必要がある。そのために、本発明では単一の回転で
き、所定の位置で固定できる出力ミラーホルダを使用し
、これに複数の透過率の異る出力ミラーを装着し、必要
に応じてミラーホルダを回転させて、出力ミラーを交換
できるようにした。
間が長くなり、レーザ管の損失が増大した場合に所定の
最大出力を維持するためには、出力ミラーの透過率を変
える必要がある。そのために、本発明では単一の回転で
き、所定の位置で固定できる出力ミラーホルダを使用し
、これに複数の透過率の異る出力ミラーを装着し、必要
に応じてミラーホルダを回転させて、出力ミラーを交換
できるようにした。
この回転でき、所定の位置で固定できる出力ミラーホル
ダはレーザ発振器のジンバルプレート外面に回転軸とし
ても機能する金属部材で取付け、この金属部材の中心軸
を中心とし、かつ光軸もしくはレーザ管の中心軸を通る
円周上に中心をもつように複数の透過率の異る出力ミラ
ーを装着し、また例えばラッチ機構、即ち前記金属部材
外面上に設けたラッチバネと、ミラーホルダの金属部材
との嵌合孔内面に設けられた位置決め用ノツチとの組合
せ等の各種公知の固定手段により実現できる。また、上
記金属部材をネジとし、これを緩めて出力ミラーホルダ
を回転させ、出力ミラーを交換した後、再度ネジを締め
て固定するなどの方法によっても実現できる。
ダはレーザ発振器のジンバルプレート外面に回転軸とし
ても機能する金属部材で取付け、この金属部材の中心軸
を中心とし、かつ光軸もしくはレーザ管の中心軸を通る
円周上に中心をもつように複数の透過率の異る出力ミラ
ーを装着し、また例えばラッチ機構、即ち前記金属部材
外面上に設けたラッチバネと、ミラーホルダの金属部材
との嵌合孔内面に設けられた位置決め用ノツチとの組合
せ等の各種公知の固定手段により実現できる。また、上
記金属部材をネジとし、これを緩めて出力ミラーホルダ
を回転させ、出力ミラーを交換した後、再度ネジを締め
て固定するなどの方法によっても実現できる。
このようにして、本発明のガスレーザ発振器によれば、
新たにアライメントを実施することなしに、現在使用中
の出力ミラーを透過率の異る別の出力ミラーで交換する
ことができ、その結果レーザ発振中に発振器を停止する
ことなしに、所定の最大出力を得ることができる。これ
は、累積動作時間が長くなりそれに伴ってレーザ管の損
失が増大した場合ばかりでなく、任意の時点でレーザ出
力レベルを変更したい場合にも勿論有効であり、いずれ
の場合にも優れた効果を期待することができる。
新たにアライメントを実施することなしに、現在使用中
の出力ミラーを透過率の異る別の出力ミラーで交換する
ことができ、その結果レーザ発振中に発振器を停止する
ことなしに、所定の最大出力を得ることができる。これ
は、累積動作時間が長くなりそれに伴ってレーザ管の損
失が増大した場合ばかりでなく、任意の時点でレーザ出
力レベルを変更したい場合にも勿論有効であり、いずれ
の場合にも優れた効果を期待することができる。
実施例
以下、添付図を参照して記載される実施例により本発明
のガスレーザ発振器を更に具体的に説明するか、本発明
の範囲は以下の実施例により何等制限されない。
のガスレーザ発振器を更に具体的に説明するか、本発明
の範囲は以下の実施例により何等制限されない。
添付第１図は本発明のガスレーザ発振器の好ましい一実
施例を示す概略断面図である。第１図から明らかなよう
に、本発明のガスレーザ発振器はレーザ管１と、レーザ
管１を保持固定するためのフレーム２と、フレーム２０
両端面上に設けられた一対のミラーホルダ３および４と
、ミラーホルダ３に装着された全反射ミラー５と、ミラ
ーホルダ４に装着された複数の出力ミラー６（この場合
、実際に共振器を構成しているミラーのみ表示）と、レ
ーザ発振器を支持するベース筐体の基盤７とから主とし
て構成されている。フレーム２はレーザ管１の中心軸と
平行に配置されたインバーまたはＡＩ製の棒状部材８と
、レーザ管１の中心軸に対して垂直に配置され、棒状部
材８が貫通し、レーザ管１を保持固定している、例えば
ＡＩ製のプレート９と、両端部において棒状部材８が貫
通し、レーザ管１の中心軸上に中心を有する光通過用の
孔を有し、外側に夫々出力ミラーホルダ４および全反射
ミラーホルダ３を有する２枚のジンバルプレー）１０ａ
、１０ｂとから構成されている。
施例を示す概略断面図である。第１図から明らかなよう
に、本発明のガスレーザ発振器はレーザ管１と、レーザ
管１を保持固定するためのフレーム２と、フレーム２０
両端面上に設けられた一対のミラーホルダ３および４と
、ミラーホルダ３に装着された全反射ミラー５と、ミラ
ーホルダ４に装着された複数の出力ミラー６（この場合
、実際に共振器を構成しているミラーのみ表示）と、レ
ーザ発振器を支持するベース筐体の基盤７とから主とし
て構成されている。フレーム２はレーザ管１の中心軸と
平行に配置されたインバーまたはＡＩ製の棒状部材８と
、レーザ管１の中心軸に対して垂直に配置され、棒状部
材８が貫通し、レーザ管１を保持固定している、例えば
ＡＩ製のプレート９と、両端部において棒状部材８が貫
通し、レーザ管１の中心軸上に中心を有する光通過用の
孔を有し、外側に夫々出力ミラーホルダ４および全反射
ミラーホルダ３を有する２枚のジンバルプレー）１０ａ
、１０ｂとから構成されている。
本発明の特徴とする出力ミラーホルダ４および出力ミラ
ー６の構成を、更に詳細に拡大図で示した第２図に基き
更に詳しく説明すると、ジンバルプレート１０ａ上に、
出力ミラーホルダ４がその中心を通り、これを回転する
軸としても機能するネジ等の金属部材１１によって固定
支持されている。
ー６の構成を、更に詳細に拡大図で示した第２図に基き
更に詳しく説明すると、ジンバルプレート１０ａ上に、
出力ミラーホルダ４がその中心を通り、これを回転する
軸としても機能するネジ等の金属部材１１によって固定
支持されている。
本発明の出力ミラーホルダ４には複数の透過率を異にす
る出力ミラー６１〜６６が金属部材１１の中心を通る円
周上に中心を有するように装着されている。ここでＰ点
、即ちジンバルプレートの光通路用孔部分にある出力ミ
ラー６Ｉが実際の出力ミラーとして機能する。
る出力ミラー６１〜６６が金属部材１１の中心を通る円
周上に中心を有するように装着されている。ここでＰ点
、即ちジンバルプレートの光通路用孔部分にある出力ミ
ラー６Ｉが実際の出力ミラーとして機能する。
本発明のガスレーザ発振器においては、金属部品１１を
緩め、出力ミラーホルダを回転させ、Ｐ点に出力ミラー
６１〜６６のうちの任意の１つを選択して設定し、次い
で金属部品１１を締めて固定することにより、所定の透
過率を有する出力ミラーを使用し、目的とする最大出力
を自由に取出すことができる。
緩め、出力ミラーホルダを回転させ、Ｐ点に出力ミラー
６１〜６６のうちの任意の１つを選択して設定し、次い
で金属部品１１を締めて固定することにより、所定の透
過率を有する出力ミラーを使用し、目的とする最大出力
を自由に取出すことができる。
例えば、レーザ管の損失をパラメータとして、出力ミラ
ーの透過度と出力との関係を第３図に示したが、当初の
損失ＯＪ％で、ミラー透過率１．８％のＤ点で構成され
たものが、損失０．５％となった場合において、最大出
力の得られるミラー透過率２．１％にズしてきた場合、
本発明のガスレーザ発振器によれば、出力ミラー６１〜
６６からこの値のものを選択することにより、最大の出
力を得ることができることになる。
ーの透過度と出力との関係を第３図に示したが、当初の
損失ＯＪ％で、ミラー透過率１．８％のＤ点で構成され
たものが、損失０．５％となった場合において、最大出
力の得られるミラー透過率２．１％にズしてきた場合、
本発明のガスレーザ発振器によれば、出力ミラー６１〜
６６からこの値のものを選択することにより、最大の出
力を得ることができることになる。
Ｂ墨茎層１
以上詳しく説明したように、本発明によれば、ガスレー
ザ発振器において、特に共振器を改良して、出力ミラー
ホルダ上に透過率の異る複数の出力ミラーを装着し、そ
の中から適当な任意の一つを選択し、出力ミラーとして
使用できるような構成としたことにより、ガスレーザ発
振器の累積動作時間を著しく延長することが可能となっ
た。即ち、レーザ管の特性、特に損失が変化し、ある特
定の透過率を有する出力ミラーではその透過率の不十分
さにより所定の最大の出力を得ることが困難になった場
合には、ミラーホルダを回転させて出力ミラーを変え、
透過率を十分な値とすることにより、所定の最大出力を
与えるレーデ発振器とすることができる。かくして、本
発明のガスレーザ発振器では、長期に亘る累積動作後に
レーザ管の損失が大きくなった場合にも、出力ミラーを
変更することにより簡単に最大出力を有するレーザ発振
器を得ることができるという利点を有する。
ザ発振器において、特に共振器を改良して、出力ミラー
ホルダ上に透過率の異る複数の出力ミラーを装着し、そ
の中から適当な任意の一つを選択し、出力ミラーとして
使用できるような構成としたことにより、ガスレーザ発
振器の累積動作時間を著しく延長することが可能となっ
た。即ち、レーザ管の特性、特に損失が変化し、ある特
定の透過率を有する出力ミラーではその透過率の不十分
さにより所定の最大の出力を得ることが困難になった場
合には、ミラーホルダを回転させて出力ミラーを変え、
透過率を十分な値とすることにより、所定の最大出力を
与えるレーデ発振器とすることができる。かくして、本
発明のガスレーザ発振器では、長期に亘る累積動作後に
レーザ管の損失が大きくなった場合にも、出力ミラーを
変更することにより簡単に最大出力を有するレーザ発振
器を得ることができるという利点を有する。
また、レーザ発振器を利用するに際して、その出力レベ
ルを任意の時点で変更したい場合においても、透過率の
異なる複数の出力ミラーの中から、適当なものを選択し
て使用することにより容易に実現できる利点を有する。
ルを任意の時点で変更したい場合においても、透過率の
異なる複数の出力ミラーの中から、適当なものを選択し
て使用することにより容易に実現できる利点を有する。
更に、出力ミラー上に装着されている各出力ミラーは、
ホルダの回転により、はぼ完全に同一位置に設定される
ようになっているので、出力ミラーを交換した場合にも
新たにアライメントを行う必要がなく、またガスレーザ
発振器を含めた光学系の再アライメント等を実施する必
要もないので、大巾な労力の節減と操作時間の短縮が可
能となる。
ホルダの回転により、はぼ完全に同一位置に設定される
ようになっているので、出力ミラーを交換した場合にも
新たにアライメントを行う必要がなく、またガスレーザ
発振器を含めた光学系の再アライメント等を実施する必
要もないので、大巾な労力の節減と操作時間の短縮が可
能となる。
第１図は本発明のガスレーザ発振器の好ましい一実施例
を示す概略図であり、 第２図は第１図のラインＡ−Ａに沿ってとった部分拡大
図であり、 第３図は損失をパラメータとした、出力ミラーの透過率
とレーザ光出力との関係をプロットしたグラフである。 （主な参照番号） １・・レーザ管、 ２・・フレーム、３．４・・ミラ
ーホルダ、 ５・・全反射ミラー、６．６１〜６６・
・出力ミラー、 ７・・基盤、８・・棒状部材、 ９
・・ＡＩプレート、１０ａ、１０ｂ・・ジンバルプレー
ト、１１・・金属部品 特許出願人 日本電気株式会社 ’ｌ＝ｚ図
を示す概略図であり、 第２図は第１図のラインＡ−Ａに沿ってとった部分拡大
図であり、 第３図は損失をパラメータとした、出力ミラーの透過率
とレーザ光出力との関係をプロットしたグラフである。 （主な参照番号） １・・レーザ管、 ２・・フレーム、３．４・・ミラ
ーホルダ、 ５・・全反射ミラー、６．６１〜６６・
・出力ミラー、 ７・・基盤、８・・棒状部材、 ９
・・ＡＩプレート、１０ａ、１０ｂ・・ジンバルプレー
ト、１１・・金属部品 特許出願人 日本電気株式会社 ’ｌ＝ｚ図
Claims (1)
- （１）ガスレーザ管と、該ガスレーザ管を保持固定する
ためのフレームと、該フレームの両端に設置された１対
のミラーホルダと、これらミラーホルダに夫々装着され
光共振器を構成する全反射ミラーおよび出力ミラーとを
具備するガスレーザ発振器であって、 上記共振器は、回転し、所定の位置で固定できる出力ミ
ラーホルダ上に装着された複数の透過率の異なる出力ミ
ラーと、他方のミラーホルダに装着された約１００％の
反射率を有する全反射ミラーとで構成されていることを
特徴とする上記ガスレーザ発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15648485A JPS6216587A (ja) | 1985-07-15 | 1985-07-15 | ガスレ−ザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15648485A JPS6216587A (ja) | 1985-07-15 | 1985-07-15 | ガスレ−ザ発振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6216587A true JPS6216587A (ja) | 1987-01-24 |
Family
ID=15628765
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15648485A Pending JPS6216587A (ja) | 1985-07-15 | 1985-07-15 | ガスレ−ザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6216587A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106877128A (zh) * | 2017-04-19 | 2017-06-20 | 江苏师范大学 | 一种易于集成的波长可调谐固体激光器 |
-
1985
- 1985-07-15 JP JP15648485A patent/JPS6216587A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106877128A (zh) * | 2017-04-19 | 2017-06-20 | 江苏师范大学 | 一种易于集成的波长可调谐固体激光器 |
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