JPH0195605U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0195605U JPH0195605U JP19231587U JP19231587U JPH0195605U JP H0195605 U JPH0195605 U JP H0195605U JP 19231587 U JP19231587 U JP 19231587U JP 19231587 U JP19231587 U JP 19231587U JP H0195605 U JPH0195605 U JP H0195605U
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- probe
- measuring
- measuring force
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- Pending
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- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 12
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 7
- 238000013459 approach Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Landscapes
- Measuring Arrangements Characterized By The Use Of Fluids (AREA)
Description
第１図は、本考案の一実施例にかかる非接触測
定ヘツドの構成説明図、第２図は、本考案におい
てウエートと測定間隙の関係を示す説明図、第３
図は、従来のエアベアリング利用型の非接触測定
ヘツドの説明図である。 １０，１１０……測定ヘツド、１２，１１２…
…プローブ、１８，１１８……被測定物、１３０
……支持体、１４０……測定力印加機構、１４４
……ウエート、１４８……滑車（測定力方向変換
器）、１５０……測定機構。
定ヘツドの構成説明図、第２図は、本考案におい
てウエートと測定間隙の関係を示す説明図、第３
図は、従来のエアベアリング利用型の非接触測定
ヘツドの説明図である。 １０，１１０……測定ヘツド、１２，１１２…
…プローブ、１８，１１８……被測定物、１３０
……支持体、１４０……測定力印加機構、１４４
……ウエート、１４８……滑車（測定力方向変換
器）、１５０……測定機構。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 先端より所定圧のエアを吹き出すプローブ
と、 前記プローブを摺動自在に支持する支持体と、 ウエートと測定力方向変換器を有し、ウエート
にかかる重力を測定力方向変換器によりプローブ
が被測定物に近接する方向に変換し、該プローブ
に所定の測定力を印加する測定力印加機構と、 前記プローブの移動量を検出する測定機構と、 を備えたことを特徴とする非接触測定ヘツド。 (2) 実用新案登録請求の範囲(1)記載のヘツドに
おいて、測定力方向変換器は空気軸受けを有する
滑車よりなり、ウエートはワイヤーにより滑車を
介してプローブに測定力を供給することを特徴と
する非接触測定ヘツド。 (3) 実用新案登録請求の範囲(1)または(2)のい
ずれかに記載のヘツドにおいて、プローブは移動
体に設置され、該移動体はエアベアリングにより
支持体に摺動自在に支持されることを特徴とする
非接触測定ヘツド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19231587U JPH0195605U (ja) | 1987-12-18 | 1987-12-18 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19231587U JPH0195605U (ja) | 1987-12-18 | 1987-12-18 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0195605U true JPH0195605U (ja) | 1989-06-23 |
Family
ID=31483180
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19231587U Pending JPH0195605U (ja) | 1987-12-18 | 1987-12-18 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0195605U (ja) |
-
1987
- 1987-12-18 JP JP19231587U patent/JPH0195605U/ja active Pending