JPS62152440U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62152440U JPS62152440U JP3977886U JP3977886U JPS62152440U JP S62152440 U JPS62152440 U JP S62152440U JP 3977886 U JP3977886 U JP 3977886U JP 3977886 U JP3977886 U JP 3977886U JP S62152440 U JPS62152440 U JP S62152440U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- quartz container
- ultrasonic vibrator
- pure water
- semiconductor substrate
- oxide film
- Prior art date
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- Pending
Links
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Description
第１図は本考案の一実施例を示す酸化炉用ガス
供給装置のブロツク図。第２図は従来の酸化炉用
ガス供給装置のブロツク図である。 １…シリコン基板、２…ヒーターブロツク、３
…石英チユーブ、４，５，６…ソレノイドバルブ
、７，８，９…マスフローコントローラー、１０
，１１，１２，１６…ガス管、１３，１４，１５
…レギユレーター、１７…石英容器、１８…純水
、１９…超音波振動子、２０，２２…電源、２１
…ヒーター。
供給装置のブロツク図。第２図は従来の酸化炉用
ガス供給装置のブロツク図である。 １…シリコン基板、２…ヒーターブロツク、３
…石英チユーブ、４，５，６…ソレノイドバルブ
、７，８，９…マスフローコントローラー、１０
，１１，１２，１６…ガス管、１３，１４，１５
…レギユレーター、１７…石英容器、１８…純水
、１９…超音波振動子、２０，２２…電源、２１
…ヒーター。
Claims (1)
- 半導体基板表面に酸化膜を形成するための純水
を有する石英容器と前記石英容器底部に水蒸気を
発生させるための超音波振動子を有することを特
徴とするバブリング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3977886U JPS62152440U (ja) | 1986-03-20 | 1986-03-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3977886U JPS62152440U (ja) | 1986-03-20 | 1986-03-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62152440U true JPS62152440U (ja) | 1987-09-28 |
Family
ID=30853267
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3977886U Pending JPS62152440U (ja) | 1986-03-20 | 1986-03-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62152440U (ja) |
-
1986
- 1986-03-20 JP JP3977886U patent/JPS62152440U/ja active Pending