JPS62163934U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62163934U JPS62163934U JP5208486U JP5208486U JPS62163934U JP S62163934 U JPS62163934 U JP S62163934U JP 5208486 U JP5208486 U JP 5208486U JP 5208486 U JP5208486 U JP 5208486U JP S62163934 U JPS62163934 U JP S62163934U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chemical processing
- section
- semiconductor wafer
- processing apparatus
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- Prior art date
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- Pending
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- 238000012993 chemical processing Methods 0.000 claims description 5
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 4
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 4
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- 238000012545 processing Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- ing And Chemical Polishing (AREA)
Description
第１図ａは本考案の一実施例を説明する正面概
略図、第１図ｂは第１図ａのＡ―Ａ線階段断面図
、第２図は遮断シヤツタを説明する一部切欠き斜
視図、第３図ａは従来例を説明する正面概略図、
第３図ｂは第３図ａのＢ―Ｂ線階段断面図である
。 １１…ローデイング部、１２…薬液処理槽、１
３…薬液処理部、１４…乾燥部、１５…アンロー
デイング部、１６…搬送ロボツト、１７…クリー
ンユニツト、１８…排気ダクト、１９…前面透明
引戸、２０…第１の遮断シヤツタ、２１…第２の
遮断シヤツタ、２２…スライド板、２３…縦方向
ガイド、２４…横方向ガイド、２５…駆動部。
略図、第１図ｂは第１図ａのＡ―Ａ線階段断面図
、第２図は遮断シヤツタを説明する一部切欠き斜
視図、第３図ａは従来例を説明する正面概略図、
第３図ｂは第３図ａのＢ―Ｂ線階段断面図である
。 １１…ローデイング部、１２…薬液処理槽、１
３…薬液処理部、１４…乾燥部、１５…アンロー
デイング部、１６…搬送ロボツト、１７…クリー
ンユニツト、１８…排気ダクト、１９…前面透明
引戸、２０…第１の遮断シヤツタ、２１…第２の
遮断シヤツタ、２２…スライド板、２３…縦方向
ガイド、２４…横方向ガイド、２５…駆動部。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 順に配設されたローデイング部、薬液処理部、
乾燥部及びアンローデイング部間において、処理
シーケンスに基く搬送ロボツトの駆動により半導
体ウエハの薬液処理を自動的に行うようにした半
導体ウエハの自動薬液処理装置において、 上記薬液処理部と、ローデイング部及び乾燥部
との両境界部に上記処理シーケンスに合わせて開
閉駆動する第１及び第２の遮断シヤツタを夫々配
設した事を特徴とする半導体ウエハの自動薬液処
理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5208486U JPS62163934U (ja) | 1986-04-09 | 1986-04-09 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5208486U JPS62163934U (ja) | 1986-04-09 | 1986-04-09 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62163934U true JPS62163934U (ja) | 1987-10-17 |
Family
ID=30876936
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5208486U Pending JPS62163934U (ja) | 1986-04-09 | 1986-04-09 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62163934U (ja) |
-
1986
- 1986-04-09 JP JP5208486U patent/JPS62163934U/ja active Pending
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