JPS62154659U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62154659U JPS62154659U JP4348186U JP4348186U JPS62154659U JP S62154659 U JPS62154659 U JP S62154659U JP 4348186 U JP4348186 U JP 4348186U JP 4348186 U JP4348186 U JP 4348186U JP S62154659 U JPS62154659 U JP S62154659U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- power supply
- pair
- current flows
- terminals
- pressure transducer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す構成図、第２
図は本考案の他の実施例を示す構成図、第３図は
従来の半導体圧力変換器の構成を示す構成図、第
４図は第３図におけるピエゾ抵抗素子を拡大して
示した拡大図、第５図は第３図に示すピエゾ抵抗
素子の問題点を説明する説明図である。 １０……ダイヤフラム、１２……起歪部、１４
，１９……エピゾ抵抗素子、１５，１６，２０Ａ
，２０Ｂ，２１Ａ，２２Ｂ……電源端、１７，１
８……出力端、２２……増幅器、２３……比較器
。
図は本考案の他の実施例を示す構成図、第３図は
従来の半導体圧力変換器の構成を示す構成図、第
４図は第３図におけるピエゾ抵抗素子を拡大して
示した拡大図、第５図は第３図に示すピエゾ抵抗
素子の問題点を説明する説明図である。 １０……ダイヤフラム、１２……起歪部、１４
，１９……エピゾ抵抗素子、１５，１６，２０Ａ
，２０Ｂ，２１Ａ，２２Ｂ……電源端、１７，１
８……出力端、２２……増幅器、２３……比較器
。
Claims (1)
- 測定圧を受圧する半導体単結晶からなるダイヤ
フラムを有し、電源電流を流す電源端とこの電源
電流の流れる方向にほぼ直角に配置された１対の
出力端とをもつ剪断形のピエゾ抵抗素子が前記ダ
イヤフラム上に形成された半導体圧力変換器にお
いて、前記電源端は前記各出力端をはさんで前記
電源電流の流れる方向に第１および第２の対とし
て配置され、前記第１および第２の対の電源端に
は各対ごとに一定の電圧あるいは電流をもつ電源
が接続され、前記第１と第２の対の電源端の間に
は帰還手段を介して制御電圧を印加することを特
徴とする半導体圧力変換器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4348186U JPS62154659U (ja) | 1986-03-25 | 1986-03-25 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4348186U JPS62154659U (ja) | 1986-03-25 | 1986-03-25 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62154659U true JPS62154659U (ja) | 1987-10-01 |
Family
ID=30860377
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4348186U Pending JPS62154659U (ja) | 1986-03-25 | 1986-03-25 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62154659U (ja) |
-
1986
- 1986-03-25 JP JP4348186U patent/JPS62154659U/ja active Pending