JPS62156667A - 感光体 - Google Patents
感光体Info
- Publication number
- JPS62156667A JPS62156667A JP29731285A JP29731285A JPS62156667A JP S62156667 A JPS62156667 A JP S62156667A JP 29731285 A JP29731285 A JP 29731285A JP 29731285 A JP29731285 A JP 29731285A JP S62156667 A JPS62156667 A JP S62156667A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- amorphous
- image
- drum
- bnc
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03G—ELECTROGRAPHY; ELECTROPHOTOGRAPHY; MAGNETOGRAPHY
- G03G5/00—Recording members for original recording by exposure, e.g. to light, to heat, to electrons; Manufacture thereof; Selection of materials therefor
- G03G5/02—Charge-receiving layers
- G03G5/04—Photoconductive layers; Charge-generation layers or charge-transporting layers; Additives therefor; Binders therefor
- G03G5/08—Photoconductive layers; Charge-generation layers or charge-transporting layers; Additives therefor; Binders therefor characterised by the photoconductive material being inorganic
- G03G5/082—Photoconductive layers; Charge-generation layers or charge-transporting layers; Additives therefor; Binders therefor characterised by the photoconductive material being inorganic and not being incorporated in a bonding material, e.g. vacuum deposited
- G03G5/08292—Germanium-based
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03G—ELECTROGRAPHY; ELECTROPHOTOGRAPHY; MAGNETOGRAPHY
- G03G5/00—Recording members for original recording by exposure, e.g. to light, to heat, to electrons; Manufacture thereof; Selection of materials therefor
- G03G5/02—Charge-receiving layers
- G03G5/04—Photoconductive layers; Charge-generation layers or charge-transporting layers; Additives therefor; Binders therefor
- G03G5/08—Photoconductive layers; Charge-generation layers or charge-transporting layers; Additives therefor; Binders therefor characterised by the photoconductive material being inorganic
- G03G5/082—Photoconductive layers; Charge-generation layers or charge-transporting layers; Additives therefor; Binders therefor characterised by the photoconductive material being inorganic and not being incorporated in a bonding material, e.g. vacuum deposited
- G03G5/08285—Carbon-based
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Photoreceptors In Electrophotography (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
く技術分野〉
この発明は、複写機の電子写真法等で用いられる感光体
に関する。
に関する。
〈発明の概要〉
この発明の感光体は、要約すれば、アモルファスシリコ
ンからなる光導電層のさらに表層にアモルファス(BN
C)Xからなるオーバーコート層を形成することにより
、画像形成面に吸湿性を有する5iOXが生成するのを
妨げ、画像流れの発生を防止しようとするものである。
ンからなる光導電層のさらに表層にアモルファス(BN
C)Xからなるオーバーコート層を形成することにより
、画像形成面に吸湿性を有する5iOXが生成するのを
妨げ、画像流れの発生を防止しようとするものである。
〈従来技術とその欠点〉
複写機等のように電子写真法を用いる装置や原稿読取装
置では、画像を形成するための光導電層として種々の光
導電材料を用いている。このような光導電材料として従
来から使用されているものに、Se、CdS、ZnO等
の無機光導電材料やPVK−TNFに代表される有機光
導電材料がある。ところが、これらの従来からの光導電
材料は光感度1分光感度、SN比(明抵抗/暗抵抗)あ
るいは耐久性や人体への安全性等の感光体として要求さ
れる性質が必ずしも全てに亘って充分満足されるもので
はな(、ある程度の妥協のもとに個々のケースにおいて
選択して使用されているのが現状であった。
置では、画像を形成するための光導電層として種々の光
導電材料を用いている。このような光導電材料として従
来から使用されているものに、Se、CdS、ZnO等
の無機光導電材料やPVK−TNFに代表される有機光
導電材料がある。ところが、これらの従来からの光導電
材料は光感度1分光感度、SN比(明抵抗/暗抵抗)あ
るいは耐久性や人体への安全性等の感光体として要求さ
れる性質が必ずしも全てに亘って充分満足されるもので
はな(、ある程度の妥協のもとに個々のケースにおいて
選択して使用されているのが現状であった。
一方、アモルファスシリコン(a−3i)は、高い光感
度、高耐久性および無公害等の優れた特徴を有し、優秀
な高導電材料として実用化が期待を用いていたので、帯
電や除電を行うチャージャで発生するオゾンとこのオー
バーコート層のシリコンとが反応し、画像形成面にSi
n、が生成していた。このSin、は、吸水性に冨むた
めに湿度の高い環境で使用した場合には、この水分によ
って帯電電荷が拡散し、画像流れの発生原因となる。こ
のため、従来は、このような画像流れによる画像品質の
低下がアモルファスシリコンを用いた感光体の実用化の
障害となっていた。
度、高耐久性および無公害等の優れた特徴を有し、優秀
な高導電材料として実用化が期待を用いていたので、帯
電や除電を行うチャージャで発生するオゾンとこのオー
バーコート層のシリコンとが反応し、画像形成面にSi
n、が生成していた。このSin、は、吸水性に冨むた
めに湿度の高い環境で使用した場合には、この水分によ
って帯電電荷が拡散し、画像流れの発生原因となる。こ
のため、従来は、このような画像流れによる画像品質の
低下がアモルファスシリコンを用いた感光体の実用化の
障害となっていた。
〈発明の目的〉
この発明は、このような事情に鑑みなされたものであっ
て、アモルファスシリコンからなる光i電層のさらに表
層にアモルファス(BNC)+−XXXからなるオーバ
ーコート層を形成することにより、画像形成面における
5iOXの生成を妨げ、画像流れの発生を防止すること
ができる感光体を提供することを目的とする。
て、アモルファスシリコンからなる光i電層のさらに表
層にアモルファス(BNC)+−XXXからなるオーバ
ーコート層を形成することにより、画像形成面における
5iOXの生成を妨げ、画像流れの発生を防止すること
ができる感光体を提供することを目的とする。
〈発明の構成および効果〉
この発明の感光体は、アモルファスシリコンからなる光
導電層を有する感光体において、光導電層のさらに表層
に、 アモルファス(BNC)+−x xx (ただし、Xは、0以上0.5未満の値。
導電層を有する感光体において、光導電層のさらに表層
に、 アモルファス(BNC)+−x xx (ただし、Xは、0以上0.5未満の値。
Xは、H,F、Cl等の第3成分。)
からなるオーバーコート層を形成したことを特徴とする
。
。
この発明を上記のように構成すると、感光体の画像形成
面に帯電や除電を行うためのチャージャで発生するオゾ
ンと光導電層のシリコンとがアモルファス(BNC)I
−x XXからなるオーバーコート層により隔離される
。このため、画像形成面に5inXが生成されることが
なくなり、画像流れを防止することができる。したがっ
て、この発明は、感光体の画像品質の向上を図り、光導
電材料としてアモルファスシリコンの実用化を促進する
ことができる。
面に帯電や除電を行うためのチャージャで発生するオゾ
ンと光導電層のシリコンとがアモルファス(BNC)I
−x XXからなるオーバーコート層により隔離される
。このため、画像形成面に5inXが生成されることが
なくなり、画像流れを防止することができる。したがっ
て、この発明は、感光体の画像品質の向上を図り、光導
電材料としてアモルファスシリコンの実用化を促進する
ことができる。
〈実施例〉
第1図はこの発明の実施例である感光体の製造方法を説
明するためのアモルファスシリコン膜形成装置の概略図
である。
明するためのアモルファスシリコン膜形成装置の概略図
である。
以下、この発明を複写機における感光体ドラムに実施し
た場合について説明する。また、この感光体ドラムにお
けるアモルファス層はグロー放電法によって形成する。
た場合について説明する。また、この感光体ドラムにお
けるアモルファス層はグロー放電法によって形成する。
光導電層を形成する基体としては、アルミニウムの筒状
のドラム1を使用する。このドラム1は、充分に表面を
洗浄した後反応室2内の支持体3に装着する。この支持
体3は、外部の駆動装置4と連結することによりドラム
1を回転させることができる。ドラムlのセットが終了
すると、排気バルブ5を開き、真空ポンプ6によって反
応室2内の排気を行う。そして、補助バルブ7を開いて
マスフローコントローラ8により所定の混合比に調整さ
れた反応ガスを反応室2内に導入する。このとき、排気
バルブ5を調節して所定の圧力に維持される。このよう
にして反応室2内の雰囲気が設定されると、放電電極9
,9間に高周波電源10から13.56 MHzの高周
波電力を印加する。すると、この放電電極9.9間にグ
ロー放電が起こり、ドラム1の表面にアモルファス層が
形成されるこの実施例は、上記アモルファス層形成装置
を用いてドラム1の表面に第2図に示すような3層のア
モルファス層を形成する。第1層は、ドラム1表面に下
地層として形成するブロッキング層11であり、アモル
ファスシリコンからなる。第2層は、キャリア生成と輸
送のための光導電層12であり、アモルファスシリコン
からなる。第3層は、光導電[12を保護するためのオ
ーバーコート層13であり、アモルファスBNCHから
なる。これら各層のアモルファスシリコンおよびアモル
ファスBNCHは、反応ガスの組成および混合比によっ
て調整することができる。
のドラム1を使用する。このドラム1は、充分に表面を
洗浄した後反応室2内の支持体3に装着する。この支持
体3は、外部の駆動装置4と連結することによりドラム
1を回転させることができる。ドラムlのセットが終了
すると、排気バルブ5を開き、真空ポンプ6によって反
応室2内の排気を行う。そして、補助バルブ7を開いて
マスフローコントローラ8により所定の混合比に調整さ
れた反応ガスを反応室2内に導入する。このとき、排気
バルブ5を調節して所定の圧力に維持される。このよう
にして反応室2内の雰囲気が設定されると、放電電極9
,9間に高周波電源10から13.56 MHzの高周
波電力を印加する。すると、この放電電極9.9間にグ
ロー放電が起こり、ドラム1の表面にアモルファス層が
形成されるこの実施例は、上記アモルファス層形成装置
を用いてドラム1の表面に第2図に示すような3層のア
モルファス層を形成する。第1層は、ドラム1表面に下
地層として形成するブロッキング層11であり、アモル
ファスシリコンからなる。第2層は、キャリア生成と輸
送のための光導電層12であり、アモルファスシリコン
からなる。第3層は、光導電[12を保護するためのオ
ーバーコート層13であり、アモルファスBNCHから
なる。これら各層のアモルファスシリコンおよびアモル
ファスBNCHは、反応ガスの組成および混合比によっ
て調整することができる。
この実施例の感光体ドラムと従来の感光体ドラムとの比
較を行う。実施例の感光体ドラムと従来の感光体ドラム
におけるアモルファス層の形成条件を第3図および第4
図に示す。第1層および第2層の形成条件は実施例およ
び従来例のいずれの場合も同様であり、アモルファスシ
リコン層が形成される。実施例における第3層は第3図
に示すように、BZH6ガス、C2H&ガスおよびN2
ガスを反応室2内に導入し、グロー放電を行うことによ
り、アモルファスBNCH層を形成する。
較を行う。実施例の感光体ドラムと従来の感光体ドラム
におけるアモルファス層の形成条件を第3図および第4
図に示す。第1層および第2層の形成条件は実施例およ
び従来例のいずれの場合も同様であり、アモルファスシ
リコン層が形成される。実施例における第3層は第3図
に示すように、BZH6ガス、C2H&ガスおよびN2
ガスを反応室2内に導入し、グロー放電を行うことによ
り、アモルファスBNCH層を形成する。
従来例における第3層は、第4図に示すようにSiH4
ガスおよびCH4ガスが反応室2内に導入されグロー放
電を行うことによりアモルファス5iCH層を形成する
。
ガスおよびCH4ガスが反応室2内に導入されグロー放
電を行うことによりアモルファス5iCH層を形成する
。
これらの条件で形成した感光体ドラムを使用して、湿度
環境を変化させながら複写を行った場合の画像流れの評
価結果を第5図に示す。複写条件は、これらの感光体ド
ラムを複写機に実装し、1万枚のエージングの後、ドラ
ム周速を254.4cm/秒、コロナ電流を90pA、
バイアスを164■として設定した。また、このときの
初期表面電位は500Vであり、ドラム温度は31℃で
あった。この評価の結果、実施例の感光体ドラムの場合
には60%〜90%のいずれの湿度条件においても画像
流れが生ずることなく高品質の画像を得ることができた
。また、従来例の感光体ドラムでは、湿度が60%のと
きには異常はないが、70%まで上昇すると画像流れが
少し発生し、80%を越えると画像流れが顕著に認めら
れた。したがって、この実施例の感光体ドラムは画像流
れを防止し、画像品質の向上を図ることができる。
環境を変化させながら複写を行った場合の画像流れの評
価結果を第5図に示す。複写条件は、これらの感光体ド
ラムを複写機に実装し、1万枚のエージングの後、ドラ
ム周速を254.4cm/秒、コロナ電流を90pA、
バイアスを164■として設定した。また、このときの
初期表面電位は500Vであり、ドラム温度は31℃で
あった。この評価の結果、実施例の感光体ドラムの場合
には60%〜90%のいずれの湿度条件においても画像
流れが生ずることなく高品質の画像を得ることができた
。また、従来例の感光体ドラムでは、湿度が60%のと
きには異常はないが、70%まで上昇すると画像流れが
少し発生し、80%を越えると画像流れが顕著に認めら
れた。したがって、この実施例の感光体ドラムは画像流
れを防止し、画像品質の向上を図ることができる。
なお、実施例では、オーハーフ−1一層13とじてアモ
ルファスB N CHを用いたが、必ずしもこれに限る
ものではなく、Hに代えてF、C!等の第3成分を用い
ることもでき、または、BNCのみであってもよい。
ルファスB N CHを用いたが、必ずしもこれに限る
ものではなく、Hに代えてF、C!等の第3成分を用い
ることもでき、または、BNCのみであってもよい。
第1図はこの発明の実施例である感光体ドラムの製造方
法を説明するためのアモルファス層形成装置の概略図、
第2図は同装置によって形成されたアモルファス層の部
分断面図、第3図は実施例の感光体ドラムにおけるアモ
ルファス層の形成条件を示す図、第4図は従来例の感光
体ドラムにおけるアモルファス層の形成条件を示す図、
第5図は実施例と従来例との画像流れの評価結果を示す
図である。 12−光導電層、13−オーバーコート層。
法を説明するためのアモルファス層形成装置の概略図、
第2図は同装置によって形成されたアモルファス層の部
分断面図、第3図は実施例の感光体ドラムにおけるアモ
ルファス層の形成条件を示す図、第4図は従来例の感光
体ドラムにおけるアモルファス層の形成条件を示す図、
第5図は実施例と従来例との画像流れの評価結果を示す
図である。 12−光導電層、13−オーバーコート層。
Claims (1)
- (1)アモルファスシリコンからなる光導電層を有する
感光体において、 光導電層のさらに表層に、 アモルファス(BNC)_1_−_xX_x(ただし、
xは、0以上0.5未満の値。 Xは、H、F、Cl等の第3成分。) からなるオーバーコート層を形成したことを特徴とする
感光体。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29731285A JPS62156667A (ja) | 1985-12-27 | 1985-12-27 | 感光体 |
US07/268,653 US4910111A (en) | 1985-12-27 | 1988-11-08 | Electrophotographic photoreceptor comprising amorphous silicon layer coated with amorphous inorganic material |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29731285A JPS62156667A (ja) | 1985-12-27 | 1985-12-27 | 感光体 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62156667A true JPS62156667A (ja) | 1987-07-11 |
Family
ID=17844880
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP29731285A Pending JPS62156667A (ja) | 1985-12-27 | 1985-12-27 | 感光体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62156667A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01161250A (ja) * | 1987-12-18 | 1989-06-23 | Fujitsu Ltd | 電子写真感光体 |
JP2008261369A (ja) * | 2007-04-10 | 2008-10-30 | Toyota Motor Corp | オイルシール |
US8191900B2 (en) | 2006-02-21 | 2012-06-05 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Oil seal |
-
1985
- 1985-12-27 JP JP29731285A patent/JPS62156667A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01161250A (ja) * | 1987-12-18 | 1989-06-23 | Fujitsu Ltd | 電子写真感光体 |
US8191900B2 (en) | 2006-02-21 | 2012-06-05 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Oil seal |
JP2008261369A (ja) * | 2007-04-10 | 2008-10-30 | Toyota Motor Corp | オイルシール |
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