JPS6216540A

JPS6216540A - ウエハ搬送装置

Info

Publication number: JPS6216540A
Application number: JP15428185A
Authority: JP
Inventors: Shunzo Imai; 今井　俊三; Teruya Sato; 光弥佐藤
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1985-07-15
Filing date: 1985-07-15
Publication date: 1987-01-24

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］本発明は半導体ウェハを半導体製造における測定装置、
検査装置または露光装置などに載置するため半導体ウェ
ハを搬送する装置に関するものである。

［従来の技術］従来の搬送装置は半導体キャリアからベルト搬送によっ
て半導体ウェハ（以下「ウェハ」という）を取り出し、
位置決めビンにウェハを突き当て載置点のチャック上に
ウェハを落してのせ、それからチャック上でウェハのオ
リエンテーションフラットを合せるプリアライメントを
、そして更にウェハ上の専用マークを光学的手段により
合せる精アライメントを行なっていた。

この方式ではチャックにウェハをのせる際にウェハに衝
撃を与えるため例えば８インチというような大口径ウェ
ハの場合ウェハを破損する危険性があった。

［目的］本発明はウェハ搬送装置においてウェハを保持、搬送そ
して載置する際にウェハに衝撃を与えてこれを破損する
危険性を排除することを目的としている。

［実施例］第１図は本発明のウェハ搬送装置の一実施例の平面図で
あり、第２図は側面図である。第１ａ、　１ｂは本体装
置の堅固な部分に固定されているフレーム材で、３ａ、
　３ｂはこのフレーム材に支持されるガイド棒である。

２ａ、　２ｂ、　２ｃ、　２ｄはガイド棒３ａ、　３ｂ
をフレーム材１ａ、　Ｉｂに固定する止めビスであり、
５はウェハ、６はウェハ取出しハンドである。８はウェ
ハキャリヤ、９はチャックである。ウェハ取出しハンド
６はウェハキャリヤ８とウェハ受渡し位置との間で伸縮
し、そして受渡し位置で回転することができる。ウェハ
取出しハンドの駆動部は、図には示していない。７は静
電容量センサで、ウェハ５のオリエンテーションフラッ
トを検出する。

１４ａ　、　１４ｂ　、　１４ｃ　、　１４ｄ　、　１
４ｅ　、　１４ｆはウェハの裏面をホールドする爪部材
、１０は爪部材の駆動部で、エアシリンダー（図示せず
）を内蔵しており、爪部材をチャック９に対して伸縮さ
せる。

１３ａは爪部材１４ａ　、　１４ｂ　、　１４０を、１
３ｂ　ハ爪部材１４ｄ　、　１４ｅ　、　１４ｆをそれ
ぞれ連結している連結部材である。１１ａ　、　１１ｂ
は爪部材の支持棒、１２ａ。

１２ｂは爪部材のガイド棒である。１５は支持部材で、
この支持部材に駆動部１０を搭載している。支持部材１
５にはパルスモータと偏心カムが内蔵されており、パル
スモータの回転によって爪部材の駆動部１０をチャック
９に対し上下に運動せしめる。すなわち第１図において
支持部材１５に対し駆動部１０は紙面に垂直方向に動い
てウェハを懸架状態で上下できる。

この動作と駆動部のエアシリンダーの動作とを組合わせ
るとチャック９上にウェハを載置したり、取除いたりす
ることができる。爪部材はウェハの円弧に合せて配置さ
れており、相互に近づいてウェハを挾むと自動的にウェ
ハの中心合せを行うことができる。このように部材１０
〜１４はウェハの受取りハンドを構成すると同時にセン
タリング手段ともなっている。

支持部材１５はベアリング部材４ａ、　４ｂを介してガ
イド棒３ａ、　３ｂに係合しており、ウェハの受取りハ
ンドは載置位Ｉ！２１と受取り位Ｉ！（プリアライメン
ト位置）２０との間を往復動する。

このプリアライメント位置２０にウェハ取出しハンド６
が縮退すると第３図に示すように略ウェハ５の中心はウ
ェハ取出しハンド６の中心に位置するようになっている
。ウェハ取出しハンド６はプリアライメント位１ｉ１２
０の中心で回転し任意位置に止まることができる。

爪部材１４ａ〜１４ｅがプリアライメント位置２０から
最大に広がる半径Ｒより内側でウェハ５を載置する取出
しハンド６の面より上に障害となるような構成物があっ
てはならない。１７はチャック９を載せて回転（θ）と
上下（Ｚ）方向の位置決めを行うθ２ステージである。

１８はθＺステージをのせてＸとＹ方向の位置決めを行
うＸＹステージである。

次に実施例の動作を説明する。キャリヤ８からウェハ取
出しハンド６によって受渡し位Ｈ２０にウェハ５を取り
出して、この位置でプリアライメントを行なう。

ウェハ取出しハンド６はウェハ５の略中心を回転中心に
して回転し、オリエンテーションフラットの位置を静電
容量センサ１によって検出する。

静電容量センサ１からの検出信号に応じてウェハ取出し
ハンド６の回転を停止させ、ウェハを所定の方向に配置
する。

ウェハ受取りハンドは載置位置２１から壺渡し、または
プリアライメント位ｌ１２０に既に移動している。そこ
で爪１４ａ〜１４ｆのウェハに対する平面内の伸縮及び
ウェハに対する垂直方向の上下動作によって取出しハン
ド６から受取りハンドの爪１４ａ〜１４ｆにウェハが移
される。その侵ウェハは受渡し位＠２０から載置位置２
１へ移送される。載置位置で爪１４ａ〜１４ｆは再び伸
縮、上下運動を行なってウェハをチャックの突出ビン（
図示せず）に移し、そしてビンが降下することによって
ウェハをチャック９に載せる。チャック９に載置された
ウェハはθ２ステージ１７とＸＹステージ１８によって
精アライメント位置へ搬送される。

この間に２枚目のウェハが１枚目のウェハと同一過程を
辿ってウェハ載置位置２１に運ばれ最上段位置で待機し
ている。

処理の済んだウェハは載置位置２１に戻され取出しハン
ドにより回収され、キャリヤ８に戻される。

次に２枚目のウェハが最上段位置から降下してきてチャ
ック９に載置される。

３枚目以下のウェハについても同一のシーケンスが繰返
される。実施例では取り出しハンドでキャリヤからウェ
ハを取り出しプリアライメントを行なってからウェハを
受取りハンドに渡し、受取りハンドが載置位置にウェハ
を運んでいるが、キャリヤから取り出されたウェハの中
心は取り出しハンドの回転中心と精確に一致していない
こともある。両方中心を精確に一致させるにはキャリヤ
からウェハをいったん取り出してから受は取りハンドで
ウェハを掴み直して受は取りハンドのセンタリング手段
で中心出しを行ない、その後に取り出しハンドに渡して
回転させプリアライメントを行なってもよい。

爪部材の移動をニジリンダ−を用いて行っているがモー
タを用いて行ってもよい。

［Ｒ明の効果］本発明によりウェハの把持、搬送そして載置の際にウェ
ハをｌＩ偏するおそれは全く排除され、またウェハを把
持すると自動的にウェハの中心出しを行なうことができ
、それによりアライメントの実施を容易とすることがで
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明によるウェハ搬送装置の平面図であり、
第２図は側面図である。第３図はアリアライメント位置
における取り出しハンドとウェハとを示す略図である。図中：３ａ、　３ｂ−・・ガイド棒、５・・・ウェハ、６・・
・取り出しハンド、１・・・静電容量センサ、８・・・
キャリア、９・・・チャック、１０・・・エアシリンダ
ー駆動部、１４ａ〜１４ｆ・・・ウェハ支持爪、１１・・・θ２ス
テージ、１８・・・ＸＹステージ、２０・・・受渡しまたはプリアライメント位置、２１・
・・受渡し位置。

Claims

【特許請求の範囲】１、第１の方向に往復動する支持部材；前記の第１の方向と垂直な第２の方向に向き合って近ず
いたり離れたりするよう前記の支持部材に取付けられた
２つの連結板；各連結板に配置された爪；および前記の支持部材を前記の第１の方向に駆動し、前記の連
結板を前記の第２の方向に駆動し、そして前記の連結板
を前記の第２の方向と垂直な第３の方向に駆動する駆動
手段を備えたことを特徴とするウェハ搬送装置。２、前記の爪は前記の連結板に、搬送しようとするウェ
ハの円弧に沿つて配置されている特許請求の範囲第１項
に記載のウェハ搬送装置。