JPS62152137A - 半導体チツプの位置決め装置 - Google Patents
半導体チツプの位置決め装置Info
- Publication number
- JPS62152137A JPS62152137A JP29228385A JP29228385A JPS62152137A JP S62152137 A JPS62152137 A JP S62152137A JP 29228385 A JP29228385 A JP 29228385A JP 29228385 A JP29228385 A JP 29228385A JP S62152137 A JPS62152137 A JP S62152137A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- positioning
- semiconductor chip
- stage
- positioning device
- movable
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Die Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、半導体の製造装置等に使用する半導体チッ
プの位置決め装置に関する。
プの位置決め装置に関する。
従来の半導体チップの位置決め装置を第６図（Ａ）。
ＣＢ）に示す。なお、第６図（Ａ）は位置決め前の状態
を示す平面図、第６図（Ｂ）は位置決め後の状態を示す
平面図である。両図において、（Ｉ）は半導体チップ、
ＣＢはＸ−Ｘ軸方向における可動位置決め爪、囚はＹ−
Ｙ軸方向における可動位置決め爪、６υ、３カ、關は固
定位置決めガイド、（４）はステージである。
を示す平面図、第６図（Ｂ）は位置決め後の状態を示す
平面図である。両図において、（Ｉ）は半導体チップ、
ＣＢはＸ−Ｘ軸方向における可動位置決め爪、囚はＹ−
Ｙ軸方向における可動位置決め爪、６υ、３カ、關は固
定位置決めガイド、（４）はステージである。
次にその動作について説明する。まず、ステージ（４）
上の位置決めポイント付近に半導体チップ（１）を挿着
した後、可動位置決め爪ＣＤおよび（２２１をそれぞれ
Ｘ−Ｘ軸方向およびＹ−Ｙ軸方向に移動して、ステージ
（４）上のＬ形固定位置決めガイド６υ、Ｃ力、時に押
さえつけて位置決めするものである。
上の位置決めポイント付近に半導体チップ（１）を挿着
した後、可動位置決め爪ＣＤおよび（２２１をそれぞれ
Ｘ−Ｘ軸方向およびＹ−Ｙ軸方向に移動して、ステージ
（４）上のＬ形固定位置決めガイド６υ、Ｃ力、時に押
さえつけて位置決めするものである。
従来の半導体チップの位置決め装置は、以上のように構
成されており、そしてステージ（４）および該ステージ
（４）上のＬ形固定位置決めガイド６υ、６カ、時の位
置が固定されているため、正規のポジションに位置決め
できる半導体チップｆｌ）のサイズは限定されるという
問題があった。
成されており、そしてステージ（４）および該ステージ
（４）上のＬ形固定位置決めガイド６υ、６カ、時の位
置が固定されているため、正規のポジションに位置決め
できる半導体チップｆｌ）のサイズは限定されるという
問題があった。
この発明は、上記のような問題点を解消するためになさ
れたもので、半導体チップのサイズが変更されても位置
決めできる半導体チップの位置決め装置を得ることを目
的としている。
れたもので、半導体チップのサイズが変更されても位置
決めできる半導体チップの位置決め装置を得ることを目
的としている。
この発明に係る半導体チップの位置決め装置は、固定位
置決めガイドを備えたステージまたは固定位置決めガイ
ド自身を可動できるようにしたものである。
置決めガイドを備えたステージまたは固定位置決めガイ
ド自身を可動できるようにしたものである。
この発明における半導体チップの位置決め装置は、固定
位置決めガイドを備えたステージまたは固定位置決めガ
イドを可動することにより、半導体チップのサイズが変
更されても位置決めすることができる。
位置決めガイドを備えたステージまたは固定位置決めガ
イドを可動することにより、半導体チップのサイズが変
更されても位置決めすることができる。
第１図（Ａ）、中）は本発明の一実施例による位置決め
装置を示す平面図であり、その構成としては第６図に示
した従来装置のそれと同じものであるが、ステー’；
（４υにＸ−Ｘ軸方向およびＹ−Ｙ軸方向に移動する動
作を加えた。
装置を示す平面図であり、その構成としては第６図に示
した従来装置のそれと同じものであるが、ステー’；
（４υにＸ−Ｘ軸方向およびＹ−Ｙ軸方向に移動する動
作を加えた。
上記のように構成されたこの発ψｊによる半導体チップ
の位置決め装置において、ステージ（４υをＸ−Ｘ軸方
向およびＹ−Ｙ軸方向に可動させることにより、位置決
めしようとする半導体チップ（１）のサイズが変更され
ても、ステージ（４υ上の位置決めポイント付近に半導
体チップ（１）が挿着され、そして可動位置決め爪シυ
、（２ｚにより正規のポジションに半導体チップ（１）
を位置決めするものである。
の位置決め装置において、ステージ（４υをＸ−Ｘ軸方
向およびＹ−Ｙ軸方向に可動させることにより、位置決
めしようとする半導体チップ（１）のサイズが変更され
ても、ステージ（４υ上の位置決めポイント付近に半導
体チップ（１）が挿着され、そして可動位置決め爪シυ
、（２ｚにより正規のポジションに半導体チップ（１）
を位置決めするものである。
なお、上記実施例では、ステージ（４１）を可動できる
ような構造にしたが、ステージ（細土に備えられた固定
位置決めガイド（３υ、国、Ｑを第２図（Ａ）、出）に
示すように一体化してこれを可動できるような構造にし
ても良い。
ような構造にしたが、ステージ（細土に備えられた固定
位置決めガイド（３υ、国、Ｑを第２図（Ａ）、出）に
示すように一体化してこれを可動できるような構造にし
ても良い。
以上のように、この発明によれば、ステージまたはステ
ージ上の固定位置決めガイドを可動できるようにしたこ
とにより、複数個の半導体チップを同時に位置決めする
とともに、半導体チップのサイズが変更されても同種の
位置決めができ、これによって多品種の半導体チップの
位置決めができるという汎用性のある半導体チップの位
置決め装置が実現できる。
ージ上の固定位置決めガイドを可動できるようにしたこ
とにより、複数個の半導体チップを同時に位置決めする
とともに、半導体チップのサイズが変更されても同種の
位置決めができ、これによって多品種の半導体チップの
位置決めができるという汎用性のある半導体チップの位
置決め装置が実現できる。
第１図（Ａ） 、 （Ｂ）はこの発明の一実施例による
半導体チップの位置決め装置を示す平面図、第２図体）
。 （Ｂ）はこの発明の他の実施例を示す位置決め装置の平
面図、第３図（Ａ） 、■）は従来の半導体チップの位
置決め装置を示す平面図であり、それぞれＣＡ１図は位
］ａ決めｔＩＪ、（Ｂ）図は位置決め後の図である。 図中、（１）は半導体チップ、しυはＸ−Ｘ軸方向の可
動位置決め爪、４はＹ−Ｙ軸方向の位置決め爪、ａＩＪ
、 （３ａ ｅ（至）は固定位置決めガイド、（４＋
、 （４υはステージである。 なお、各図中同一符号は同一または相当部分を示す。 代理人 弁理士 佐 藤 正 年 第２図
半導体チップの位置決め装置を示す平面図、第２図体）
。 （Ｂ）はこの発明の他の実施例を示す位置決め装置の平
面図、第３図（Ａ） 、■）は従来の半導体チップの位
置決め装置を示す平面図であり、それぞれＣＡ１図は位
］ａ決めｔＩＪ、（Ｂ）図は位置決め後の図である。 図中、（１）は半導体チップ、しυはＸ−Ｘ軸方向の可
動位置決め爪、４はＹ−Ｙ軸方向の位置決め爪、ａＩＪ
、 （３ａ ｅ（至）は固定位置決めガイド、（４＋
、 （４υはステージである。 なお、各図中同一符号は同一または相当部分を示す。 代理人 弁理士 佐 藤 正 年 第２図
Claims (3)
- （１）半導体チップをステージ上で位置決めする装置に
おいて、位置決め部を設けた固定ガイドを複数個備えた
ステージと、上記固定ガイドに上記半導体チップを当接
するように他方より押圧する上記固定ガイドの位置決め
部に対応した複数個の押しつけ爪を設けて複数個の半導
体チップを同時に位置決めすることができるとともに、
サイズの異なる半導体チップの位置決めに対応できるこ
とを特徴とする半導体チップの位置決め装置。 - （２）固定ガイドを備えたステージをＸＹ平面上に可変
できることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の半
導体チップの位置決め装置。 - （３）ステージ上に備え求けられた固定ガイドをＸＹ平
面上で可変できることを特徴とする特許請求の範囲第１
項記載の半導体チップの位置決め装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29228385A JPS62152137A (ja) | 1985-12-26 | 1985-12-26 | 半導体チツプの位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29228385A JPS62152137A (ja) | 1985-12-26 | 1985-12-26 | 半導体チツプの位置決め装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62152137A true JPS62152137A (ja) | 1987-07-07 |
Family
ID=17779745
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29228385A Pending JPS62152137A (ja) | 1985-12-26 | 1985-12-26 | 半導体チツプの位置決め装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62152137A (ja) |
-
1985
- 1985-12-26 JP JP29228385A patent/JPS62152137A/ja active Pending
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