JPS62158399A - Position detection of reference mark of multilayer printed board - Google Patents

Position detection of reference mark of multilayer printed board

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Publication number
JPS62158399A
JPS62158399A JP61000276A JP27686A JPS62158399A JP S62158399 A JPS62158399 A JP S62158399A JP 61000276 A JP61000276 A JP 61000276A JP 27686 A JP27686 A JP 27686A JP S62158399 A JPS62158399 A JP S62158399A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
multilayer printed
mark
eddy current
copper
position sensor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP61000276A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
新田 照久
俊夫 井波
水子 成之
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Japan Steel Works Ltd
Original Assignee
Japan Steel Works Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
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Publication of JPS62158399A publication Critical patent/JPS62158399A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
  • Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 (イ)産業上の利用分野 本発明は、多層プリント基板の基準マーク位置検出方法
に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (A) Field of Industrial Application The present invention relates to a method for detecting the position of a reference mark on a multilayer printed circuit board.

(ロ)従来の技術 多層プリント基板を作成する場合、内層のパターンと外
層のパターンとの位置合わせをすることが必要であり、
通常は内層の基準マークに合わせて外層のパターンを印
刷する。しかし内層の基準マークは銅はく層によって覆
われているため外部から目視によって確認することがで
きない。
(b) Conventional technology When creating a multilayer printed circuit board, it is necessary to align the patterns on the inner layer and the pattern on the outer layer.
Usually, a pattern on the outer layer is printed to match the fiducial marks on the inner layer. However, the reference marks on the inner layer are covered with a copper foil layer and cannot be visually confirmed from the outside.

このため従来は、基準マークを見えるようにするために
、基準マークがあると思われる付近を座ぐり装置によっ
て座ぐり、基準マークを露出させるようにしていた。ま
た、座ぐり装置を用いない別の方法としては、X線を使
用し、画像処理を行うことにより基準マークの中心位置
を求め、穴あけを行う方法がある。
For this reason, conventionally, in order to make the reference mark visible, the area where the reference mark is thought to be located has been counterbored using a counterboring device to expose the reference mark. Another method that does not use a counterboring device is to use X-rays and perform image processing to find the center position of the reference mark and then drill the hole.

(ハ)発明が解決しようとする問題点 しかし、座ぐりを行う方法では、作業工数がかかり、し
かも自動化が困難であるという問題点がある。またX線
を用いる方法には、X線の取り扱について法的規制があ
って簡便ではなく、しかもx1/9透過検査装置は非常
に高価であり、また作業性もよくない。本発明は、この
ような問題点を解決することを目的としている。
(c) Problems to be Solved by the Invention However, the method of spot boring requires a lot of man-hours and is difficult to automate. Furthermore, methods using X-rays are not convenient because of legal regulations regarding the handling of X-rays, and x1/9 transmission inspection equipment is very expensive and does not have good workability. The present invention aims to solve these problems.

(ニ)問題点を解決するための手段 本発明は、渦電流式位置センサーを用いて銅はく層下の
基準マークを検出することにより1.上記問題点を解決
する。すなわち、本発明による多層プリント基板の基準
マーク位置検出方法は、多層プリント基板の表面の銅は
く層から所定距S離れた位置を渦電流式位置センサーを
移動させ、その出力電圧又は電流の変化から基準マーク
位置を検出することを要旨としているヶ (ホ)作用 多層プリント基板に平行にこれの上方を渦電流式位置セ
ンサーを移動させると、銅はく層に覆われていても基準
マーク上を通過したとき電流が変化する。従って、渦電
流式位置センサーをX方向及びY方向にそれぞれ1往復
させることにより、X方向及びY方向の中心位置を検出
することができる。これにより基準マークの中心位置が
検出されるので、この中心位置にドリルを移動させて基
準穴を加工することができる。
(d) Means for Solving the Problems The present invention detects reference marks under the copper foil layer using an eddy current position sensor. Solve the above problems. That is, the method for detecting the position of a reference mark on a multilayer printed circuit board according to the present invention moves an eddy current position sensor a predetermined distance S from the copper foil layer on the surface of the multilayer printed circuit board, and detects a change in the output voltage or current of the eddy current position sensor. The purpose is to detect the position of the reference mark from the top of the multilayer printed circuit board.If the eddy current position sensor is moved parallel to and above the multilayer printed circuit board, it will detect the position of the reference mark even if it is covered with a copper foil layer. The current changes when it passes through. Therefore, by reciprocating the eddy current type position sensor once in each of the X and Y directions, the center positions in the X and Y directions can be detected. Since the center position of the reference mark is thereby detected, the drill can be moved to this center position to drill the reference hole.

(へ)実施例 以下、本発明の実施例を添付図面の第1〜9図に基づい
て説明する。
(F) Embodiments Hereinafter, embodiments of the present invention will be described based on FIGS. 1 to 9 of the accompanying drawings.

第1及び2図に本発明方法を実施するための多層プリン
ト基板の基準穴加工装置を示す。渦電流式位置センサー
10及びドリル12が設けられたドリルヘッド14は、
サーボモータ16によってX方向に移動可能なテーブル
18に取り付けられており、更にこのテーブル18はサ
ーボモータ20によってX方向と直交するY方向に移動
可能なテーブル22上に設けられている。サーボモータ
16及びサーボモータ20の作動は制御器24によって
制御され、またサーボモータ16及びサーボモータ20
の回転位置、すなわちドリルヘッド14のX方向及びY
方向の座標、に対応する信号は、これらに設けられた例
えばパルス検出器によって検出され、制御器24に入力
されている。渦電流式位置センサー10の検出信号も制
御器24に入力される。
FIGS. 1 and 2 show a reference hole machining apparatus for a multilayer printed circuit board for carrying out the method of the present invention. A drill head 14 provided with an eddy current position sensor 10 and a drill 12 includes:
It is attached to a table 18 movable in the X direction by a servo motor 16, and this table 18 is further provided on a table 22 movable in the Y direction perpendicular to the X direction by a servo motor 20. The operation of servo motor 16 and servo motor 20 is controlled by controller 24, and the operation of servo motor 16 and servo motor 20 is controlled by controller 24.
, i.e., the X direction and Y direction of the drill head 14
A signal corresponding to the directional coordinates is detected by, for example, a pulse detector provided therein, and is input to the controller 24. A detection signal from the eddy current position sensor 10 is also input to the controller 24 .

次にこの装置を用いて行う本発明方法について説明する
。まず、渦電流式位置センサー10を第3図に示すよう
に多層プリント基板30の銅マーり32(基準マーク)
の概略上方に位置させる(第3図のA点)。多層プリン
ト基板3oは例えば第6図に拡大して示すように4層構
造になっており、上下の最外層は厚さ20μ程度の銅は
く層30aであり、上から2層目に円形の銅マーク32
がある。各層の間はプリプレイブ30bによって仕切ら
れている。従って、上から2層目にある銅マーク32は
外部からは見えないが、概略の位置はあらかじめ知るこ
とができ、またA点は必ずしも銅マーク32上に位置し
なくてもよい。
Next, the method of the present invention using this apparatus will be explained. First, as shown in FIG.
(Point A in Figure 3). For example, the multilayer printed circuit board 3o has a four-layer structure as shown in the enlarged view in FIG. copper mark 32
There is. Each layer is partitioned off by a prepave 30b. Therefore, although the copper mark 32 on the second layer from the top is not visible from the outside, its approximate position can be known in advance, and point A does not necessarily have to be located on the copper mark 32.

ただし、A点が銅マーク32から離れるほど検出に要す
る時間が長くなる。次いでサーボモータ16を作動させ
、渦電流式位置センサー10を7g3図に破線によって
示すようにX方向に往復動させる。B点を通って第3図
中で右方向へ移動するとき、渦電流式位置センサー10
によって検出される出力電流は第4図に示すように変化
する。
However, the farther the point A is from the copper mark 32, the longer the time required for detection becomes. Next, the servo motor 16 is activated to reciprocate the eddy current position sensor 10 in the X direction as shown by the broken line in Figure 7g3. When moving to the right in FIG. 3 through point B, the eddy current position sensor 10
The output current detected by changes as shown in FIG.

電流が所定値まで立上る点(すなわち、これがB点に対
応している)におけるサーボモータ16からのパルス信
号が示す座標値すが制御器24に記憶される。また、点
Cを通フて第3図中で左方向に移動するときの渦電流式
位置センサー10の出力電流も第5図に示すように変化
′し、点Cにおける座標値Cが記憶される。制御器24
では、x=(b+c)/2の演算が行われ、このXが銅
マーク32の中心位置のX方向の座標値を示すことにな
る。次いで、サーボモータ20を作動させ、渦電流式位
置センサー10をY方向に往復動させ、上記と全く同様
の動作により銅マーク32のY方向の中心位置が算出さ
れる。これにより、銅マーク32の中心位置が検出され
たことになる。次いで、サーボモータ16及びサーボモ
ータ20を作動させ、ドリル12をこの中心位置まで移
動させる。すなわち、検出された銅マーク32の中心位
置に渦電流式位置センサー10が一致した状態から渦電
流式位置センサー10とドリル12との距R12分だけ
サーボモータ16を作動させてドリルヘッド14を移動
させた状態となる。これにより、ドリル12が銅マーク
32の中心位置に一致する。次いで、ドリル12を下降
させ、基準穴の加工が行われる。こわにより、銅マーク
32の中心に正確に基準穴が加工される。
The coordinate value indicated by the pulse signal from the servo motor 16 at the point where the current rises to a predetermined value (that is, this corresponds to point B) is stored in the controller 24. Further, the output current of the eddy current position sensor 10 when moving to the left in FIG. 3 after passing through point C also changes as shown in FIG. 5, and the coordinate value C at point C is memorized. Ru. Controller 24
Then, the calculation x=(b+c)/2 is performed, and this X indicates the coordinate value of the center position of the copper mark 32 in the X direction. Next, the servo motor 20 is operated to reciprocate the eddy current position sensor 10 in the Y direction, and the center position of the copper mark 32 in the Y direction is calculated by the same operation as above. This means that the center position of the copper mark 32 has been detected. Next, the servo motor 16 and the servo motor 20 are operated to move the drill 12 to this center position. That is, from the state where the eddy current position sensor 10 matches the center position of the detected copper mark 32, the servo motor 16 is operated to move the drill head 14 by the distance R12 between the eddy current position sensor 10 and the drill 12. The state will be as follows. Thereby, the drill 12 is aligned with the center position of the copper mark 32. Next, the drill 12 is lowered and the reference hole is machined. Due to the stiffness, a reference hole is accurately formed in the center of the copper mark 32.

渦電流式位置センサー10は銅マークなどの存在によっ
て変化する渦電流を検出する形式のものであるが、銅マ
ーク32が銅は〈層30aによって覆われている場合で
あっても銅マーク32の存在によって電流が変化するこ
とを見出すことにより、本発明方法が可能となった。こ
れを示す実験結果を第7図に示す。この第7図は、銅マ
ーク32がない場合の出力電圧と、銅マーク32がある
場合の出力電圧のピーク値とが、表面の銅はく層30a
と銅マーク32との間のプリブレイブ30bの厚さに応
じて変化する状態を示したものである。銅マーク32の
存在によってこれだけ出力電圧の相違があるため、銅は
く層30aの上からでも銅マーク32の中心位置を求め
ることができる。また、この第7図から、ブリブレイブ
30bの厚さは900μm程度であっても銅マーク32
の位置の検出が可能であることが分かる。
The eddy current type position sensor 10 is of a type that detects eddy current that changes depending on the presence of a copper mark, etc. However, even if the copper mark 32 is covered with a layer 30a, The method of the present invention was made possible by discovering that the current changes depending on the presence of the substance. Experimental results showing this are shown in FIG. FIG. 7 shows that the peak value of the output voltage when there is no copper mark 32 and the peak value of the output voltage when there is a copper foil layer 30a on the surface
This figure shows a state that changes depending on the thickness of the prebrave 30b between the copper mark 32 and the copper mark 32. Since the presence of the copper mark 32 causes such a difference in output voltage, the center position of the copper mark 32 can be determined even from above the copper foil layer 30a. Moreover, from this FIG. 7, even if the thickness of the BRIB RAVE 30b is about 900 μm, the copper mark 32
It can be seen that the position of can be detected.

なお、第7図に示す実験では、渦電流式位置センサー1
0の径は5.4mm、銅はく層30aの厚さ18μm、
銅マーク32の厚さ35μm、銅マーク32の径5mm
、また渦電流式位置センサー10と銅は〈層30aとの
間の距離は390μmである。
In the experiment shown in FIG. 7, the eddy current position sensor 1
The diameter of 0 is 5.4 mm, the thickness of the copper foil layer 30a is 18 μm,
The thickness of the copper mark 32 is 35 μm, and the diameter of the copper mark 32 is 5 mm.
, and the distance between the eddy current type position sensor 10 and the copper layer 30a is 390 μm.

なお、銅はく層30aの厚さが100μmを越えると、
第8図に示すように出力電圧の変化が小さくなり、検出
が困難となる。なお、第8図は銅はく層30aの厚さを
変化させた場合の出力電圧のピーク値の変化を示す図で
ある。また、渦電流式位置センサー10と銅はく層30
aとの間の距離についても、0〜1700μmの範囲に
あれば十分な出力電圧の変化を得ることができるが、こ
れ以外の範囲では検出が困難になる。距離を変えた場合
の出力電圧の変化を第9図に示しておく。
Note that if the thickness of the copper foil layer 30a exceeds 100 μm,
As shown in FIG. 8, the change in output voltage becomes small, making detection difficult. Note that FIG. 8 is a diagram showing changes in the peak value of the output voltage when the thickness of the copper foil layer 30a is changed. Also, an eddy current position sensor 10 and a copper foil layer 30
With respect to the distance from a, a sufficient change in output voltage can be obtained if it is in the range of 0 to 1700 μm, but detection becomes difficult in a range other than this. FIG. 9 shows the change in output voltage when the distance is changed.

(ト)発明の詳細 な説明してきたように、本発明によると、渦電流式位置
センサーを用いて多層プリント基板内層の基準マークの
中心位置を検出するようにしたので、目視確認すること
ができない銅マークの中心位置を常に正確にしかも簡単
な作業で効率よく検出することが可能となる。
(G) As described in detail, according to the present invention, the center position of the reference mark on the inner layer of the multilayer printed circuit board is detected using an eddy current position sensor, so that visual confirmation is not possible. The center position of the copper mark can always be detected accurately and efficiently with simple work.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は基準穴加工装置を示す平面図、第2図は第1図
の矢印11方向に見た図、第3図は銅マーク及び渦電流
式位置センサーの軌跡を示す図、第4図及び第5図は共
に渦電流式位置センサーの出力電流の変化を示す図、第
6図は多層プリント基板の拡大断面図、第7図は銅マー
クの存在による出力電圧の変化を示す図、第8図は銅は
く層の厚さによる出力電圧の変化を示す図、第9図は渦
電流式位置センサーの距離による出力電圧の変化を示す
図である。 10・・・渦電流式位置センサー、12・・・ドリル、
30・・・多層プリント基板、30a・・・銅はく層、
30b・・・ブリブレイブ、32・・・銅マーク(基準
マーク)。
Figure 1 is a plan view showing the reference hole processing device, Figure 2 is a view seen in the direction of arrow 11 in Figure 1, Figure 3 is a diagram showing the trajectory of the copper mark and the eddy current position sensor, and Figure 4. 5 and 5 are diagrams showing changes in the output current of an eddy current type position sensor, FIG. 6 is an enlarged cross-sectional view of a multilayer printed circuit board, FIG. 7 is a diagram showing changes in output voltage due to the presence of copper marks, and FIG. FIG. 8 is a diagram showing the change in output voltage depending on the thickness of the copper foil layer, and FIG. 9 is a diagram showing the change in the output voltage depending on the distance of the eddy current type position sensor. 10... Eddy current position sensor, 12... Drill,
30...Multilayer printed circuit board, 30a...Copper foil layer,
30b...Blibrave, 32...Copper mark (reference mark).

Claims (1)

【特許請求の範囲】  鋼の基準マークが設けられた層の上に別の銅はく層が
設けられている多層プリント基板の上記基準マークの位
置を検出する多層プリント基板の基準マーク位置検出方
法において、 多層プリント基板の表面の銅はく層から所定距離離れた
位置を渦電流式位置センサーを移動させ、その出力電圧
又は電流の変化から基準マーク位置を検出することを特
徴とする多層プリント基板の基準マーク位置検出方法。
[Claims] A method for detecting the position of a fiducial mark on a multilayer printed circuit board, which detects the position of the fiducial mark on a multilayer printed circuit board in which another copper foil layer is provided on the layer on which the steel fiducial mark is provided. A multilayer printed circuit board, characterized in that an eddy current position sensor is moved a predetermined distance from a copper foil layer on the surface of the multilayer printed circuit board, and a reference mark position is detected from a change in the output voltage or current of the eddy current position sensor. A method for detecting the position of the fiducial mark.
JP61000276A 1986-01-07 1986-01-07 Position detection of reference mark of multilayer printed board Pending JPS62158399A (en)

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