JPS62160645A - 回転陽極ｘ線発生装置 - Google Patents
回転陽極ｘ線発生装置Info
- Publication number
- JPS62160645A JPS62160645A JP93986A JP93986A JPS62160645A JP S62160645 A JPS62160645 A JP S62160645A JP 93986 A JP93986 A JP 93986A JP 93986 A JP93986 A JP 93986A JP S62160645 A JPS62160645 A JP S62160645A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- target
- pair
- rotating anode
- ray generator
- anode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
円板形回転陽極を具えたＸ線発生装置において、一対の
ターゲット片材を連結してなる該回転陽極のターゲット
がＭ字形断面の円環部を具え、該環状部を側方向から挟
む側仮に連結構成したことにより、 該ターゲットと該側板との連結部における機械的強度を
改善し、装置の長寿命化と軽量化を実現させたものであ
る。
ターゲット片材を連結してなる該回転陽極のターゲット
がＭ字形断面の円環部を具え、該環状部を側方向から挟
む側仮に連結構成したことにより、 該ターゲットと該側板との連結部における機械的強度を
改善し、装置の長寿命化と軽量化を実現させたものであ
る。
本発明は、半導体製造プロセスのりソグラフィ工程等で
用いられる回転陽極Ｘ線発生装置に関する。
用いられる回転陽極Ｘ線発生装置に関する。
回転陽極Ｘ線発生装置は、回転する円板状陽極に銅やア
ルミニウム等の金属材料からなるターゲットを設け、こ
のターゲットに電子線を照射してＸ線を発生させる。入
射電子線は後方散乱作用によりＸ線を発生せずに反射し
入力のロスとなる場合がある。このような入力のロスを
なくし電子線を有効に使用してＸ線発生効率を高めるた
めに、ターゲット面をＶ溝形状とし、Ｘ線を発生させず
に反射散乱した電子を再びターゲット面に衝突させるよ
うに構成したＶ溝形状ターゲットを有するＸ線発生装置
が提塞されている。このようなＶ溝形状ターゲットを有
する従来の回転陽極Ｘ線発生装置の構成を第４図に示す
。
ルミニウム等の金属材料からなるターゲットを設け、こ
のターゲットに電子線を照射してＸ線を発生させる。入
射電子線は後方散乱作用によりＸ線を発生せずに反射し
入力のロスとなる場合がある。このような入力のロスを
なくし電子線を有効に使用してＸ線発生効率を高めるた
めに、ターゲット面をＶ溝形状とし、Ｘ線を発生させず
に反射散乱した電子を再びターゲット面に衝突させるよ
うに構成したＶ溝形状ターゲットを有するＸ線発生装置
が提塞されている。このようなＶ溝形状ターゲットを有
する従来の回転陽極Ｘ線発生装置の構成を第４図に示す
。
第４図において、Ａ、Ｂは各別の位相面の断面であり、
円板形状の回転陽極１は回転軸２に固定され回転軸２の
回転により回転可能である。回転陽極１の外周には適当
な金属材料からなるターゲット３が設けられる。
円板形状の回転陽極１は回転軸２に固定され回転軸２の
回転により回転可能である。回転陽極１の外周には適当
な金属材料からなるターゲット３が設けられる。
ターゲット３の電子線照射面は■溝形状に形成される。
このターゲット３は■溝の各傾斜面を個別に構成する一
対のターゲット片材３ａと３ｂを連結し形成されている
。回転陽極ｌの内側円板４および外側円板５は、ターゲ
ット片材３ａと３ｂおよびその支持部材６と共に適当な
位置でボルト等により相互に固定連結される。回転軸２
および回転陽極１の内部には、冷却水路７．８．９が形
成され冷却水が図中の矢印のように循環、即ち冷却水路
７から供給された冷却水はターゲット３の内面に沿って
円板全周に形成された冷却水路８に流入し冷却水路９よ
り流出する。
対のターゲット片材３ａと３ｂを連結し形成されている
。回転陽極ｌの内側円板４および外側円板５は、ターゲ
ット片材３ａと３ｂおよびその支持部材６と共に適当な
位置でボルト等により相互に固定連結される。回転軸２
および回転陽極１の内部には、冷却水路７．８．９が形
成され冷却水が図中の矢印のように循環、即ち冷却水路
７から供給された冷却水はターゲット３の内面に沿って
円板全周に形成された冷却水路８に流入し冷却水路９よ
り流出する。
このように構成した回転陽極１のＶ溝面に電子線を照射
すると、ターゲット３は該電子線のエネルギにより）ｌ
を出射するが、ターゲット３の■溝面に衝突した余分な
エネルギをもつ電子がＸ線を発生させずに散乱されると
、再び反対側の■溝面に衝突してＸ線を発生させること
ができる。
すると、ターゲット３は該電子線のエネルギにより）ｌ
を出射するが、ターゲット３の■溝面に衝突した余分な
エネルギをもつ電子がＸ線を発生させずに散乱されると
、再び反対側の■溝面に衝突してＸ線を発生させること
ができる。
従来装置のターゲットは、その外周端面を内側円板また
は外側円板の側面に突き合わせて当接し、その当接部分
から冷却水が漏れないように連結していた。
は外側円板の側面に突き合わせて当接し、その当接部分
から冷却水が漏れないように連結していた。
しかし、十分な冷却効果を得るための流量を必要とする
冷却水は、その流水圧に加え回転陽極１の高速回転（例
えば１２ＱＯＯｒｐｍ）に伴う遠心力により、数十Ｋｇ
／ｃｍ”の圧力でターゲットおよび内側円板、外側円板
を内側から押し広げようとする。
冷却水は、その流水圧に加え回転陽極１の高速回転（例
えば１２ＱＯＯｒｐｍ）に伴う遠心力により、数十Ｋｇ
／ｃｍ”の圧力でターゲットおよび内側円板、外側円板
を内側から押し広げようとする。
そのため、ターゲットと内側円板、外側円板との前記当
接部および、連結用のボルト等には前記圧力による過大
な応力に耐える機械的強度が必要となる。
接部および、連結用のボルト等には前記圧力による過大
な応力に耐える機械的強度が必要となる。
そこで、前記当接部の封止が溶接手段になるときは、溶
接の微細欠陥をも検出する綿密な検査を必要とすると共
に、繰り返し使用による疲労破壊に対する監視を要する
。他方、前記当接部の封止がＯリング等の弾性部材を介
するときは、前記圧力に十分対向し得る圧力で連結を維
持するため、前記ボルト等の本数を溶接連結のものより
増す必要があって回転陽極が重くなり、装置構成に不利
益をもたらすという問題点があった。
接の微細欠陥をも検出する綿密な検査を必要とすると共
に、繰り返し使用による疲労破壊に対する監視を要する
。他方、前記当接部の封止がＯリング等の弾性部材を介
するときは、前記圧力に十分対向し得る圧力で連結を維
持するため、前記ボルト等の本数を溶接連結のものより
増す必要があって回転陽極が重くなり、装置構成に不利
益をもたらすという問題点があった。
上記問題点の除去を目的とした本発明の回転陽極Ｘ線発
生装置は、ターゲットと該ターゲットを挟む一対の側板
とを連結し、該ターゲットの該側板との間に冷却路を形
成してなる円板形回転陽極を具えたＸ線発生装置におい
て、 該ターゲットが一対のターゲット片材を連結し外方向に
凹のＶ溝を有するＭ字形断面の円環部を具え、 一対の該側板が該円環部のＭ字形断面を側方向から挟み
連結してなることを特徴としたものである。
生装置は、ターゲットと該ターゲットを挟む一対の側板
とを連結し、該ターゲットの該側板との間に冷却路を形
成してなる円板形回転陽極を具えたＸ線発生装置におい
て、 該ターゲットが一対のターゲット片材を連結し外方向に
凹のＶ溝を有するＭ字形断面の円環部を具え、 一対の該側板が該円環部のＭ字形断面を側方向から挟み
連結してなることを特徴としたものである。
上記手段によれば、ターゲ・・ノドの円環部と側板とは
従来のものより広い面積で当接されることになる。しか
も、従来装置では該当接部を直接的に引き裂くように内
圧が付加されるが、前記手段によれば内圧の一部は、当
接部を当接方向に圧縮するように作用する。
従来のものより広い面積で当接されることになる。しか
も、従来装置では該当接部を直接的に引き裂くように内
圧が付加されるが、前記手段によれば内圧の一部は、当
接部を当接方向に圧縮するように作用する。
以ドに、図面を用いて本発明の実施例になる回転陽極Ｘ
線発生装置を説明する。
線発生装置を説明する。
第１図は本発明の一実施例になる回転陽極Ｘ線発生装置
の要部を示す側断面図、第２図は該装置のターゲットが
内圧により弾性変形する様子を説明するための図、第３
図は第１図の外側円板を取り除き一部分を破断した正面
図である。
の要部を示す側断面図、第２図は該装置のターゲットが
内圧により弾性変形する様子を説明するための図、第３
図は第１図の外側円板を取り除き一部分を破断した正面
図である。
第１図において、Ａ、 Ｂは各別の位相面の断面であり
、円板形状の回転陽極１１は回転軸１２に固定され回転
軸１２の回転により回転可能である。回転陽極１１の外
周には適当な金属材料からなるターゲット１３が設けら
れる。
、円板形状の回転陽極１１は回転軸１２に固定され回転
軸１２の回転により回転可能である。回転陽極１１の外
周には適当な金属材料からなるターゲット１３が設けら
れる。
ターゲット１３の外周（円環部）１３ａは一対の電子線
照射面がＶ形に対向するＭ字形断面の環状に形成されて
いる。このターゲット１３は電子線照射面を個別に構成
する一対のターゲット片材１４ａ、 １４ｂを連結し構
成されており、各ターゲット片材１４ａ。
照射面がＶ形に対向するＭ字形断面の環状に形成されて
いる。このターゲット１３は電子線照射面を個別に構成
する一対のターゲット片材１４ａ、 １４ｂを連結し構
成されており、各ターゲット片材１４ａ。
１４ｂは皿状円板形でありその凸面側同士を対向させ連
結している。
結している。
回転晴極１１の内側円板１５および外側円板１６は、タ
ーゲット片材１４ａ、 １４ｂおよび、ターゲット片材
１４ａ、 １４ｂを支持する一対の支持部材１７．１８
と共に適当な位置でボルト等により相互に固定連結され
、円環部１３ａの外側面と円板１５または１６の端面と
の間隙および、円環部１３ａの先端面と円板１５または
１６の段端面との間隙は、ゴムにてなり回転陽極１１と
同軸に嵌挿したＯリング２７．２８により封止されてい
る。
ーゲット片材１４ａ、 １４ｂおよび、ターゲット片材
１４ａ、 １４ｂを支持する一対の支持部材１７．１８
と共に適当な位置でボルト等により相互に固定連結され
、円環部１３ａの外側面と円板１５または１６の端面と
の間隙および、円環部１３ａの先端面と円板１５または
１６の段端面との間隙は、ゴムにてなり回転陽極１１と
同軸に嵌挿したＯリング２７．２８により封止されてい
る。
回転軸１２の内部に形成された冷却水路１９と２０は、
回転陽極１１の内部に形成された冷却水路２１〜２６に
連通し、冷却水が図中の矢印のように循環する。
回転陽極１１の内部に形成された冷却水路２１〜２６に
連通し、冷却水が図中の矢印のように循環する。
即ち、冷却水路１９から供給された冷却水はターゲット
１３に沿う冷却水路２１または２２を通って環状部１３
ａの内側の全周に形成された環状の冷却水路２３ま、た
は２４に流入し、ターゲット１３に沿う冷却水路２５ま
たは２６を通り冷却水路２０より流出する。
１３に沿う冷却水路２１または２２を通って環状部１３
ａの内側の全周に形成された環状の冷却水路２３ま、た
は２４に流入し、ターゲット１３に沿う冷却水路２５ま
たは２６を通り冷却水路２０より流出する。
冷却水路１９．２０および２１，２２，２５．２６は、
第３図に示すように各複数本（図は各４本）ずつ形成し
てあり、回転軸１２の軸心と平行する冷却水Ｂ１９と２
０は、放射状の冷却水路２１．２２，２５．２６に連通
ずる。
第３図に示すように各複数本（図は各４本）ずつ形成し
てあり、回転軸１２の軸心と平行する冷却水Ｂ１９と２
０は、放射状の冷却水路２１．２２，２５．２６に連通
ずる。
そして、冷却水路２１．２２．２５．２６の形成間には
、ターゲット１３等を固定連結し回転陽極１１を完成さ
せる複数個（図は８個）のボルト貫通孔２９が穿設され
ている。
、ターゲット１３等を固定連結し回転陽極１１を完成さ
せる複数個（図は８個）のボルト貫通孔２９が穿設され
ている。
このように構成した回転陽極１１に冷却水を流し高速回
転させると、第２図に示すように、静止時に実線で示す
ターゲラ目３の円環部１３ａは、内圧によって点線で示
す如く、Ｍ字形が側方向に押し広げられるように弾性変
形するが、該変形歪をＯリング２７が吸収する。そして
、ターゲット１３の円環部１３ａのＶ溝面に電子線を照
射すると、ターゲット１３は該電子線のエネルギにより
Ｘ線を出射するが、ターゲット１３の■溝面に衝突した
余分なエネルギをもつ電子がＸ線を発生させずに散乱さ
れると、再び反対側の■溝面に衝突してＸ線を発生させ
ることができる。
転させると、第２図に示すように、静止時に実線で示す
ターゲラ目３の円環部１３ａは、内圧によって点線で示
す如く、Ｍ字形が側方向に押し広げられるように弾性変
形するが、該変形歪をＯリング２７が吸収する。そして
、ターゲット１３の円環部１３ａのＶ溝面に電子線を照
射すると、ターゲット１３は該電子線のエネルギにより
Ｘ線を出射するが、ターゲット１３の■溝面に衝突した
余分なエネルギをもつ電子がＸ線を発生させずに散乱さ
れると、再び反対側の■溝面に衝突してＸ線を発生させ
ることができる。
なお、前記実施例において、円環部１３ａの内側の冷却
水路２３．２４に連通ずる冷却水路２１．２２と２５゜
２６とは同じ長さであり、これは冷却水路２３．２４内
の流入側と流出側とに発生する圧力のバランスを図るた
めの考慮によるものである。
水路２３．２４に連通ずる冷却水路２１．２２と２５゜
２６とは同じ長さであり、これは冷却水路２３．２４内
の流入側と流出側とに発生する圧力のバランスを図るた
めの考慮によるものである。
以上説明したように本発明によれば、ターゲットの外縁
部近傍（Ｍ字形断面の円環部）と該ターゲットの側方の
円板との当接部は、従来のターゲット端面突き当て当接
よりも当接面積が著しく拡大し、かつ、使用時に発生す
る内圧の一部は当接部に対し直角方向（圧縮方向）に作
用するため、当接部の機械強度が著しく向上し長寿命化
を達成した。さらに、弾性部材を介し当接させることで
、使用時に発生する内圧によるターゲットの弾性変形を
該弾性部材が吸収し、ボルト等の連結本数を増すことな
（弾性部材の使用が可能となり、当接部の封止を容易に
した効果がある。
部近傍（Ｍ字形断面の円環部）と該ターゲットの側方の
円板との当接部は、従来のターゲット端面突き当て当接
よりも当接面積が著しく拡大し、かつ、使用時に発生す
る内圧の一部は当接部に対し直角方向（圧縮方向）に作
用するため、当接部の機械強度が著しく向上し長寿命化
を達成した。さらに、弾性部材を介し当接させることで
、使用時に発生する内圧によるターゲットの弾性変形を
該弾性部材が吸収し、ボルト等の連結本数を増すことな
（弾性部材の使用が可能となり、当接部の封止を容易に
した効果がある。
第１図は本発明の一実施例になる回転陽極Ｘ線発生装置
の要部を示す側断面図、 第２図は該装置のターゲットが内圧により弾性変形する
様子を説明するための図、 第５図は第１図の外側円板を取り除き一部分を破断した
正面図、 第４図は従来の回転陽極Ｘ線発生装置の要部を示す側断
面図、 である。 図中において、 １．１１は回転陽極、３．１３はターゲット、３ａ、
３ｂ、 １４ａ、 １４ｂはターゲット片材、４．５，
１５．１６は側板、 ７〜９，１９〜２６は冷却水路、 １３ａは円環部、 ２７．２８はＯリング（弾性シール部材）革４図
の要部を示す側断面図、 第２図は該装置のターゲットが内圧により弾性変形する
様子を説明するための図、 第５図は第１図の外側円板を取り除き一部分を破断した
正面図、 第４図は従来の回転陽極Ｘ線発生装置の要部を示す側断
面図、 である。 図中において、 １．１１は回転陽極、３．１３はターゲット、３ａ、
３ｂ、 １４ａ、 １４ｂはターゲット片材、４．５，
１５．１６は側板、 ７〜９，１９〜２６は冷却水路、 １３ａは円環部、 ２７．２８はＯリング（弾性シール部材）革４図
Claims (2)
- （１）ターゲットと該ターゲットを挟む一対の側板とを
連結し、該ターゲットの該側板との間に冷却路を形成し
てなる円板形回転陽極を具えたＸ線発生装置において、 該ターゲットが一対のターゲット片材を連結し外方向に
凹のＶ溝を有するＭ字形断面の円環部を具え、 一対の該側板が該円環部のＭ字形断面を側方向から挟み
連結してなることを特徴とする回転陽極Ｘ線発生装置。 - （２）一対の前記ターゲット片材が両方ともに皿状円板
形状であって、その凸面同士を対向させて連結し、外周
に前記円環部を形成してなることを特徴とする前記特許
請求の範囲第１項記載の回転陽極Ｘ線発生装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP93986A JPS62160645A (ja) | 1986-01-07 | 1986-01-07 | 回転陽極ｘ線発生装置 |
| US06/895,234 US4719645A (en) | 1985-08-12 | 1986-08-11 | Rotary anode assembly for an X-ray source |
| EP86111140A EP0212548B1 (en) | 1985-08-12 | 1986-08-12 | A rotary anode assembly for an x-ray source |
| DE8686111140T DE3671569D1 (de) | 1985-08-12 | 1986-08-12 | Drehanodenanordnung fuer roentgenstrahlenquelle. |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP93986A JPS62160645A (ja) | 1986-01-07 | 1986-01-07 | 回転陽極ｘ線発生装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62160645A true JPS62160645A (ja) | 1987-07-16 |
| JPH0373098B2 JPH0373098B2 (ja) | 1991-11-20 |
Family
ID=11487641
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP93986A Granted JPS62160645A (ja) | 1985-08-12 | 1986-01-07 | 回転陽極ｘ線発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62160645A (ja) |
-
1986
- 1986-01-07 JP JP93986A patent/JPS62160645A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0373098B2 (ja) | 1991-11-20 |
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