JPS62147408A - 光回路装置の製造方法 - Google Patents
光回路装置の製造方法Info
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- JPS62147408A JPS62147408A JP28858585A JP28858585A JPS62147408A JP S62147408 A JPS62147408 A JP S62147408A JP 28858585 A JP28858585 A JP 28858585A JP 28858585 A JP28858585 A JP 28858585A JP S62147408 A JPS62147408 A JP S62147408A
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- JP
- Japan
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- hydrogen fluoride
- waveguide
- etched
- optical circuit
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- Pending
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/36—Mechanical coupling means
- G02B6/3628—Mechanical coupling means for mounting fibres to supporting carriers
- G02B6/3684—Mechanical coupling means for mounting fibres to supporting carriers characterised by the manufacturing process of surface profiling of the supporting carrier
- G02B6/3692—Mechanical coupling means for mounting fibres to supporting carriers characterised by the manufacturing process of surface profiling of the supporting carrier with surface micromachining involving etching, e.g. wet or dry etching steps
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/30—Optical coupling means for use between fibre and thin-film device
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/36—Mechanical coupling means
- G02B6/3628—Mechanical coupling means for mounting fibres to supporting carriers
- G02B6/3648—Supporting carriers of a microbench type, i.e. with micromachined additional mechanical structures
- G02B6/3652—Supporting carriers of a microbench type, i.e. with micromachined additional mechanical structures the additional structures being prepositioning mounting areas, allowing only movement in one dimension, e.g. grooves, trenches or vias in the microbench surface, i.e. self aligning supporting carriers
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は光通信や光センシングに使用される光結合部品
用光回路装置の製造方法に関するものである。
用光回路装置の製造方法に関するものである。
従来の技術
従来、この種の光回路装置の製造方法は第４図に示すよ
うな構成であった。第４図において１２はガラス導波路
部品、１３はマスク、１４はニーＩチング部品、１６は
ペルジャー、１６はガス挿入管、１７はフッ化物ガス、
１８は電極である。
うな構成であった。第４図において１２はガラス導波路
部品、１３はマスク、１４はニーＩチング部品、１６は
ペルジャー、１６はガス挿入管、１７はフッ化物ガス、
１８は電極である。
ガラス導波路部品１２の主成分は二酸化珪素（Ｓ１０□
）であるので、この８ｉ０２を工゛ツチングするにはフ
ッ素化合物との化学反応を利用し未反応性プラズマトラ
イエッチ／グにより行′わ九る。
）であるので、この８ｉ０２を工゛ツチングするにはフ
ッ素化合物との化学反応を利用し未反応性プラズマトラ
イエッチ／グにより行′わ九る。
ガラス導波路部品１２は特定の部品だけをエツチングす
るため、エツチング部分１４以外にマスク１３をかぶせ
、ペルジャー１５内゛に固定する。不純物を取り除くた
めにペルジャー１６内を真空状態にした後、ガス挿入管
１６から四フブ化炭素ガス（ＣＦ４）１７を流入させる
。また、化学反応を促進するためにガラス導波路部品１
２を加熱すると共に、四フブ化炭素ガス１７をイオン化
するために電極１８に電圧を印加する。ガラス導波路部
品１２のエツチング部分１４と四フッ化炭素ガス（ＣＦ
４）１７は化学反応によりフッ化珪素（ＳｉＦｘ！＝１
〜４）を成牛ずる。このフッ化珪素（５ｉＦｘ ）は揮
発性物質であるため、フッ化珪素（ＳｉＦｘ）の成牛と
同時にエツチング部分１４から離れてしまうことにより
エツチングが行われる。
るため、エツチング部分１４以外にマスク１３をかぶせ
、ペルジャー１５内゛に固定する。不純物を取り除くた
めにペルジャー１６内を真空状態にした後、ガス挿入管
１６から四フブ化炭素ガス（ＣＦ４）１７を流入させる
。また、化学反応を促進するためにガラス導波路部品１
２を加熱すると共に、四フブ化炭素ガス１７をイオン化
するために電極１８に電圧を印加する。ガラス導波路部
品１２のエツチング部分１４と四フッ化炭素ガス（ＣＦ
４）１７は化学反応によりフッ化珪素（ＳｉＦｘ！＝１
〜４）を成牛ずる。このフッ化珪素（５ｉＦｘ ）は揮
発性物質であるため、フッ化珪素（ＳｉＦｘ）の成牛と
同時にエツチング部分１４から離れてしまうことにより
エツチングが行われる。
発明が解決しようとする問題点
このような従来の方法では、エツチング速度が極めて遅
く、４．８μｍ／時間程度である。したがって、外径１
２５μｍの光ファイバを入れるための穴をつくるには約
２４時間もかかると共に、一度にエツチングできる量は
少量に限られていた。
く、４．８μｍ／時間程度である。したがって、外径１
２５μｍの光ファイバを入れるための穴をつくるには約
２４時間もかかると共に、一度にエツチングできる量は
少量に限られていた。
本発明はこのような問題点を解決するもので、エツチン
グを短時間で、しかも大量にエツチング処理することを
目的とするものである。
グを短時間で、しかも大量にエツチング処理することを
目的とするものである。
問題点を解決するための手段
この問題点を解決するために本発明は、表面の滑らかな
ガラス導波路部品のエツチングをしない部分を耐フッ化
水素性を有する物質で覆い、これをフッ化水素溶液中で
耐フッ化水素性物質で覆われていない部分を除去するも
のである。
ガラス導波路部品のエツチングをしない部分を耐フッ化
水素性を有する物質で覆い、これをフッ化水素溶液中で
耐フッ化水素性物質で覆われていない部分を除去するも
のである。
作用
この方法により、多量の導波路を短時間でエツチング処
理できることとなる。
理できることとなる。
実施例
第１図は本発明の一実施例による光回路装置の製造方法
を示した図である。第１図において、１は導波路部品、
２は耐フッ化水素性物質としてのコールタール、３はエ
ツチングされる部分、４は光回路部、６はフッ化水素溶
液、６は樹脂性容器である。
を示した図である。第１図において、１は導波路部品、
２は耐フッ化水素性物質としてのコールタール、３はエ
ツチングされる部分、４は光回路部、６はフッ化水素溶
液、６は樹脂性容器である。
フッ化水素溶液は従来ガラスを溶かす溶液として知られ
ている。このフッ化水素溶液でガラスを溶かす時、フッ
化水素溶液の濃度が濃い程、溶かされるガラスの表面状
態が保存され易いため、ガラス表面が滑かであればエツ
チングされた面は側面も含めて皆滑かになるという特徴
がある。
ている。このフッ化水素溶液でガラスを溶かす時、フッ
化水素溶液の濃度が濃い程、溶かされるガラスの表面状
態が保存され易いため、ガラス表面が滑かであればエツ
チングされた面は側面も含めて皆滑かになるという特徴
がある。
光回路部４の端部のみがエツチングできるように、導波
路部品１の表面のエツチングする部分２ｍｍＸ１００μ
ｍを除いた部分と導波路部品１の他の面をコールタ−／
Ｉ／２でマスキングし、これを濃いフッ化水素溶液５の
入った樹脂性容器６に入れる。
路部品１の表面のエツチングする部分２ｍｍＸ１００μ
ｍを除いた部分と導波路部品１の他の面をコールタ−／
Ｉ／２でマスキングし、これを濃いフッ化水素溶液５の
入った樹脂性容器６に入れる。
約１時間後に引き上げ、水で洗浄した後、トリクロンエ
タン（有機溶剤）中でコールタ−／Ｌ／２を除去するこ
とにより、導波路部品１に光ファイバとの接続がしやす
い溝をもつ光回路装置ができる。
タン（有機溶剤）中でコールタ−／Ｌ／２を除去するこ
とにより、導波路部品１に光ファイバとの接続がしやす
い溝をもつ光回路装置ができる。
このようにして形成された溝は、ガラスが等方質な媒質
であるため、第２図に示すように導波路部品１の表面７
より工・ツチングされる部分は広くなる。さらに、導波
路部品１の表面７が滑らかであるため、エツチングされ
た部分８の表面も滑らかとなり、光ファイバ等との接続
する場合も損失等の問題はない。光ファイバと光回路装
置との接続は第３図に示すようにエツチング部８に光フ
ァイバ９を挿入し、光軸調整した後接着剤１ｏで固定す
る。
であるため、第２図に示すように導波路部品１の表面７
より工・ツチングされる部分は広くなる。さらに、導波
路部品１の表面７が滑らかであるため、エツチングされ
た部分８の表面も滑らかとなり、光ファイバ等との接続
する場合も損失等の問題はない。光ファイバと光回路装
置との接続は第３図に示すようにエツチング部８に光フ
ァイバ９を挿入し、光軸調整した後接着剤１ｏで固定す
る。
発明の効果
以上のように本発明によれば、ガラス導波路部品のエツ
チングする部分以外を耐フン化水素性物質で覆い、これ
をフッ化水素溶液中でエツチングする光回路装置の製造
方法を用いることにより、短時間に大量のガラス導波路
部品のエツチング処理ができると共に、光回路装置と光
ファイバを接続する際、光ファイバをエツチングした部
分に挿入できるので接合し易く、且つ、堅固な接合がで
きる。
チングする部分以外を耐フン化水素性物質で覆い、これ
をフッ化水素溶液中でエツチングする光回路装置の製造
方法を用いることにより、短時間に大量のガラス導波路
部品のエツチング処理ができると共に、光回路装置と光
ファイバを接続する際、光ファイバをエツチングした部
分に挿入できるので接合し易く、且つ、堅固な接合がで
きる。
第１図は本発明の一実施例による光回路装置の製造方法
を示す概略図、第２図はエツチング部分を示した拡大図
、第３図は光回路装置と光ファイバを接合した状態を示
す拡大図、第４図は椋来の光回路装置の製造方法を示す
概略図である。 １・・・・・・導波路部品、２・・・・・・コールター
ル、３・・・・・・エツチングされる部分、４・・・・
・・光回路部、５・・・・・・フッ化水素溶液、６・・
・・・・樹脂性容器。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名６一
−−棗話機傷養 第 ２ 図 第３図 第４図
を示す概略図、第２図はエツチング部分を示した拡大図
、第３図は光回路装置と光ファイバを接合した状態を示
す拡大図、第４図は椋来の光回路装置の製造方法を示す
概略図である。 １・・・・・・導波路部品、２・・・・・・コールター
ル、３・・・・・・エツチングされる部分、４・・・・
・・光回路部、５・・・・・・フッ化水素溶液、６・・
・・・・樹脂性容器。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名６一
−−棗話機傷養 第 ２ 図 第３図 第４図
Claims (2)
- （１）導波路の表面が滑らかなガラス導波路部品を有し
、このガラス導波路部品のエッチングしない部分を耐フ
ッ化水素性を有する物質で覆い、この導波路部品をフッ
化水素溶液中でエッチングして所望の溝を形成すること
を特徴とする光回路装置の製造方法。 - （２）光軸に平行な導波路の平面が滑らかになっている
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の光回路装
置の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28858585A JPS62147408A (ja) | 1985-12-20 | 1985-12-20 | 光回路装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28858585A JPS62147408A (ja) | 1985-12-20 | 1985-12-20 | 光回路装置の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62147408A true JPS62147408A (ja) | 1987-07-01 |
Family
ID=17732171
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28858585A Pending JPS62147408A (ja) | 1985-12-20 | 1985-12-20 | 光回路装置の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62147408A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4878727A (en) * | 1988-06-30 | 1989-11-07 | Battelle Memorial Institute | Multimode channel waveguide optical coupling devices and methods |
-
1985
- 1985-12-20 JP JP28858585A patent/JPS62147408A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4878727A (en) * | 1988-06-30 | 1989-11-07 | Battelle Memorial Institute | Multimode channel waveguide optical coupling devices and methods |
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