JPH01125358U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01125358U JPH01125358U JP1892288U JP1892288U JPH01125358U JP H01125358 U JPH01125358 U JP H01125358U JP 1892288 U JP1892288 U JP 1892288U JP 1892288 U JP1892288 U JP 1892288U JP H01125358 U JPH01125358 U JP H01125358U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cooling
- holder
- substrate holder
- temperature
- detects
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- Pending
Links
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 7
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 5
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 2
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 claims 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は本考案の基板ホルダ冷却装置の一実施
例を一部断面で示す構成図、第２図は他の実施例
を示す要部構成図、第３図は従来例の一部断面で
示す構成図である。 １……基板ホルダ、２……加熱室、３……ヒー
タ、４……冷却室、５……導入管、６……排出管
、１０……制御装置、７，１１……温度センサ、
Ｖ１〜Ｖ８……弁。
例を一部断面で示す構成図、第２図は他の実施例
を示す要部構成図、第３図は従来例の一部断面で
示す構成図である。 １……基板ホルダ、２……加熱室、３……ヒー
タ、４……冷却室、５……導入管、６……排出管
、１０……制御装置、７，１１……温度センサ、
Ｖ１〜Ｖ８……弁。
Claims (1)
- 薄膜形成装置に用いられ、加熱手段と冷却手段
を有する基板ホルダの冷却装置において、前記冷
却手段は前記ホルダの表面の温度を検出する温度
センサと、この温度センサの出力に基づいて、前
記冷却手段の冷却室に供給する空気、冷却水、お
よび空気と冷却水の混合物を選択する制御装置に
より構成したことを特徴とする基板ホルダの冷却
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1892288U JPH01125358U (ja) | 1988-02-16 | 1988-02-16 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1892288U JPH01125358U (ja) | 1988-02-16 | 1988-02-16 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01125358U true JPH01125358U (ja) | 1989-08-25 |
Family
ID=31233988
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1892288U Pending JPH01125358U (ja) | 1988-02-16 | 1988-02-16 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01125358U (ja) |
-
1988
- 1988-02-16 JP JP1892288U patent/JPH01125358U/ja active Pending