JPS62161593U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62161593U JPS62161593U JP5031886U JP5031886U JPS62161593U JP S62161593 U JPS62161593 U JP S62161593U JP 5031886 U JP5031886 U JP 5031886U JP 5031886 U JP5031886 U JP 5031886U JP S62161593 U JPS62161593 U JP S62161593U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inverter
- conversion section
- power supply
- edc
- output
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Landscapes
- Generation Of Surge Voltage And Current (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す電気的構成図
、第２図はコイルからみたプラズマインピーダン
ス特性を示す図、第３図はプラズマ発生の原理図
である。 １，１４…容器、２…高圧源、３…電源、１１
…３相交流源、１２…整流素子、１３…スイツチ
ング素子、Ｌ，Ｌ３…コイル、Ｌ１…リアクトル
、Ｌ２…高周波コイル。
、第２図はコイルからみたプラズマインピーダン
ス特性を示す図、第３図はプラズマ発生の原理図
である。 １，１４…容器、２…高圧源、３…電源、１１
…３相交流源、１２…整流素子、１３…スイツチ
ング素子、Ｌ，Ｌ３…コイル、Ｌ１…リアクトル
、Ｌ２…高周波コイル。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 順変換部と逆変換部よりなるインバータの出力
により高周波磁界発生用コイルを駆動するプラズ
マ発生用電源において、インバータ内に設けられ
たリアクトル乃至はコイルのインダクタンス値Ｌ
を Ｌ≧ＥＤＣ×Ｔｉ／ＩＬ 但し ＥＤＣ；順変換部の直流電圧出力値 ＩＬ；インバータの定格出力電流 Ｔｉ；出力制御定数 となるように定めたことを特徴とするプラズマ発
生用電源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5031886U JPS62161593U (ja) | 1986-04-03 | 1986-04-03 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5031886U JPS62161593U (ja) | 1986-04-03 | 1986-04-03 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62161593U true JPS62161593U (ja) | 1987-10-14 |
Family
ID=30873572
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5031886U Pending JPS62161593U (ja) | 1986-04-03 | 1986-04-03 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62161593U (ja) |
-
1986
- 1986-04-03 JP JP5031886U patent/JPS62161593U/ja active Pending
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