JPS62148331A - 石英ガラス成形容器の前処理方法 - Google Patents
石英ガラス成形容器の前処理方法Info
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- JPS62148331A JPS62148331A JP28570785A JP28570785A JPS62148331A JP S62148331 A JPS62148331 A JP S62148331A JP 28570785 A JP28570785 A JP 28570785A JP 28570785 A JP28570785 A JP 28570785A JP S62148331 A JPS62148331 A JP S62148331A
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- Japan
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B40/00—Preventing adhesion between glass and glass or between glass and the means used to shape it, hold it or support it
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B11/00—Pressing molten glass or performed glass reheated to equivalent low viscosity without blowing
- C03B11/06—Construction of plunger or mould
- C03B11/08—Construction of plunger or mould for making solid articles, e.g. lenses
- C03B11/084—Construction of plunger or mould for making solid articles, e.g. lenses material composition or material properties of press dies therefor
- C03B11/086—Construction of plunger or mould for making solid articles, e.g. lenses material composition or material properties of press dies therefor of coated dies
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2215/00—Press-moulding glass
- C03B2215/02—Press-mould materials
- C03B2215/08—Coated press-mould dies
- C03B2215/10—Die base materials
- C03B2215/12—Ceramics or cermets, e.g. cemented WC, Al2O3 or TiC
-
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- C03B2215/02—Press-mould materials
- C03B2215/08—Coated press-mould dies
- C03B2215/14—Die top coat materials, e.g. materials for the glass-contacting layers
- C03B2215/22—Non-oxide ceramics
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
- Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野１
本発明は、石英ガラス成形容器の前処理方法に関するも
のである。
のである。
［従来の技術］
天然もしくは、人工合成石英ガラスを所望の内面形状を
有するグラファイト製成形容器を使用して高温下で加圧
成形する石英ガラス成形方法は公知である０例えば、特
開昭５７−Ｅｔ７０３１号には、グラファイト製成形容
器を使用して、石英ガラスを１７００℃以上で、加熱加
圧する成形方法が示されている。また特開昭５７−９２
５２８号にも同様にグラファイト製成形容器を使用して
、１８５０℃以北で、加熱加圧して石英ガラスを成形す
る方法が示されている。成形容器の材質としては、高温
度下で加圧するため、高温度で強度低下のないことおよ
び石英ガラスとの反応融着等の少ないことなどの制約条
件から、高純度のグラファイトが最も適している。
有するグラファイト製成形容器を使用して高温下で加圧
成形する石英ガラス成形方法は公知である０例えば、特
開昭５７−Ｅｔ７０３１号には、グラファイト製成形容
器を使用して、石英ガラスを１７００℃以上で、加熱加
圧する成形方法が示されている。また特開昭５７−９２
５２８号にも同様にグラファイト製成形容器を使用して
、１８５０℃以北で、加熱加圧して石英ガラスを成形す
る方法が示されている。成形容器の材質としては、高温
度下で加圧するため、高温度で強度低下のないことおよ
び石英ガラスとの反応融着等の少ないことなどの制約条
件から、高純度のグラファイトが最も適している。
［発明の解決しようとする問題点］
前述のように石英ガラスの高純度下での加圧成形には、
グラファイト製成形容器が使用されているが、実際の使
用に於ては１石英ガラスとグラファイトの反応による成
形容器の消耗、あるいは石英ガラスと成形容器が反応融
着して、それらの熱膨張係数が異なる為、冷却昨に石英
ガラスにクラックが発生して、成形歩留りが著しく低下
してしまうというような問題があった。これらの問題を
解決するために、例えば、特開昭５７−９２５２８号で
は成形容器内面、即ち石英ガラスとの接触面に、グラフ
ァイト質Ｍ＆維布を内張すしている。しかしこの方法で
は、高価なグラファイト質繊維布の再利用が困難であり
、また繊維布が多孔性であるため、寸法精度良く加圧成
形することが困難である。また特開昭５７−６７０３１
号では、厚さ１０〜１０００μ厘のαもしくはβ炭化珪
素を内面被覆したグラファイト製成形容器１あるいは、
１０〜１０００μ履の厚さのすす状炭素を設けたグラフ
ァイト製成形容器を使用している。このうち、すす状炭
素の場合には、Ｐ、Ｄ、ミラーらの報告（Ｊ、Ａｍ、Ｃ
ｅｒａｍ、Ｓｏｃ、 、Ｂ２［３，４］ １４７−１４
９（１９７９））にあるように炭素と石英カラスの反応
速度が炭化珪素と石英ガラスとの反応速度に比べて大き
く、シかもすす状炭素であるため表面積が大きくすす状
炭素の消耗が激しくなり、成形作業毎にすす状炭素層を
新しく設けなければならず、工程が煩雑となる。
グラファイト製成形容器が使用されているが、実際の使
用に於ては１石英ガラスとグラファイトの反応による成
形容器の消耗、あるいは石英ガラスと成形容器が反応融
着して、それらの熱膨張係数が異なる為、冷却昨に石英
ガラスにクラックが発生して、成形歩留りが著しく低下
してしまうというような問題があった。これらの問題を
解決するために、例えば、特開昭５７−９２５２８号で
は成形容器内面、即ち石英ガラスとの接触面に、グラフ
ァイト質Ｍ＆維布を内張すしている。しかしこの方法で
は、高価なグラファイト質繊維布の再利用が困難であり
、また繊維布が多孔性であるため、寸法精度良く加圧成
形することが困難である。また特開昭５７−６７０３１
号では、厚さ１０〜１０００μ厘のαもしくはβ炭化珪
素を内面被覆したグラファイト製成形容器１あるいは、
１０〜１０００μ履の厚さのすす状炭素を設けたグラフ
ァイト製成形容器を使用している。このうち、すす状炭
素の場合には、Ｐ、Ｄ、ミラーらの報告（Ｊ、Ａｍ、Ｃ
ｅｒａｍ、Ｓｏｃ、 、Ｂ２［３，４］ １４７−１４
９（１９７９））にあるように炭素と石英カラスの反応
速度が炭化珪素と石英ガラスとの反応速度に比べて大き
く、シかもすす状炭素であるため表面積が大きくすす状
炭素の消耗が激しくなり、成形作業毎にすす状炭素層を
新しく設けなければならず、工程が煩雑となる。
また、グラファイト製成形容器表面の１０〜１０００μ
ｍの厚みを有する炭化珪素層は、同一のグラファイト製
成形容器を使用して、石英ガラスの加熱加圧成形を緑り
返すことによっても形成されるが、そのためには数回の
成形操作を経ることを必要とし、その間に前述のような
問題が生じて、石英ガラスの成形品歩留りが著しく低下
するという問題が生じる。
ｍの厚みを有する炭化珪素層は、同一のグラファイト製
成形容器を使用して、石英ガラスの加熱加圧成形を緑り
返すことによっても形成されるが、そのためには数回の
成形操作を経ることを必要とし、その間に前述のような
問題が生じて、石英ガラスの成形品歩留りが著しく低下
するという問題が生じる。
［問題点を解決するだめの手段］
本発明は、前述の問題点を解決すべくなされたものであ
り、石英ガラスを高温下で加圧成形する際に使用するグ
ラファイト製成形容器表面に強固な炭化珪素層を形成す
るために、炭化珪素層を形成させるような珪素含有化合
物をグラファイト製成形容器表面に塗布して１７００〜
１８００℃の温度で熱処理を行なう１石英ガラス成形容
器の前処理方法を提供するものである。
り、石英ガラスを高温下で加圧成形する際に使用するグ
ラファイト製成形容器表面に強固な炭化珪素層を形成す
るために、炭化珪素層を形成させるような珪素含有化合
物をグラファイト製成形容器表面に塗布して１７００〜
１８００℃の温度で熱処理を行なう１石英ガラス成形容
器の前処理方法を提供するものである。
前述のようにグラファイト製成形容器表面に炭化珪素（
以下ＳｉＣと書くことがある）層の形成された成形容器
を使用することにより、石英ガラスとの反応による成形
容器の消耗や、石英ガラスとグラファイト製成形容器の
反応融着に起因するクランクの発生、特に未使用のグラ
ファイト製成形容器を新たに使用する際に発生するＬ述
のよな問題がなくなり、成形性並びに成形品の歩留りが
著しく向上した。
以下ＳｉＣと書くことがある）層の形成された成形容器
を使用することにより、石英ガラスとの反応による成形
容器の消耗や、石英ガラスとグラファイト製成形容器の
反応融着に起因するクランクの発生、特に未使用のグラ
ファイト製成形容器を新たに使用する際に発生するＬ述
のよな問題がなくなり、成形性並びに成形品の歩留りが
著しく向上した。
本発明の好ましい態様によれば、有機シリコン、例えば
、テトラエトキシシラン５ｉ（ＯＥｔ４）のように加水
分解してシリカゾルを形成するような珪素化合物にイオ
ン交換水を反応当賃加えて、シリカツルスラリーを形成
させる。このシリカツルスラリーに、高純度のβ炭化珪
素微粉末をモル比がＳｉ（ＯＨ）４／ ＳｉＣ＝ １
．０〜０．１０の範囲で加え、シリカゾル−炭化珪素ス
ラリーとする。添加すべき炭化珪素はα炭化珪素でもも
ちろん良く、その添加量は、５ｉ（ＯＨ）ａ ／ＳｉＣ
比が０．５４を超えると過剰なＳｉ（ＯＨ）４が熱処理
時に球状のＳ ｉｏ２となって均一なＳｉＣ層を形成さ
せることが困難となる。
、テトラエトキシシラン５ｉ（ＯＥｔ４）のように加水
分解してシリカゾルを形成するような珪素化合物にイオ
ン交換水を反応当賃加えて、シリカツルスラリーを形成
させる。このシリカツルスラリーに、高純度のβ炭化珪
素微粉末をモル比がＳｉ（ＯＨ）４／ ＳｉＣ＝ １
．０〜０．１０の範囲で加え、シリカゾル−炭化珪素ス
ラリーとする。添加すべき炭化珪素はα炭化珪素でもも
ちろん良く、その添加量は、５ｉ（ＯＨ）ａ ／ＳｉＣ
比が０．５４を超えると過剰なＳｉ（ＯＨ）４が熱処理
時に球状のＳ ｉｏ２となって均一なＳｉＣ層を形成さ
せることが困難となる。
また５ｉ（ＤＨ）ａ／ＳｉＣ比が０．１０以下になると
成いう欠点を有する。従ってスラリーの組成は、５ｉ（
ＯＨ）ａ ／ＳｉＣモル比が０．３〜０．２となること
が望ましい。こうして得られたシリカンルー炭化珪素ス
ラリーをグラファイト製成形容器に均一に塗布して熱処
理を行なう。シリカゾル−炭化珪素スラリーの塗布量は
、少ないと効果がなく、また余り多いと成形作業途中に
炭化珪素の剥離が生じるので、前記グラファイト製成形
容器表面の１ｃｍ２当り、ＳｒＣが０．０５ｇ程度にな
るようにするのが適当である。
成いう欠点を有する。従ってスラリーの組成は、５ｉ（
ＯＨ）ａ ／ＳｉＣモル比が０．３〜０．２となること
が望ましい。こうして得られたシリカンルー炭化珪素ス
ラリーをグラファイト製成形容器に均一に塗布して熱処
理を行なう。シリカゾル−炭化珪素スラリーの塗布量は
、少ないと効果がなく、また余り多いと成形作業途中に
炭化珪素の剥離が生じるので、前記グラファイト製成形
容器表面の１ｃｍ２当り、ＳｒＣが０．０５ｇ程度にな
るようにするのが適当である。
こうして得られたシリカジル−炭化珪素スラリー塗布済
みのグラファイト製成形容器を熱処理用加熱炉内で熱処
理を行なう。熱処理は、１０００℃までを１０刊ｔａｒ
ｒ以下の減圧雰囲気で昇温し、グラファイト製成形容器
に吸着される酸素および水分を充分に除去した後、７Ｂ
Ｏｔｏｒｒ以上のＡ「雰囲気とし、１７００℃以上の温
度にまで昇温する。熱処理温度は、１７００〜１８００
℃の範囲の温度で充分である。
みのグラファイト製成形容器を熱処理用加熱炉内で熱処
理を行なう。熱処理は、１０００℃までを１０刊ｔａｒ
ｒ以下の減圧雰囲気で昇温し、グラファイト製成形容器
に吸着される酸素および水分を充分に除去した後、７Ｂ
Ｏｔｏｒｒ以上のＡ「雰囲気とし、１７００℃以上の温
度にまで昇温する。熱処理温度は、１７００〜１８００
℃の範囲の温度で充分である。
Ｌ１７１．−？−Ｖ、−＋Ｌ；ノ＋ｌ１ロＩＩＩよ）４
’ニー／１４４１４；Ｍｌ、−％＋１１１１−石英ガラ
スとの接触面だけでも良いが、グラファイト製成形容器
の全表面にわたって行なうことももちろん良い、特にグ
ラファイト製成形容器の肉厚が７〜５■程度あるいはそ
れ以下の薄いグラファイト板を使用する場合には、石英
ガラスと接触する面だけでは、グラファイトのＳｉＣ化
にともない、成形容器の変形が顕著になるため、全表面
に上記の前処理を施すことが好ましい。
’ニー／１４４１４；Ｍｌ、−％＋１１１１−石英ガラ
スとの接触面だけでも良いが、グラファイト製成形容器
の全表面にわたって行なうことももちろん良い、特にグ
ラファイト製成形容器の肉厚が７〜５■程度あるいはそ
れ以下の薄いグラファイト板を使用する場合には、石英
ガラスと接触する面だけでは、グラファイトのＳｉＣ化
にともない、成形容器の変形が顕著になるため、全表面
に上記の前処理を施すことが好ましい。
上述のように前処理によって表面に炭化珪素層の形成さ
れたグラファイト製成形容器を実際に使用するにあたっ
ては、炭化珪素が０．０１ｇ／ｃｍ２以上、好ましくは
０．０１３ｇ／ｃｍ２程度になるように、炭化珪素スラ
リーをグラファイト製成形容器表面の炭化珪素層上に新
たに塗布することが望ましい、塗布すべきこの炭化珪素
の量が０．０５ｇ／ｃｍ２ を超えると、成形作業途中
に炭化珪素の剥離、落下が生じ、！形性が著しく低下す
る。
れたグラファイト製成形容器を実際に使用するにあたっ
ては、炭化珪素が０．０１ｇ／ｃｍ２以上、好ましくは
０．０１３ｇ／ｃｍ２程度になるように、炭化珪素スラ
リーをグラファイト製成形容器表面の炭化珪素層上に新
たに塗布することが望ましい、塗布すべきこの炭化珪素
の量が０．０５ｇ／ｃｍ２ を超えると、成形作業途中
に炭化珪素の剥離、落下が生じ、！形性が著しく低下す
る。
こうして表面に炭化珪素層を有するグラファイト製成形
容器に炭化珪素スラリーを塗布した成形容器中に石英カ
ラスを設置し、前記成形容器ごとに全体を成形炉内に仕
込み、前述のタラファイト製成形容器の１ｉ０処理と同
様の昇温条件で１７００℃以玉に昇温しで、加圧成形を
行なう。
容器に炭化珪素スラリーを塗布した成形容器中に石英カ
ラスを設置し、前記成形容器ごとに全体を成形炉内に仕
込み、前述のタラファイト製成形容器の１ｉ０処理と同
様の昇温条件で１７００℃以玉に昇温しで、加圧成形を
行なう。
加圧方法は、グラファイト製の重しあるいは錘でも良く
、また油圧プレス機による加圧でも良い、加圧圧力とし
ては、 ｌＯｇ／ｃ厘２から１２００ｇ／ｃ履２の範囲
で、目的に応じた圧力を選択することが可能である。
、また油圧プレス機による加圧でも良い、加圧圧力とし
ては、 ｌＯｇ／ｃ厘２から１２００ｇ／ｃ履２の範囲
で、目的に応じた圧力を選択することが可能である。
［作用］
石英ガラスと炭化珪素との反応速度は、石英ガラスとグ
ラファイトの反応速度に比べて、１ｉ３程度の速さであ
ることが知られている。
ラファイトの反応速度に比べて、１ｉ３程度の速さであ
ることが知られている。
従って、石英ガラスと炭化珪素間の反応融着は、石英ガ
ラスとグラファイトに比べて、抑えられるものと期待さ
れる。また成形作業毎に塗布する炭化珪素スラリーによ
って未焼結のＳｉＣ粒子がグラファイト製成形容器表面
のＳｉＣ層と石英ガラスの間に存在することとなるため
、この未焼結のＳｉＣ粒子が石英ガラスと成形容器間の
潤滑剤として作用すると考えられ、冷却時に熱膨張係数
差によって生じる応力を低減させ、クラックの発生を抑
えるものと考えられる。
ラスとグラファイトに比べて、抑えられるものと期待さ
れる。また成形作業毎に塗布する炭化珪素スラリーによ
って未焼結のＳｉＣ粒子がグラファイト製成形容器表面
のＳｉＣ層と石英ガラスの間に存在することとなるため
、この未焼結のＳｉＣ粒子が石英ガラスと成形容器間の
潤滑剤として作用すると考えられ、冷却時に熱膨張係数
差によって生じる応力を低減させ、クラックの発生を抑
えるものと考えられる。
［実施例］
モル比が５ｉ（ＯＨ）ａ／ＳｉＣ＝０−２となるような
シリカゾル−炭化珪素スラリーを珪酸エチル（Ｓｉ（Ｏ
Ｅｔ）ａ）とイオン交換水およびβ炭化珪素微粉末より
作成した。このシリカゾル−炭化珪素スラリーを炭化珪
素が０−０５３／ｃ層２となるように塗布したグラファ
イト製成形容器を１７５０℃のＡｒ雰囲気中で４時間熱
処理して、成形容器表面に炭化珪素層を形成させた。こ
の炭化珪素層を表面に有するグラファイト製成形容器に
、更に炭化珪素が０．０１３ｇ／ｃｍ２となるように炭
化珪素スラリーを塗布した後、直径 １２０＋ａｍ、長
さ ３２０ｍｍでｆｆｌ Ｉが７９２３ｇの円柱状石英
ガラスを成形容器中に仕込んで成形容器ごと加熱し、加
圧成形を行なった。本実施例に使用したグラファイト製
成形容器は、−・辺が１１３０ｍｍの正方形を水平断面
とする成形体が成形によって得られる如き成形容器であ
った。加熱温度は、１７６０℃であり、成形圧力は２５
ｇ／ｃ層２であった。
シリカゾル−炭化珪素スラリーを珪酸エチル（Ｓｉ（Ｏ
Ｅｔ）ａ）とイオン交換水およびβ炭化珪素微粉末より
作成した。このシリカゾル−炭化珪素スラリーを炭化珪
素が０−０５３／ｃ層２となるように塗布したグラファ
イト製成形容器を１７５０℃のＡｒ雰囲気中で４時間熱
処理して、成形容器表面に炭化珪素層を形成させた。こ
の炭化珪素層を表面に有するグラファイト製成形容器に
、更に炭化珪素が０．０１３ｇ／ｃｍ２となるように炭
化珪素スラリーを塗布した後、直径 １２０＋ａｍ、長
さ ３２０ｍｍでｆｆｌ Ｉが７９２３ｇの円柱状石英
ガラスを成形容器中に仕込んで成形容器ごと加熱し、加
圧成形を行なった。本実施例に使用したグラファイト製
成形容器は、−・辺が１１３０ｍｍの正方形を水平断面
とする成形体が成形によって得られる如き成形容器であ
った。加熱温度は、１７６０℃であり、成形圧力は２５
ｇ／ｃ層２であった。
得られた石英ガラス成形体は、−辺が１８０＋ａｍの正
方形を底面とし、高さが１４０ｍｍであった。
方形を底面とし、高さが１４０ｍｍであった。
その重量は７９１１ｇであり、重量損失は１２ｇであっ
た０石英ガラス成形体には、クラックの発生はなく、表
面に凹凸もなく、全体も透明であった。
た０石英ガラス成形体には、クラックの発生はなく、表
面に凹凸もなく、全体も透明であった。
［発明の効果］
以上説明したように１本発明によってシリカゾル−炭化
珪素スラリーを塗布して前処理を行ない、グラファイト
製成形容器表面に炭化珪素層を形成させた後、更に炭化
珪素スラリーを塗布した成形容器を使用することによっ
て、石英ガラスの成形に於て、クラックの発生、また成
形容器の消耗等を完全に防止することができる。
珪素スラリーを塗布して前処理を行ない、グラファイト
製成形容器表面に炭化珪素層を形成させた後、更に炭化
珪素スラリーを塗布した成形容器を使用することによっ
て、石英ガラスの成形に於て、クラックの発生、また成
形容器の消耗等を完全に防止することができる。
また、成形容器表面の炭化珪素層は、同一のグラファイ
ト製成形容器を使用して石英ガラスの加熱加圧成形を数
回繰り返すことによっても形成されるが、本方法のよう
に液状のシリカンルー）架化珪素スラリーを使用するこ
とによって、−回の処理で、タラファイト製成形容器内
部まで、充分に強固な炭化珪素層を形成させることが可
能である。
ト製成形容器を使用して石英ガラスの加熱加圧成形を数
回繰り返すことによっても形成されるが、本方法のよう
に液状のシリカンルー）架化珪素スラリーを使用するこ
とによって、−回の処理で、タラファイト製成形容器内
部まで、充分に強固な炭化珪素層を形成させることが可
能である。
Claims (1)
- 石英ガラスを高温下で加圧成形して所望の形状の成形体
を得るために使用するグラファイト製成形容器の表面に
シリカゾル−炭化珪素スラリーを塗布した後、熱処理す
ることにより、該グラファイト製成形容器の表面に炭化
珪素層を形成させることを特徴とする石英ガラス成形容
器の前処理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28570785A JPS62148331A (ja) | 1985-12-20 | 1985-12-20 | 石英ガラス成形容器の前処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28570785A JPS62148331A (ja) | 1985-12-20 | 1985-12-20 | 石英ガラス成形容器の前処理方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62148331A true JPS62148331A (ja) | 1987-07-02 |
| JPS6357367B2 JPS6357367B2 (ja) | 1988-11-11 |
Family
ID=17694983
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28570785A Granted JPS62148331A (ja) | 1985-12-20 | 1985-12-20 | 石英ガラス成形容器の前処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62148331A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002220240A (ja) * | 2001-01-22 | 2002-08-09 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 石英ガラスの熱間形成方法 |
| JP2010024084A (ja) * | 2008-07-18 | 2010-02-04 | Tosoh Quartz Corp | 型材を用いた石英ガラス材料の成形方法 |
| JP2010047449A (ja) * | 2008-08-22 | 2010-03-04 | Tosoh Quartz Corp | 型材を用いた石英ガラス材料の成形方法 |
| KR101096477B1 (ko) | 2003-04-07 | 2011-12-20 | 가부시키가이샤 니콘 | 석영 유리의 성형 장치 및 성형 방법 |
| CN111348821A (zh) * | 2018-12-21 | 2020-06-30 | 财团法人工业技术研究院 | 用于玻璃塑形的石墨模具及其制造方法 |
-
1985
- 1985-12-20 JP JP28570785A patent/JPS62148331A/ja active Granted
Cited By (5)
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|---|---|---|---|---|
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| JP2010047449A (ja) * | 2008-08-22 | 2010-03-04 | Tosoh Quartz Corp | 型材を用いた石英ガラス材料の成形方法 |
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| JPS6357367B2 (ja) | 1988-11-11 |
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