JPS62165509U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案が適用される３次元測定装置の
正面図である。第２図は第１図における矢視図
である。第３図は第２図における矢視図である
。第４図は第３図における矢視部分の拡大図で
ある。 １…３次元測定装置、３…ベース、５，７…摺
動案内部、９…メインキヤレツジ、１１，１３…
摺動案内部材、１９…セントラルキヤレツジ、２
５…スピンドル、２９…プローブ、４１〜５１…
エアパツド、５３…エアシリンダ、５５…ピスト
ンロツド、５７…結合ワイヤ、６１…リリーフ付
減圧弁。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) ３次元測定装置のＺ軸方向に摺動可能なス
   ピンドルと同軸的に流体駆動装置を設け、常時ス
   ピンドルなどの重量をバランスするために前記ス
   ピンドルは結合部材を介して前記流体駆動装置に
   結合されると共に、スピンドルの先端部に取付け
   られたツールの重量が変化してもスピンドルをバ
   ランスさせるために前記流体駆動装置への流体圧
   を制御する流体制御装置を流体駆動装置に連結し
   てなることを特徴とする３次元測定装置における
   カウンタバランス装置。 (2) 結合部材がワイヤであることを特徴とする
   実用新案登録請求の範囲第１項に記載の３次元測
   定装置におけるカウンタバランス装置。